隨著時代的發(fā)展，輪廓儀也越來重要了，不少的產(chǎn)品檢測都需要通過輪廓儀進行檢測，***就讓我們來了解一下輪廓儀的工作原理與應用吧。輪廓儀工作原理輪廓儀是一種雙坐標測量儀器。儀器傳感器相對于測量的工件臺以恒定速度滑動。傳感器的觸針檢測測量儀表的幾何變化，并分別在X和Z方向上對其進行采樣，并將其轉換為電信號。電信號被放大和處理，然后轉換成數(shù)字信號并存儲在計算機系統(tǒng)的存儲器中。計算機以數(shù)字方式過濾原始表格的輪廓，分離表面并計算粗糙度分量，測量結果為計算符號。某個曲線的實際值及其與參考點的坐標，或放大的實際輪廓曲線。測量結果通過顯示器輸出，也可以由打印機輸出。輪廓儀應用輪廓儀***用于機械加工、汽...

NanoX-8000 3D輪廓測量主要技術參數(shù) 3D測量主要技術指標（1）： 測量模式： PSI + VSI + CSI Z軸測量范圍： 大行程PZT 掃描 （300um 標配/500um選配） 10mm 精密電機拓展掃描 CCD相機： 1920x1200 高速相機（標配） 干涉物鏡： 2.5X, 5X, 10X（標配）, 20X, 50X, 100X(NIKON ) 物鏡切換： 5孔電動鼻切換 FOV： 1100x700um(10X物鏡), 220x140um(50X物鏡) Z軸聚焦： 高精密直線平臺自動聚焦 照明系統(tǒng)： 高 效長壽白...

輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用： 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程，其中由于光罩中電路結構尺寸極小，任何微小的黏附異物和下次均會導致制造的晶圓IC表面存在缺 陷，因此必須對光罩和晶圓的表面輪廓進行檢測，檢測相應的輪廓尺寸。 白光輪廓儀的典型應用： 對各種產(chǎn)品，不見和材料表面的平面度，粗糙度，波溫度，面型輪廓，表面缺 陷，磨損情況，腐蝕情況，孔隙間隙，臺階高度，完全變形情況，加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。 輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應用。Bruker輪廓儀技術原理 NanoX-20...

1.3. 培訓計劃 在完成系統(tǒng)布線并開始設備安裝后，即向甲方和業(yè)主介紹整個系統(tǒng)的概況及性能、特點、設備布置情況和相互之間的關系等，讓甲方和業(yè)主對整個系統(tǒng)有一個***的認識。 在整個系統(tǒng)驗收前后，安排有關人員在進行培訓。 1.4. 培訓形式 公司指派技術人員向相關人員講解系統(tǒng)的原理、功能、操作及維修保養(yǎng)要點； 向受訓學員提供和解釋有關設計文件及圖紙等資料，使學員對系統(tǒng)的各個方面都能熟練掌握； 針對系統(tǒng)的具體操作一一指導，使相關人員掌握技術要領； 對學員提出的問題進行詳細解答； ...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作...

2）共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在...

輪廓儀的性能 測量模式 移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI） 樣 品 臺 150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5° 可選手動/電動樣品臺 CCD 相機像素 標配：1280×960 視場范圍 560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 光學系統(tǒng) 同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng) 光 源 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動...

輪廓儀的技術原理 被測表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉 移相法(PSI) 高度和干涉相位 f = (2p/l ) 2 h 形貌高度: < 120nm 精度: < 1nm RMS重復性: 0.01nm 垂直掃描法 (VSI+CSI) 精度： ?/1000 干涉信號~光程差位置 形貌高度: nm-mm, 精度: >2nm 干涉測量技術：快速靈活、超納米精度、測量精度不受物鏡倍率影響 以下來自網(wǎng)絡： 輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導軌為...

三、涵蓋面廣的2D、3D形貌參數(shù)分析： 表面三維輪廓儀可測量300余種2D、3D參數(shù)，無論加工的物件使用哪一種評定標準，都可以提供***的檢測結果作為評定依據(jù)，可輕松獲取被測物件精確的線粗糙度、面粗糙度、輪廓度等參數(shù)。 四、穩(wěn)定性強，高重復性： 儀器運用高性能內(nèi)部抗震設計，不受外部環(huán)境影響測量的準確性。超精密的Z向掃描模塊和測量軟件完美結合，保證高重復性，將測量誤差降低到亞納米級別。 三維表面輪廓儀是精密加工領域必不可少的檢測設備，它既保障了生產(chǎn)加工的準確性，又提高了成品的出產(chǎn)效率，滿足用戶對各項2D，3D參數(shù)檢測需求的同時，依然能夠保持高重復性，...

NanoX-系列輪廓儀**性客戶 ? 集成電路相關產(chǎn)業(yè) – 集成電路先進封裝和材料：華天科技，通富微電子，江蘇納佩斯 半導體，華潤安盛等 ? MEMS相關產(chǎn)業(yè) – 中科院蘇州納米所，中科電子46所，華東光電集成器件等 ? 高 效太陽能電池相關產(chǎn)業(yè) – 常州億晶光電，中國臺灣速位科技、山東衡力新能源等 ? 微電子、FPD、PCB等產(chǎn)業(yè) – 三星電機、京東方、深圳夏瑞科技等 具備 Global alignment & Unit alignment 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm XY運動速度 **快 ...

2）共聚焦顯微鏡方法 共聚焦顯微鏡包括LED光源、旋轉多***盤、帶有壓電驅動器的物鏡和CCD相機。LED光源通過多***盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上，從而反射光。反射光通過MPD的***減小到聚焦的部分落在CCD相機上。傳統(tǒng)光學顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細節(jié)，但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。因此，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高 分辨率。 每個共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片，在不同的焦點高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊，共焦顯微鏡通過壓電驅動器和物鏡的精確垂直位移來實現(xiàn)。200到400個共焦圖像通常在...

輪廓儀對所測樣品的尺寸有何要求？ 答：輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm，但由于白光干涉儀單次測量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測量大尺寸的樣品時，全檢的方式需要進行拼接測量，檢測效率會比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進行抽點檢測，以單點或多點反映整個面的粗糙度參數(shù)； 4.測量的**小尺寸是否可以達到12mm，或者能夠測到更小的尺寸？ 如果需要了解更多，請訪問官網(wǎng)。 但是在共焦圖像中，通過多***盤的操作濾除模糊細節(jié)（未聚焦），只有來自聚焦平面的光到達CCD相機。原裝進口輪廓儀...

輪廓儀是一種兩坐標測量儀器，儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行，傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化，在X和Z方向分別采樣，并轉換成電信號，該電信號經(jīng)放大和處理，再轉換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中，計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波，分離掉表而粗糙度成分后再進行計算，測量結果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標，或放大的實際輪廓曲線，測量結果通過顯示器輸出，也可由打印機輸出。（來自網(wǎng)絡） 輪廓儀在集成電路的應用： 封**ump測量 視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝：...

輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別： 關于輪廓儀和粗糙度儀 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測量零件表面的輪廓形狀，比如：汽車零件中的溝槽的槽深、槽寬、倒角（包括倒角位置、倒角尺寸、角度等），圓柱表面素線的直線度等參數(shù)?？傊喞獌x反映的是零件的宏觀輪廓。粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質量，通俗地講，就是零件表面加工得光不光（粗糙度老國標叫光潔度），即粗糙度反映的是零件加工表面的微觀情況。 但是，輪廓儀和粗糙度儀關系其實挺密切，現(xiàn)在有一種儀器叫做粗糙度輪廓測量一體機，就是在輪廓儀上加裝了粗糙度測量模塊，這樣既可以測量輪廓尺...

輪廓儀的性能 測量模式 ： 移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI） 樣 品 臺 ： 150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5° 可選手動/電動樣品臺 CCD 相機像素： 標配：1280×960 視場范圍： 560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 光學系統(tǒng)： 同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng) 光 源： 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動...

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導軌為直線基準。輪廓測試儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器，作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分***。（來自網(wǎng)絡） 先進的輪廓儀集成模塊 60年世界水平半導體檢測技術研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化經(jīng)驗 所有的關鍵硬件采用美國、德國、日本等 PI ，納米移動平臺及控制 Nikon，干涉物鏡 NI，信號控制板和Labview64 控制軟件 TMC 隔震平臺 世界先進水平的計算機軟硬件技術平臺 VS2012/64位，....

輪廓儀的物鏡知多少? 白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理，以三維非接觸時方法測量分析樣片表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸，典型結果包括： 表面形貌（粗糙度，平面度，平行度，臺階高度，錐角等） 幾何特征（關鍵孔徑尺寸，曲率半徑，特征區(qū)域的面積和集體，特征圖形的位置和數(shù)量等） 白光干涉系統(tǒng)基于無限遠顯微鏡系統(tǒng)，通過干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋，使基本的光學顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。 因此物鏡是輪廓儀****的部件， 物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測的精度提出需求，為了滿足各種精度的需求，需要提供各種物鏡，例如標配的10×， 還有2.5×，5×，20×，50×，100×，可選。 ...

輪廓儀是用容易理解的機械技術測量薄膜厚度。它的工作原理是測量測量劃過薄膜的檢測筆的高度(見右圖)。輪廓儀的主要優(yōu)點是可以測量所有固體膜，包括不透明的厚金屬膜。更昂貴的系統(tǒng)能測繪整個表面輪廓。(有關我們的低成本光學輪廓儀的資訊，請點擊這里).獲取反射光譜指南然而輪廓儀也有不足之處。首先，樣本上必須有個小坎才能測量薄膜厚度，而小坎通常無法很標準(見圖)。這樣，標定誤差加上機械漂移造成5%-10%的測量誤差。與此相比，光譜反射儀使用非接觸技術，不需要任何樣本準備就可以測量厚度。只需一秒鐘分析從薄膜反射的光就可確定薄膜厚度和折射率。光譜反射儀還可以測量多層薄膜。輪廓儀和光譜反射儀的主要優(yōu)點列表...

輪廓儀產(chǎn)品概述： NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 想要了解更多的信息，請聯(lián)系我們岱美儀器。 包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評定該物件是否合格的標準。...

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 輪廓儀對載物臺xy行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍比較大可達10mm。3D形貌輪廓儀用途 輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值...

輪廓儀在集成電路的應用 封**ump測量 視場：72*96（um）物鏡：干涉50X 檢測位置：樣品局部 面減薄表面粗糙度分析 封裝：300mm硅片背面減薄表面粗糙度分析 面粗糙度分析：2D, 3D顯示；線粗糙度分析：Ra, Ry，Rz，… 器件多層結構臺階高 MEMS 器件多層結構分析、工藝控制參數(shù)分析 激光隱形切割工藝控制 世界***的能夠實現(xiàn)激光槽寬度、深度自動識別和數(shù)據(jù)自動生成，**地縮 短了激光槽工藝在線檢測的時間，避免人工操作帶來的一致性，可靠性問題 歡迎咨詢。 輪廓儀可用于Oled 特征結構測量，表面粗糙度，外...

輪廓儀產(chǎn)品應用 藍寶石拋光工藝表面粗糙度分析（粗拋與精拋比較） 高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析，核探測 Oled 特征結構測量，表面粗糙度 外延片表面缺 陷檢測 硅片外延表面缺 陷檢測 散熱材料表面粗糙度分析（粗糙度控制） 生物、醫(yī)藥新技術，微流控器件 微結構均勻性 缺 陷，表面粗糙度 移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法，保證了亞納米量級的測量精度；優(yōu)化軟件控制系統(tǒng)，使每次檢測時間壓縮到10秒鐘以內(nèi)，同時完善的數(shù)據(jù)評價系統(tǒng)為用戶評價產(chǎn)品面形質量提供了方便。 在結構上，輪廓...

輪廓儀的性能 測量模式 移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI） 樣 品 臺 150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配） XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5° 可選手動/電動樣品臺 CCD 相機像素 標配：1280×960 視場范圍 560×750um（10×物鏡） 具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機 光學系統(tǒng) 同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng) 光 源 高 效 LED Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦（可選電動...

filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔***，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今比較高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術資料索取報價這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量。在數(shù)秒內(nèi)，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。***!**的網(wǎng)路...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作...

輪廓儀的培訓 一、 培訓承諾 系統(tǒng)建成后，我公司將為業(yè)主提供為期1天的**培訓和技術資詢；培訓地點可以在我公司，亦或在工程現(xiàn)場； 系統(tǒng)操作及管理人員的培訓人數(shù)為10人，由業(yè)主指定，我公司將確保相關人員正確使用該系統(tǒng)； 1.1. 培訓對象 系統(tǒng)操作及管理人員（培訓對象須具有專業(yè)技術的技術人員或實際值班操作人員）； 其他業(yè)主指定的相關人員。 1.2. 培訓內(nèi)容 系統(tǒng)操作使用說明書。 培訓課程的主要內(nèi)容是系統(tǒng)的操作、系統(tǒng)的相關參數(shù)設定和修改和系統(tǒng)的維修與保養(yǎng)與簡單升級等，具體內(nèi)容...

NanoX-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光 垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩(wěn)定性）定量地反映出被測件的表面粗 糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加 工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。 使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求 保護性: 非接觸式光學輪廓儀 耐用性更強， 使用無損 可操作性:一鍵式操作，操作...

filmOnline查film3D圖像並與其互動.請參考我們新型光學輪廓儀!film3D使得光學輪廓測量更易負擔***，表面粗糙度和表面形貌測量可以用比探針式輪廓儀成本更低的儀器來進行。film3D具有3倍於于其成本儀器的次納米級垂直分辨率,film3D同樣使用了現(xiàn)今比較高 分辨率之光學輪廓儀的測量技術包含白光干涉(WSI)及相移干涉(PSI)。索取技術資料索取報價這就是您需要的解析力Thefilm3D的直觀軟件包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量。在數(shù)秒內(nèi)，您可以獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數(shù)。也可以選擇拼接功能軟件升級來組合多個影像以提供大面積測量。***!**的網(wǎng)路...

關于三坐標測量輪廓度及粗糙度 三坐標測量機是不能測量粗糙度的，至于測量零件的表面輪廓 ，要視三坐標的測量精度及零件表面輪廓度的要求了，如果你的三坐標測量機精度比較高，但零件輪廓度要求不可，是可以用三坐標來代替的。一般三坐標精度都在2-3um左右，而輪廓儀都在2um以內(nèi)，還有就是三坐標可以測量大尺寸零件的輪廓，因為它有龍門式三坐標和關節(jié)臂三坐標，而輪廓儀主要是用來測量一些小的精密零件輪廓尺寸的，加上粗糙度模塊也可以測量粗糙度。 表面三位微觀形貌的此類昂方法非常豐富，通?？煞譃榻佑|時和非接觸時兩種，其中以非接觸式測量方法為主。VSI輪廓儀高性價比選擇 輪廓儀、粗糙度儀、三坐標的區(qū)別...

我們應該如何正確使用輪廓儀？ 一、準備工作 1.測量前準備。 2.開啟電腦、打開機器電源開關、檢查機器啟動是否正常。 3.擦凈工件被測表面。 二、測量 1.將測針正確、平穩(wěn)、可靠地移動在工件被測表面上。 2.工件固定確認工件不會出現(xiàn)松動或者其它因素導致測針與工件相撞的情況出現(xiàn) 3.在儀器上設置所需的測量條件。 4.開始測量。測量過程中不可觸摸工件更不可人為震動桌子的情況產(chǎn)生。 5.測量完畢，根據(jù)圖紙對結果進行分析，標出結果，并保存、打印。 自動聚焦范圍 ： ± 0.3mm。集成電路輪廓儀現(xiàn)場服務 NanoX-8000 系...