奉賢區(qū)巴頓VAC625AC002分子泵軸承

來源: 發(fā)布時間:2025-07-13

在磁懸浮分子泵系統(tǒng)中,新巴頓的磁浮備用軸承發(fā)揮著安全保障作用。當(dāng)磁懸浮系統(tǒng)斷電時,備用軸承需在 0.1 秒內(nèi)承接轉(zhuǎn)子載荷,避免高速轉(zhuǎn)子墜落損壞。公司設(shè)計的圓錐滾子備用軸承,采用淬火后 HRC62-64 的滲碳軸承鋼,配合凸度修形技術(shù),可承受瞬間高達 100g 的沖擊載荷。其與磁浮軸承的間隙控制在 0.1-0.2mm,既保證磁浮運行時的無接觸狀態(tài),又確保斷電時的可靠承接。某科研用高真空系統(tǒng)采用該方案后,成功通過 1000 次斷電測試,軸承未出現(xiàn)任何塑性變形,滿足 ISO 16890 標準的嚴苛要求。數(shù)字化孿生技術(shù)應(yīng)用,新巴頓分子泵軸承實現(xiàn)機械預(yù)測性維護。奉賢區(qū)巴頓VAC625AC002分子泵軸承

分子泵軸承

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機配備 4 臺 2000L/s 分子泵,原采用進口鋼制軸承,平均每 6 個月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長至 24 個月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計劃停機率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護成本 120 萬元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過在保持架中嵌入石墨自潤滑塊,解決了金屬有機化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問題,使設(shè)備連續(xù)運行時間突破 10000 小時。常州C36STAY52分子泵軸承巴頓分子泵軸承——真空技術(shù)的組件。

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密封設(shè)計優(yōu)勢:多重防護抵御復(fù)雜環(huán)境,針對真空鍍膜等行業(yè)中金屬蒸汽侵蝕的難題,新巴頓設(shè)計了多重密封結(jié)構(gòu)。軸承采用多道曲徑迷宮密封與氟橡膠雙唇口密封相結(jié)合的方式,外唇口以 0.12mm 的過盈量設(shè)計,在 10??Pa 的真空度下,漏氣率低至 1×10?11Pa?m3/s ;內(nèi)唇口配合擋油環(huán),可有效阻擋 98% 的潤滑脂泄漏,同時將金屬蒸汽的侵入量減少 92% 。在某鋁蒸鍍設(shè)備的實際應(yīng)用中,使用該密封結(jié)構(gòu)的軸承更換周期從 1.5 個月延長至 10 個月,蒸鍍產(chǎn)品的良品率從 88% 提升至 97%,大幅提升了生產(chǎn)效益和產(chǎn)品質(zhì)量。

新巴頓通過大量失效案例總結(jié)出分子泵軸承的主要失效模式及預(yù)防措施。磨損失效多因潤滑不足或污染引起,預(yù)防措施包括安裝高效過濾器(精度≤3μm)、定期檢測油樣顆粒度;疲勞失效通常由過載或振動導(dǎo)致,需通過載荷計算優(yōu)化軸承選型,安裝減振墊(剛度 10-50N/μm)降低振動。在機械故障分析報告中,該公司發(fā)現(xiàn) 80% 的軸承失效可通過正確選型、規(guī)范安裝和定期維護避免,因此為用戶提供《分子泵軸承失效預(yù)防指南》,包含 12 項關(guān)鍵控制點,如安裝時的同軸度要求(≤0.02mm)、潤滑脂補充周期(每 2000 小時)等,幫助機械用戶降低失效風(fēng)險??闺姶鸥蓴_設(shè)計,新巴頓分子泵軸承適用于磁懸浮等特殊機械場景。

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針對機械運行中的溫度變化,新巴頓分子泵軸承設(shè)計了熱膨脹補償機制。通過材料線膨脹系數(shù)匹配(軸承鋼 11.5×10??/℃,外殼材料鑄鐵 10.6×10??/℃),將熱變形差值控制在 5μm/100℃以內(nèi);軸向預(yù)留補償間隙(0.1-0.3mm),配合波形彈簧自動調(diào)整預(yù)緊力,補償熱膨脹導(dǎo)致的尺寸變化。在 CT 機的球管真空系統(tǒng)中,這種設(shè)計使軸承在球管發(fā)熱(溫度從 25℃升至 60℃)時,仍能保持轉(zhuǎn)子軸向跳動≤15μm,確保影像重建的精度。熱膨脹補償機制使分子泵軸承在機械溫度波動工況下,維持長期的精度穩(wěn)定性,減少因熱變形導(dǎo)致的性能衰減。巴頓分子泵軸承:強化潤滑系統(tǒng),提高運轉(zhuǎn)效率。無錫巴頓VAC626AC003分子泵軸承

巴頓分子泵軸承:優(yōu)化安裝設(shè)計,簡化安裝過程。奉賢區(qū)巴頓VAC625AC002分子泵軸承

為降低機械行業(yè)的維護成本,新巴頓分子泵軸承設(shè)計了長效潤滑方案。對于普通工況,采用鋰基脂潤滑(NLGI 2 級),潤滑周期可達 8000 小時;高速高溫場景則使用油氣潤滑系統(tǒng),通過微量油霧(油量 0.01-0.05ml/h)實現(xiàn)持續(xù)潤滑,避免傳統(tǒng)油脂在高速下的結(jié)塊問題。在紡織機械的真空脫水設(shè)備中,這種潤滑系統(tǒng)可減少停機維護時間 30% 以上,同時降低油品消耗 50%。軸承的密封結(jié)構(gòu)采用雙唇口骨架油封(材質(zhì)為氟橡膠),防塵防水等級達 IP65,防止機械加工中的粉塵、冷卻液侵入,保障潤滑系統(tǒng)的長效性,契合機械行業(yè)連續(xù)生產(chǎn)的需求。奉賢區(qū)巴頓VAC625AC002分子泵軸承