某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機配備 4 臺 2000L/s 分子泵,原采用進口鋼制軸承,平均每 6 個月因碳化硅顆粒污染導致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構,使軸承壽命延長至 24 個月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計劃停機率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護成本 120 萬元。此外,公司為某 MOCVD 設備配套的軸承,通過在保持架中嵌入石墨自潤滑塊,解決了金屬有機化合物沉積導致的軸承卡死問題,使設備連續(xù)運行時間突破 10000 小時。巴頓分子泵軸承:嚴格質(zhì)量控制,確保產(chǎn)品性能高。VAC6001AB017分子泵軸承銷售
針對分子泵高速運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的復雜載荷,新巴頓在軸承結(jié)構設計上進行深度優(yōu)化。角接觸球軸承采用 28° 接觸角的定制化設計,相較于常規(guī) 15° 接觸角產(chǎn)品,軸向承載能力提升了 60%,能更好地應對 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘高速運轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的陀螺力矩。通過有限元分析模擬,精確控制軸承的軸向游隙在 8μm 左右,在 - 20℃至 120℃的溫度區(qū)間內(nèi),可自動補償因熱脹冷縮產(chǎn)生的形變,確保轉(zhuǎn)子軸向竄動誤差控制在 ±3μm 以內(nèi)。某科研機構的分子泵設備應用該設計后,系統(tǒng)運行穩(wěn)定性大幅提升,振動值從原來的 12m/s2 降至 4m/s2,達到 ISO 10816-1 標準 Class 1 的嚴苛要求,為精密實驗提供了可靠保障。楊浦區(qū)C1904HX205Y113DF分子泵軸承高精度加工工藝,確保新巴頓分子泵軸承尺寸精確,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)無偏差。
新巴頓將其他行業(yè)的先進技術遷移至分子泵軸承,為機械領域帶來創(chuàng)新應用。借鑒航空發(fā)動機軸承的涂層技術,在分子泵軸承表面沉積 TiAlN 涂層(硬度 3000HV),耐磨性提升 3 倍,適用于含硬質(zhì)顆粒的機械工況(如礦山真空除塵設備);引入醫(yī)療器械的無菌加工理念,在食品機械的真空軸承中采用電解拋光表面(粗糙度 Ra≤0.2μm),配合 FDA 認證潤滑脂,滿足食品接觸安全要求。這種跨行業(yè)技術融合使分子泵軸承突破傳統(tǒng)應用邊界,在機械行業(yè)的多元化場景中實現(xiàn)性能躍升。
新巴頓為機械行業(yè)用戶提供定制化分子泵軸承解決方案。根據(jù)特殊工況(如高真空 10??Pa、強輻射環(huán)境),可設計全陶瓷軸承(Si?N?球 + ZrO?套圈),其出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于核聚變實驗設備。對于超高速場景(轉(zhuǎn)速>100000rpm),采用空氣靜壓軸承設計,通過高壓空氣(壓力 0.4-0.6MPa)形成氣膜支撐,摩擦系數(shù)低至 0.0005,滿足機械行業(yè)的極端工況需求。定制化過程中,工程師會通過有限元分析(FEA)優(yōu)化軸承結(jié)構,如在大型分子泵中增加加強筋設計,使軸承座的固有頻率避開運轉(zhuǎn)頻率 ±20%,避免機械共振。新巴頓分子泵軸承精確控制,提升紡織行業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)。
為降低機械行業(yè)的維護成本,新巴頓分子泵軸承設計了長效潤滑方案。對于普通工況,采用鋰基脂潤滑(NLGI 2 級),潤滑周期可達 8000 小時;高速高溫場景則使用油氣潤滑系統(tǒng),通過微量油霧(油量 0.01-0.05ml/h)實現(xiàn)持續(xù)潤滑,避免傳統(tǒng)油脂在高速下的結(jié)塊問題。在紡織機械的真空脫水設備中,這種潤滑系統(tǒng)可減少停機維護時間 30% 以上,同時降低油品消耗 50%。軸承的密封結(jié)構采用雙唇口骨架油封(材質(zhì)為氟橡膠),防塵防水等級達 IP65,防止機械加工中的粉塵、冷卻液侵入,保障潤滑系統(tǒng)的長效性,契合機械行業(yè)連續(xù)生產(chǎn)的需求。新巴頓分子泵軸承,強度更高材質(zhì),低摩擦設計,保障機械高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定運行。崇明區(qū)巴頓VAC626AC003分子泵軸承
巴頓分子泵軸承:智能化監(jiān)測,預防故障。VAC6001AB017分子泵軸承銷售
新巴頓根據(jù)機械工況為分子泵軸承提供精確的潤滑脂選型方案。對于低溫環(huán)境(-40℃以下),選用全氟聚醚脂(PFPE),其傾點≤-60℃,在機械啟動時的扭矩阻力≤0.05N?m;高速場景(轉(zhuǎn)速>50000rpm)采用硅油基脂,粘度指數(shù)>400,避免高速剪切導致的油脂變稀。在真空泵的實際應用中,通過 DGA(油液氣體分析)發(fā)現(xiàn),正確選型可使?jié)櫥难趸T導期延長至 2000 小時以上,較錯誤選型減少換脂頻率 50%。潤滑脂的滴點控制在 260℃以上,確保機械在高溫工況(如軸承溫度 120℃)下不發(fā)生油脂流失,維持持續(xù)潤滑效果。VAC6001AB017分子泵軸承銷售