杭州C38SST5G33分子泵軸承

來源: 發(fā)布時間:2025-07-02

分子泵高速旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的陀螺力矩需通過角接觸軸承的接觸角優(yōu)化來平衡。新巴頓的 7000 系列角接觸軸承采用 15°-40° 接觸角定制設(shè)計,當(dāng)接觸角為 25° 時,可同時承受 3000N 軸向載荷與 1500N 徑向載荷,滿足 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘工況下的轉(zhuǎn)子穩(wěn)定性要求。通過有限元分析(FEA)優(yōu)化滾道曲率半徑系數(shù)至 1.08 倍球徑,使接觸應(yīng)力降低 25%,避免邊緣過載導(dǎo)致的疲勞剝落。某半導(dǎo)體刻蝕設(shè)備改用該設(shè)計后,軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)從 3000 小時提升至 8000 小時。經(jīng)嚴(yán)格疲勞測試,新巴頓分子泵軸承可靠性高,使用更安心。杭州C38SST5G33分子泵軸承

分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承的動態(tài)剛度設(shè)計保障機(jī)械系統(tǒng)的運(yùn)行穩(wěn)定性。通過有限元分析優(yōu)化滾道曲率半徑,使軸承的徑向剛度達(dá) 100-200N/μm(隨載荷變化梯度≤10%),軸向剛度達(dá) 150-250N/μm。在精密機(jī)械的振動測試中(振幅 10μm,頻率 10-1000Hz),軸承的動態(tài)剛度可抑制轉(zhuǎn)子的位移響應(yīng),使振幅衰減率≥80%。對于需要低振動的場景(如電子顯微鏡真空系統(tǒng)),軸承與阻尼器的并聯(lián)設(shè)計進(jìn)一步降低共振峰值,使機(jī)械系統(tǒng)的振動加速度≤2m/s2,滿足納米級精度要求。動態(tài)剛度的精確控制是分子泵軸承在高級機(jī)械中應(yīng)用的關(guān)鍵技術(shù)之一。BARDUN分子泵軸承批發(fā)巴頓分子泵軸承:穩(wěn)定性能,助力科研突破。

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分子泵軸承的材料選擇直接決定其性能邊界。傳統(tǒng)鋼制軸承在超高速工況下易因摩擦生熱導(dǎo)致退火失效,而新巴頓主推的氧化鋯陶瓷(ZrO?)軸承,憑借 230GPa 的抗彎強(qiáng)度與 0.2 的摩擦系數(shù),將軸承壽命提升至鋼制產(chǎn)品的 5-8 倍。其陶瓷球與不銹鋼套圈的熱膨脹系數(shù)差異設(shè)計,可在 - 20℃至 150℃溫度區(qū)間內(nèi)自動補(bǔ)償游隙,避免因熱變形導(dǎo)致的卡死現(xiàn)象。此外,針對真空鍍膜行業(yè)的金屬蒸汽腐蝕問題,公司推出的 PVD 類金剛石涂層(DLC)軸承,通過在滾道表面沉積 1-3μm 的非晶碳層,使軸承抗腐蝕能力提升 40%,有效解決鋁蒸汽沉積導(dǎo)致的軸承膠合問題。

某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機(jī)配備 4 臺 2000L/s 分子泵,原采用進(jìn)口鋼制軸承,平均每 6 個月因碳化硅顆粒污染導(dǎo)致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結(jié)構(gòu),使軸承壽命延長至 24 個月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質(zhì),在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產(chǎn)線的非計劃停機(jī)率從 8% 降至 1%,年節(jié)約維護(hù)成本 120 萬元。此外,公司為某 MOCVD 設(shè)備配套的軸承,通過在保持架中嵌入石墨自潤滑塊,解決了金屬有機(jī)化合物沉積導(dǎo)致的軸承卡死問題,使設(shè)備連續(xù)運(yùn)行時間突破 10000 小時。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新復(fù)合材料,提高軸承性能。

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在機(jī)械行業(yè)中,分子泵軸承是實現(xiàn)高真空環(huán)境的主要部件,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實驗設(shè)備等領(lǐng)域。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司的分子泵軸承,針對機(jī)械行業(yè)高轉(zhuǎn)速、低摩擦的工況需求,采用特殊材料與精密加工工藝。例如在半導(dǎo)體蝕刻設(shè)備中,分子泵需維持 10??Pa 以下的高真空度,該軸承通過優(yōu)化滾道設(shè)計,可承受高速旋轉(zhuǎn)時的離心力,同時降低發(fā)熱損耗,確保泵體長時間穩(wěn)定運(yùn)行。其適配的機(jī)械類型涵蓋渦輪分子泵、復(fù)合分子泵等,能滿足不同真空系統(tǒng)對軸承可靠性的嚴(yán)苛要求,為機(jī)械行業(yè)的真空工藝提供基礎(chǔ)保障。新巴頓分子泵軸承,強(qiáng)度更高材質(zhì),低摩擦設(shè)計,保障機(jī)械高轉(zhuǎn)速穩(wěn)定運(yùn)行。閔行區(qū)VAC625AC002分子泵軸承

新巴頓分子泵軸承精確控制,提升紡織行業(yè)產(chǎn)品品質(zhì)。杭州C38SST5G33分子泵軸承

在面臨極端工況的機(jī)械領(lǐng)域,新巴頓分子泵軸承展現(xiàn)出優(yōu)越的環(huán)境適應(yīng)能力。針對高真空(10??Pa 以下)場景,采用全金屬密封結(jié)構(gòu)與無油潤滑設(shè)計,出氣率≤1×10?12Pa?m3/s,適用于空間探測設(shè)備的真空系統(tǒng);在超高壓環(huán)境(如深海探測機(jī)械)中,軸承外圈采用厚壁強(qiáng)化設(shè)計,耐壓強(qiáng)度達(dá) 100MPa,配合防泄漏波紋管密封,防止海水侵入。某科研機(jī)構(gòu)的核聚變實驗裝置中,分子泵軸承在強(qiáng)磁場(10T)與輻射環(huán)境下連續(xù)運(yùn)行 1000 小時,性能衰減率<5%,證明其在極端機(jī)械工況下的可靠性。通過材料改性與結(jié)構(gòu)創(chuàng)新,新巴頓分子泵軸承持續(xù)突破機(jī)械應(yīng)用的邊界條件。杭州C38SST5G33分子泵軸承