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“電子氫氟酸在集成電路、半導(dǎo)體制作、太陽(yáng)能光伏和液晶顯示屏等領(lǐng)域應(yīng)用普遍,是微電子行業(yè)生產(chǎn)所需的關(guān)鍵基礎(chǔ)化工原材料之一?!彪娮蛹?jí)氫氟酸是微電子行業(yè)的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一, 主要用于集成電路(IC)和超大規(guī)模集成電路(VLSI)制造中 ,用于晶圓表面清洗、芯片加工過(guò)程中的清洗和蝕刻等工序。在太陽(yáng)能光伏行業(yè)中,用于硅片表面清洗、蝕劑等領(lǐng)域。硅錠到硅片,再到電池片的一道工藝程序:清洗制絨環(huán)節(jié)會(huì)用到產(chǎn)品。在液晶顯示器行業(yè),用于玻璃基板清洗、氮化硅、二氧化硅蝕劑等。在TFT—LCD、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中也被普遍使用。還可用作分析試劑、原子能工業(yè)化學(xué)試劑和制備高純度的含氟化學(xué)品。氫氟酸在燃料電池中可用作電解質(zhì),用于促進(jìn)氫離子的傳遞和電化學(xué)反應(yīng)。安徽純氫氟酸哪里買
電子級(jí)氫氟酸生產(chǎn)工藝技術(shù)特征:1. 雜質(zhì)砷是電子級(jí)氫氟酸中需要控制的一種重要雜質(zhì)指標(biāo),在氫氟酸原料中砷一般以三價(jià)態(tài)形式存在,而且AsF3與氫氟酸的沸點(diǎn)相差不大,所以只靠精餾對(duì)其分離的效果不會(huì)十分理想。為去除雜質(zhì)砷,可在精餾前,加入適量的強(qiáng)氧化劑(如高錳酸鉀等)將三價(jià)態(tài)的砷進(jìn)行氧化,使其在精餾過(guò)程中沉積于塔釜中而被除去。2. 生產(chǎn)設(shè)備與工藝:生產(chǎn)設(shè)備全采用碳鋼襯聚四氟乙烯材料,生產(chǎn)工藝采用常壓、全封閉、連續(xù)化,采用熱水低溫(小于100度)精餾.蒸餾工藝,工藝參數(shù)采用DCS集散控制系統(tǒng)生產(chǎn)。3. 高純水制備:通過(guò)離子交換與過(guò)濾器先制得普通純水,再經(jīng)過(guò)反滲透、電滲析后進(jìn)入殺細(xì)菌、超微過(guò)濾制得高純水。4. 在無(wú)水氫氟酸預(yù)處理槽邊、精餾塔及蒸餾塔邊、成品包裝區(qū)設(shè)置HF有毒氣體濃度探測(cè)、集中報(bào)警系統(tǒng)。青島55%氫氟酸哪家強(qiáng)氫氟酸是一種無(wú)水酸,它可以與許多化合物發(fā)生脫水反應(yīng)。
氟化氫的生產(chǎn)并不難,但要想應(yīng)用到電子行業(yè),就必須做到非常精密的提純,而難就難在了提純上?,F(xiàn)行的提純手法主要是利用氟化氫的揮發(fā)性以及不同物質(zhì)沸點(diǎn)不同,采用精餾、蒸餾、亞沸蒸餾、減壓蒸餾、氣體吸收等技術(shù)對(duì)氟化氫進(jìn)行純化。在此過(guò)程中,要把三價(jià)砷的氟化物氧化成五價(jià),避免它跟著氟化氫一起蒸餾出來(lái)。然后用高純水溶解氟化氫,再過(guò)超濾膜過(guò)濾雜質(zhì),之后進(jìn)行檢驗(yàn)和無(wú)塵灌裝。在技術(shù)方面,中國(guó)是完全有能力生產(chǎn)高純度氟化氫的。但較大的困難在整個(gè)氟化氫產(chǎn)業(yè)鏈條上,高純度氟化氫的生產(chǎn)對(duì)技術(shù)和工藝的要求都非常高,操作中相應(yīng)設(shè)備的運(yùn)行和操作需要緊密結(jié)合才能減少由于操作失誤或者不夠精確對(duì)于氫氟酸的提取產(chǎn)生影響。并且需要長(zhǎng)期的測(cè)試。
各國(guó)基本都是采用氯化鉀消除氟硅酸鹽的干擾,用氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定溶液,以酚酞的指標(biāo)劑進(jìn)行滴定。我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)中的測(cè)定方法是將產(chǎn)品的總酸度測(cè)出后,再分別測(cè)出氟硅酸、硫酸含量。用總酸度數(shù)值分別減去氟硅酸含量、硫酸含量,之后結(jié)果以氟化氫表示。日本標(biāo)準(zhǔn)中的計(jì)算方法與我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)有所不同但兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)之后測(cè)定結(jié)果是一致的。另外從相關(guān)資料了解到,在測(cè)定氫氟酸含量過(guò)程中,我國(guó)和日本的測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)中都加入冰塊降溫,兩者目的都是使產(chǎn)品中的氟硅酸與鉀鹽反應(yīng)物的溶解程度降到較低,確保在滴定過(guò)程氟硅酸鉀不溶解。但我國(guó)采用的是在制樣過(guò)程中加入冰塊的方法,而日本標(biāo)準(zhǔn)中是在加入硝酸鉀溶液后再加入冰塊。我國(guó)標(biāo)準(zhǔn)中在制備試驗(yàn)溶液時(shí)加入冰塊,除了保證氟硅酸鉀不溶解,同時(shí)還能避免在稱樣過(guò)程中樣品的揮發(fā)。氫氟酸的使用和管理必須得到相關(guān)部門的批準(zhǔn)和監(jiān)督。
氫氟酸(HF)是一種強(qiáng)酸,具有腐蝕性和毒性,因此在儲(chǔ)存和運(yùn)輸過(guò)程中需要遵循一些特殊要求以確保安全性。以下是一些常見(jiàn)的特殊要求:儲(chǔ)存容器:氫氟酸應(yīng)儲(chǔ)存于特殊的耐酸容器中,如聚乙烯(PE)或聚四氟乙烯(PTFE)制成的塑料容器,或者玻璃或不銹鋼容器。這些容器應(yīng)具有良好的耐腐蝕性和密封性能。密封性:儲(chǔ)存和運(yùn)輸容器必須具有良好的密封性,以防止氫氟酸泄漏。任何泄漏都可能導(dǎo)致腐蝕、污染和危險(xiǎn)。防腐蝕材料:儲(chǔ)存和運(yùn)輸氫氟酸的設(shè)施和設(shè)備應(yīng)使用耐酸材料進(jìn)行構(gòu)建,以防止腐蝕和損壞。通風(fēng)系統(tǒng):儲(chǔ)存和處理氫氟酸的區(qū)域應(yīng)具備良好的通風(fēng)系統(tǒng),以確保氣體排放和防止氣體積聚。標(biāo)識(shí)和警示:儲(chǔ)存和運(yùn)輸容器應(yīng)正確標(biāo)識(shí),以指示其含有氫氟酸,并提供必要的警示標(biāo)志和標(biāo)簽。分離儲(chǔ)存:氫氟酸應(yīng)與其他化學(xué)物質(zhì)分開(kāi)儲(chǔ)存,特別是與堿性物質(zhì)和易燃物質(zhì)保持一定的距離。防火措施:儲(chǔ)存和運(yùn)輸氫氟酸的區(qū)域應(yīng)采取適當(dāng)?shù)姆阑鸫胧缡褂梅阑饓?、滅火設(shè)備和防火閥等。儲(chǔ)存溫度:氫氟酸的儲(chǔ)存溫度通常應(yīng)在室溫下進(jìn)行,避免過(guò)高或過(guò)低的溫度。在使用氫氟酸時(shí)必須使用高效的通風(fēng)和過(guò)濾設(shè)施。安徽純氫氟酸哪里買
使用氫氟酸時(shí)必須保持設(shè)備和環(huán)境清潔和干燥。安徽純氫氟酸哪里買
那高純氟化氫有多純呢?以前我們都聽(tīng)說(shuō)過(guò)千足金的說(shuō)法,也就是純度為99.9%,含有0.1%的雜質(zhì),后來(lái)又有人提出萬(wàn)足金,就是99.99%,含有0.01%的雜質(zhì)。而日本產(chǎn)的較高純度的氫氟酸純度為99.999%甚至更高,這個(gè)在目前較先進(jìn)的芯片生產(chǎn)工藝中都可以放心使用。而中國(guó)目前能生產(chǎn)的較高純度也比這個(gè)純度低十倍左右,而這只是其中一個(gè)指標(biāo),此外還有控制粒徑、顆粒個(gè)數(shù)等指標(biāo)。如前所說(shuō),氟化氫的生產(chǎn)并不困難,只需要讓螢石跟硫酸進(jìn)行反應(yīng),就可以制得氟化氫。再用水溶解掉氟化氫,就變成了氫氟酸。這個(gè)生產(chǎn)過(guò)程技術(shù)含量并不高,工藝也不復(fù)雜。但生產(chǎn)出來(lái)的只是工業(yè)級(jí)的氫氟酸,要想應(yīng)用到電子行業(yè),必須做非常精密的提純。難就難在了提純上。安徽純氫氟酸哪里買