光學(xué)顯微鏡在失效分析中有哪些應(yīng)用?失效分析過(guò)程中,樣品形貌主要通過(guò)光學(xué)顯微鏡觀察和記錄,光學(xué)顯微鏡可以提供幾倍到上千倍的放大倍數(shù),另外光學(xué)顯微鏡對(duì)半導(dǎo)體的某些多層結(jié)構(gòu)具有透明性,比如二氧化硅鈍化層。光學(xué)顯微鏡要求樣品是固體,在高倍觀測(cè)時(shí)由于景深的限制,要求樣品表面要平坦。應(yīng)用顯微鏡一般是先通過(guò)低倍顯微鏡觀察整體形貌和缺陷,然后用高倍顯微鏡進(jìn)一步確認(rèn)缺陷,比如裂紋,斷裂,沾污,變形等異常,常用的顯微鏡觀測(cè)方式有明場(chǎng),暗場(chǎng),干涉照明,偏振光,熒光顯微鏡等。光學(xué)顯微鏡明場(chǎng)照明的圖像是由反射光形成的,光源的入射光垂直射向樣品表面,從樣品表面反射后重新進(jìn)入物鏡,大部分的反射光線會(huì)返回,因而照明強(qiáng)度大,適用于表面平整的樣品,明場(chǎng)觀測(cè)到的發(fā)暗的或者不清晰的區(qū)域可能是由于表面不平所致。現(xiàn)在的光學(xué)顯微鏡可把物體放大1600倍。Nikon Ci-POL偏光顯微鏡廠
物鏡是顯微鏡較重要的光學(xué)部件,利用光線使被檢物體一次成像,因而直接關(guān)系和影響成像的質(zhì)量和各項(xiàng)光學(xué)技術(shù)參數(shù),是衡量一臺(tái)顯微鏡質(zhì)量的首要標(biāo)準(zhǔn)。國(guó)際物鏡的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)是以蔡司物鏡為基準(zhǔn)的。物鏡的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,制作精密,由于對(duì)像差的校正,金屬的物鏡筒內(nèi)由相隔一定距離并被固定的透鏡組組合而成。物鏡有許多具體的要求,如合軸,齊焦。齊焦既是在鏡檢時(shí),當(dāng)用某一倍率的物鏡觀察圖像清晰后,在轉(zhuǎn)換另一倍率的物鏡時(shí),其成像亦應(yīng)基本清晰,而且像的中心偏離也應(yīng)該在一定的范圍內(nèi),也就是合軸程度。齊焦性能的優(yōu)劣和合軸程度的高低是顯微鏡質(zhì)量的一個(gè)重要標(biāo)志,它是與物鏡的本身質(zhì)量和物鏡轉(zhuǎn)換器的精度有關(guān)。深圳OLYMPUS顯微鏡物鏡鏡頭費(fèi)用在應(yīng)用顯微鏡時(shí)一定要小心翼翼。
顯微鏡的光學(xué)保養(yǎng):首先,保持光學(xué)元件的清潔對(duì)于保證好的光學(xué)性能來(lái)說(shuō)十分重要,當(dāng)顯微鏡不用的時(shí)候,應(yīng)該用防塵罩將其蓋住。如果光學(xué)表面或者儀器有灰塵和污物,在擦清表面前應(yīng)該先用吹氣球吹去灰塵或者用柔軟毛刷去污物。第二,顯微鏡的光學(xué)表面需要用無(wú)絨棉布,鏡頭紙或者是使用鏡頭清潔液沾濕的棉花簽來(lái)清潔。對(duì)顯微鏡鏡頭進(jìn)行清潔的時(shí)候,應(yīng)該用擦鏡紙或者棉花簽恰當(dāng)?shù)恼礉袢軇⒁獠灰褂眠^(guò)多的溶劑,否則滲透到物鏡內(nèi),會(huì)造成物鏡的清晰度下降以及物鏡的損壞。第三,顯微鏡中的目鏡與物鏡的表面鏡頭很容易沾到灰塵或者污物及油等,如果出現(xiàn)襯度,清晰度下降,霧狀的時(shí)候,則需要使用放大鏡對(duì)顯微鏡的目鏡,物鏡前面的鏡頭情況進(jìn)行仔細(xì)的檢查。
數(shù)值孔徑簡(jiǎn)寫NA,數(shù)值孔徑是顯微鏡物鏡和聚光鏡的主要技術(shù)參數(shù),是判斷兩者(尤其對(duì)物鏡而言)性能高低(即消位置色差的能力,蔡司公司的數(shù)值孔是說(shuō)明消位置色差和倍率色差的能力),的重要標(biāo)志。其數(shù)值的大小,分別標(biāo)科在物鏡和聚光鏡的外殼上。數(shù)值孔徑(NA)是物鏡前透鏡與被檢物體之間介質(zhì)的折射率(η)和孔徑角(u)半數(shù)的正玄之乘積。用公式表示如下:NA=ηsinu/2 孔徑角又稱“鏡口角”,是物鏡光軸上的物體點(diǎn)與物鏡前透鏡的有效直徑所形成的角度。孔徑角越大,進(jìn)入物鏡的光通亮就越大,它與物鏡的有效直徑成正比,與焦點(diǎn)的距離成反比。顯微鏡之所以能將被檢物體進(jìn)行放大,是通過(guò)透鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)的。單透鏡成像具有像差,嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。
金相顯微鏡維護(hù)保養(yǎng)方式:1、標(biāo)準(zhǔn)批準(zhǔn)狀況下,建議的實(shí)驗(yàn)室應(yīng)具有三防標(biāo)準(zhǔn):抗震(杜絕地震源)、防水(應(yīng)用中央空調(diào)、空氣干燥器)、防污(路面鋪平木地板);開關(guān)電源:380V±10%,50HZ;溫度:0°C-40°C。2、對(duì)焦時(shí)留意不必使物鏡遇到試件,以防刮傷物鏡。3、當(dāng)載物臺(tái)密封墊圓洞管理中心的部位杜絕物鏡管理中心部位時(shí)不必轉(zhuǎn)換物鏡,以防刮傷物鏡。4、亮度調(diào)整切勿忽大忽小,也不必過(guò)亮,危害電燈泡的使用期,另外也不利于眼睛視力。5、全部(作用)轉(zhuǎn)換,姿勢(shì)要輕,要及時(shí)。6、關(guān)閉設(shè)備要將色度調(diào)到較少。7、外行工作人員不必調(diào)節(jié)照明燈具系統(tǒng)軟件(鎢絲位置燈),以防危害顯像品質(zhì)。光學(xué)顯微鏡一類利用光學(xué)原理將微小物像進(jìn)行高倍放大以便肉眼觀察的儀器。廣州三豐金相測(cè)量顯微鏡廠
光學(xué)部分是較為關(guān)鍵的,它由目鏡和物鏡組成。Nikon Ci-POL偏光顯微鏡廠
消色差聚光鏡:這種顯微聚光鏡又名“消色差消球差聚光鏡”和“齊明聚光鏡”它由一系列透鏡組成,它對(duì)色差球差的校正程度很高,能得到理想的圖像,是明場(chǎng)鏡檢中質(zhì)量較高的一種聚光鏡,其NA值達(dá)1.4 。因此,在高級(jí)研究顯微鏡常配有此種聚光鏡。它不適用于4 X以下的低倍物鏡,否則照明光源不能充滿整個(gè)視場(chǎng)。搖出式聚光鏡:在使用低倍物鏡時(shí)(如4X),由于視場(chǎng)大,光源所形成的光錐不能充滿真整個(gè)視場(chǎng),造成視場(chǎng)邊緣部分黑暗,只中間部分被照亮。要使視場(chǎng)充滿照明,就需將聚光鏡的上透鏡從光路中搖出。其它聚光鏡:聚光鏡除上述明場(chǎng)使用的類型外,還有作特殊用途的聚光鏡。如暗視野聚光鏡,相襯聚光鏡,偏光聚光鏡,微分干涉聚光鏡等,以上聚光鏡分別適用于相應(yīng)的觀察方式。Nikon Ci-POL偏光顯微鏡廠
深圳市寶安區(qū)沙井大通儀器設(shè)備經(jīng)營(yíng)部擁有是以計(jì)量?jī)x器,工業(yè)顯微鏡,無(wú)損檢測(cè),形狀測(cè)量,實(shí)驗(yàn)材料分析,傳感器,小量具,集研發(fā),產(chǎn)銷,服務(wù)于一體的綜合性企業(yè)。目前產(chǎn)品普遍服務(wù)于國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體,精密光學(xué),航空航天,汽車零件,電子元件,五金塑膠等領(lǐng)域。等多項(xiàng)業(yè)務(wù),主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋檢測(cè)儀,測(cè)量?jī)x,三次元,顯微鏡。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,實(shí)現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:檢測(cè)儀,測(cè)量?jī)x,三次元,顯微鏡等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨,深受客戶好評(píng)。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,樹立了良好的檢測(cè)儀,測(cè)量?jī)x,三次元,顯微鏡形象,贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。