干涉儀是一種使用干涉測量技術的光學計量儀器,其思想在于利用波的疊加性來獲取波的相位信息,從而獲得實驗所關心的物理量。以下是對干涉儀的詳細介紹:一、基本原理具有固定相位差的兩列準單色波的疊加將導致振幅發(fā)生變化,從而可以通過測量較容易測量的振幅來獲取波的相位信息。由于幅度變化依賴于相位差的余弦函數,這種幅度的變化有時候在空間表現為周期性的條紋,即干涉條紋?;緲嫵筛缮鎯x一般由光源、分束器、反射鏡、干涉屏(或檢測器)等組成。光源發(fā)出的光經過分束器被分成兩束,分別經由反射鏡反射回來,并在干涉屏(或檢測器)上產生干涉圖樣。其中,各元件的功能如下:激光的出現在世界計量史上具有重大的意義。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀維保
激光干涉儀具有廣泛的應用領域,包括但不限于:科學研究:用于檢測引力波、測量微小位移和振動等。工業(yè)制造:用于精密機械加工、質量控制和機床校準等。在機床校準中,激光干涉儀能夠測量機床的線性定位誤差、直線度誤差、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及速度、加速度、振動等參數,并評估機床的動態(tài)特性。計量學:用于長度標準的校準。通信:用于光纖傳感和信號處理。四、主要特點高精度:激光干涉儀能夠實現亞納米級的測量精度,非常適合各種高精度測量應用。姑蘇區(qū)通用雙頻激光干涉儀銷售廠在科學研究和工業(yè)檢測中,干涉儀是一種非常重要的工具。
環(huán)境適應力強:雙頻激光干涉儀采用交流放大器對干涉信號進行放大,即使光強衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號。因此,它既可在恒溫、恒濕、防震的計量室內使用,也可在普通車間內為大型機床的刻度進行標定。實時動態(tài)測速高:現代的雙頻激光干涉儀測速普遍達到1m/s,有的甚至達到十幾m/s,適于高速動態(tài)測量。三、應用領域幾何量精密測量:用于長度、角度、直線度、平行度、平面度、垂直度等幾何量的高精度測量。同時,既支持幾十米大量程的檢測(如大型機械),也可對手表零件等微米級運動進行測量。
(1)接受信號為交流信號,前置放大器為高倍數的交流放大器,不用直流放大,故沒有零點漂移等問題。(2)利用多普勒效應,計數器計頻率差的變化,不受激光強度和磁場變化的影響。在光強度衰減90%時仍可得到滿意的信號,這對于遠距離測量是十分重要的,同時在近距離測量時又能簡化調整工作。(3)測量精度不受空氣湍流的影響,無需預熱時間。用激光干涉儀作為機床的測量系統(tǒng)可以提高機床的精度和效率。起初*用于高精度的磨床、鏜床和坐標測量機上,以后又用于加工中心的定位系統(tǒng)中。測量精度不受空氣湍流的影響,無需預熱時間。
這路光束和由固定反射鏡反射回來*含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為*含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后,由電子計算機進行當量換算(乘 1/2激光波長)后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統(tǒng)。利用相應附件,還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。光程傳播:參考光束和測量光束分別經過不同的路徑,可能會經過被測物體或介質。姑蘇區(qū)直銷雙頻激光干涉儀五星服務
和單頻激光干涉儀一樣,雙頻激光干涉儀也是一種以波長作為標準對被測長度進行度量的儀器。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀維保
反射光和透射光分別垂直入射到全反射鏡M1和M2,它們經反射后回到G1(左)的半透半反射膜處,再分別經過透射和反射后,來到觀察區(qū)域E。G2(右)為補償板,它與G1為相同材料,有相同的厚度,且平行安裝,目的是要使參加干涉的兩光束經過玻璃板的次數相等,兩束光在到達觀察區(qū)域E時沒有因玻璃介質而引入額外的光程差。當M2和M1'嚴格平行時,表現為等傾干涉的圓環(huán)形條紋,移動M2時,會不斷從干涉的圓環(huán)中心“吐出”或向中心“吞進”圓環(huán)。兩平面鏡之間的“空氣間隙”距離增大時,中心就會“吐出”一個個條紋;反之則“吞進”。M2和M1'不嚴格平行時,則表現為等厚干涉條紋,移動M2時,條紋不斷移過視場中某一標記位置,M2平移距離 d 與條紋移動數 N 的關系滿足:d=Nλ/2,λ為入射光波長。工業(yè)園區(qū)本地雙頻激光干涉儀維保
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