太倉(cāng)銷(xiāo)售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2025-06-19

激光干涉測(cè)量?jī)x通過(guò)雙頻激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)高精度線(xiàn)性位移測(cè)量,適用于車(chē)間生產(chǎn)環(huán)境下的數(shù)控機(jī)床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機(jī)校準(zhǔn)及光學(xué)平臺(tái)校準(zhǔn)。其測(cè)量鏡組可擴(kuò)展功能,支持直線(xiàn)度、垂直度等幾何量檢測(cè) [2]。該儀器的系統(tǒng)包括 [2]:1.雙頻激光頭及附件2.環(huán)境補(bǔ)償單元3.測(cè)量軟件、分析軟件4.各類(lèi)測(cè)量鏡組激光干涉測(cè)量?jī)x的優(yōu)勢(shì)包括緊湊設(shè)計(jì)、自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償及符合測(cè)校國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量分析軟件。截至2023年8月,典型型號(hào)LH3000的測(cè)量速度可達(dá)2米/秒,頻差為7±0.5MHz [2]。雙頻激光干涉儀的基本原理是利用激光的相干性和干涉現(xiàn)象。太倉(cāng)銷(xiāo)售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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雙頻激光干涉儀是在單頻激光干涉儀的基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái)的一種外差式干涉儀,以下是對(duì)其的詳細(xì)介紹:一、基本原理雙頻激光干涉儀利用兩束頻率相近的激光,通過(guò)分束后分別作為參考光和測(cè)量光。測(cè)量光經(jīng)移動(dòng)目標(biāo)反射后與參考光疊加產(chǎn)生多普勒頻移差頻信號(hào),通過(guò)檢測(cè)差頻的變化來(lái)計(jì)算位移量。具體來(lái)說(shuō):雙頻生成:激光器產(chǎn)生兩束頻率相近的激光(如利用塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制),頻率分別為f1和f2。分束干涉:光束經(jīng)分光鏡分為兩路,一路為參考光(頻率穩(wěn)定),另一路為測(cè)量光(頻率經(jīng)被測(cè)物**移產(chǎn)生多普勒頻移Δf)。虎丘區(qū)銷(xiāo)售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)測(cè)量精度不受空氣湍流的影響,無(wú)需預(yù)熱時(shí)間。

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基于菲索干涉儀的等厚干涉原理設(shè)計(jì),通過(guò)對(duì)比被測(cè)平面與標(biāo)準(zhǔn)參照鏡的干涉條紋變化,實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件表面形狀誤差和材料均勻性的非接觸式測(cè)量 [1] [3-4]。標(biāo)準(zhǔn)參照鏡面形精度通常達(dá)到p-v:λ/20 [3-4]。測(cè)量口徑:Φ60mm(典型型號(hào)) [3-4]對(duì)準(zhǔn)方式:兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) [3-4]結(jié)構(gòu)特性:小型化設(shè)計(jì)、防塵性能優(yōu)異 [3-4]精度范圍:根據(jù)型號(hào)不同覆蓋1/10-1/100波長(zhǎng)梯度 [11.光學(xué)制造:檢測(cè)平面鏡、棱鏡等光學(xué)元件表面面型2.質(zhì)量檢測(cè):評(píng)估光學(xué)材料均勻性與透鏡波前像差 [1]3.科研實(shí)驗(yàn):實(shí)驗(yàn)室環(huán)境下進(jìn)行精密光學(xué)計(jì)量分析

激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。它通過(guò)將激光束分成兩部分,分別經(jīng)過(guò)不同的路徑后再合并,形成干涉圖樣,從而可以精確測(cè)量光程差、位移、厚度等物理量。激光干涉儀的基本原理可以概括為以下幾個(gè)步驟:激光發(fā)射:激光器發(fā)出單色光束。光束分割:通過(guò)分束器將激光束分成兩部分,通常稱(chēng)為參考光束和測(cè)量光束。光程傳播:參考光束和測(cè)量光束分別經(jīng)過(guò)不同的路徑,可能會(huì)經(jīng)過(guò)被測(cè)物體或介質(zhì)。光束合并:兩束光在分束器后重新合并,形成干涉圖樣。當(dāng)兩束不同頻率的激光光束經(jīng)過(guò)分束器分開(kāi)后,經(jīng)過(guò)被測(cè)物體的反射或透射后再合并,形成干涉條紋。

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若干涉條紋發(fā)生移動(dòng),一定是場(chǎng)點(diǎn)對(duì)應(yīng)的光程差發(fā)生了變化,引起光程差變化的原因,可能是光線(xiàn)長(zhǎng)度L發(fā)生變化,或是光路中某段介質(zhì)的折射率n發(fā)生了變化,或是薄膜的厚度e發(fā)生了變化。S為點(diǎn)光源,M1(上邊)、M2(右邊)為平面全反射鏡,其中M1是定鏡;M2為動(dòng)鏡,它和精密螺絲相連,轉(zhuǎn)動(dòng)鼓輪可以使其向前后方向移動(dòng),最小讀數(shù)為10mm,可估計(jì)到10mm,。M1和M2后各有3個(gè)小螺絲可調(diào)節(jié)其方位。G1(左)為分光鏡,其右表面鍍有半透半反膜,使入射光分成強(qiáng)度相等的兩束(反射光和透射光)。即使光強(qiáng)衰減90%,仍然可以得到有效的干涉信號(hào)。太倉(cāng)直銷(xiāo)雙頻激光干涉儀性?xún)r(jià)比

高精度:雙頻激光干涉儀能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)別的測(cè)量精度,適用于微小位移的檢測(cè)。太倉(cāng)銷(xiāo)售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

另一方面,當(dāng)可動(dòng)棱鏡移動(dòng)時(shí),前者的干涉信號(hào)是在**亮和**暗之間緩慢變化的信號(hào),而后者的干涉信號(hào)是使原有的交流信號(hào)頻率增加或減少了△f,結(jié)果依然是一個(gè)交流信號(hào)。因而對(duì)于雙頻激光干涉儀來(lái)說(shuō),可用放大倍數(shù)較大的交流放大器對(duì)干涉信號(hào)進(jìn)行放大,這樣,即使光強(qiáng)衰減90%,依然可以得到合適的電信號(hào)。精度高雙頻激光干涉儀以波長(zhǎng)作為標(biāo)準(zhǔn)對(duì)被測(cè)長(zhǎng)度進(jìn)行度量的儀器。即使不做細(xì)分也可達(dá)到μm量級(jí),細(xì)分后更可達(dá)到nm量級(jí)。應(yīng)用范圍廣雙頻激光干涉儀除了可用于長(zhǎng)度的精密測(cè)量外,配上適當(dāng)?shù)母郊€可測(cè)量角度、直線(xiàn)度、平面度、振動(dòng)距離及速度等等太倉(cāng)銷(xiāo)售雙頻激光干涉儀五星服務(wù)

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