產(chǎn)品可用性EVG目前正在接受該系統(tǒng)的訂單,產(chǎn)品演示現(xiàn)已在位于公司總部的EVG的NILPhotonics®能力中心提供。有關(guān)EVG7300自動化SmartNIL納米壓印和晶圓級光學(xué)系統(tǒng)的更多信息,請訪問。3、EVG參加SPIEAR/VR/MR2022EVG在SPIEAR/VR/MR會議和展覽上就NIL在制造增強(qiáng)現(xiàn)實波導(dǎo)中的好處進(jìn)行受邀演講,該會議與在舊金山Moscone中心舉行的SPIEPhotonicsWest共同舉辦1月22日至27日。EVG也是此次活動的參展商,將展示其用于光學(xué)和光子器件及應(yīng)用的先進(jìn)制造解決方案。4、關(guān)于EV集團(tuán)(EVG)EVGroup(EVG)是半導(dǎo)體、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、化合物半導(dǎo)體、功率器件和納米技術(shù)器件制造設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng)仙供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合、薄晶圓加工、光刻/納米壓印光刻(NIL)和計量設(shè)備,以及光刻膠涂布機(jī)、清潔劑和檢測系統(tǒng)。EVGroup成立于1980年,為遍布全球的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)提供服務(wù)和支持。有關(guān)EVG的更多信息,請訪問我們的官網(wǎng)。 矽利康測試探針卡供應(yīng)商。廣東有名測試探針卡生產(chǎn)廠家
IC探測卡又稱為探針卡(probecard),用來測試IC芯片(wafer)良品率的工具,是IC生產(chǎn)鏈中不可或缺的重要一環(huán)。探針卡是一種非常精密的工具,經(jīng)由多道非常小心精密的生產(chǎn)步驟而完成。為使您的針卡擁有比較高的使用效能,請仔細(xì)閱讀以下詳細(xì)說明,并小心使用、定期的維護(hù)。一.探針卡的存放:1,請勿將探針卡放置于過高或過低于常溫的環(huán)境下。由于膨脹系數(shù)的不同,過高或過低的溫度可能會使您的探針卡受到損壞。2,請勿將探針卡放置于潮濕的環(huán)境下。潮濕的環(huán)境可能使您的探什卡產(chǎn)生低漏電、高泄漏電流等不良情況。3,請勿將探針卡放置于具有腐蝕性化學(xué)品的環(huán)境下。4,請務(wù)必將探針卡放置于常溫、干燥、清潔的環(huán)境下,并以堅固的容器保存。避免劇烈的震動,以免造成針尖位置的偏移。二.探針卡的一般維修:通常一張?zhí)结樋ㄐ枰幸?guī)律性地維護(hù)方能確保它達(dá)到預(yù)期的使用效果。每張?zhí)结樋s使用25,000次時就需要檢查它的位置基準(zhǔn)和水平基準(zhǔn)值,約使用250,000次時需要重新更換所有探針。一般的標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)程序包括化學(xué)清潔(探針卡在使用一段時間后針尖上會附著些污染物,如外來碎片、灰塵等。),調(diào)整水平其及位置基準(zhǔn)等。在每次取下探針卡作調(diào)整或清潔后。 四川測試探針卡公司選擇測試探針卡哪家好。
薄膜的沉積方法根據(jù)其用途的不同而不同,厚度通常小于1um。有絕緣膜、半導(dǎo)體薄膜、金屬薄膜等各種各樣的薄膜。薄膜的沉積法主要有利用化學(xué)反應(yīng)的CVD(chemicalvapordeposition)法以及物理現(xiàn)象的PVD(physicalvapordeposition)法兩大類。CVD法有外延生長法、HCVD,PECVD等。PVD有濺射法和真空蒸發(fā)法。一般而言,PVD溫度低,沒有毒氣問題;CVD溫度高,需達(dá)到1000oC以上將氣體解離,來產(chǎn)生化學(xué)作用。PVD沉積到材料表面的附著力較CVD差一些,PVD適用于在光電產(chǎn)業(yè),而半導(dǎo)體制程中的金屬導(dǎo)電膜大多使用PVD來沉積,而其他絕緣膜則大多數(shù)采用要求較嚴(yán)謹(jǐn)?shù)腃VD技術(shù)。以PVD被覆硬質(zhì)薄膜具有較多的度,耐腐蝕等特點。
熱CVD(HotCVD)/(thermalCVD)此方法生產(chǎn)性高,梯狀敷層性佳(不管多凹凸不平,深孔中的表面亦產(chǎn)生反應(yīng),及氣體可到達(dá)表面而附著薄膜)等,故用途極廣。膜生成原理,例如由揮發(fā)性金屬鹵化物(MX)及金屬有機(jī)化合物(MR)等在高溫中氣相化學(xué)反應(yīng)(熱分解,氫還原、氧化、替換反應(yīng)等)在基板上形成氮化物、氧化物、碳化物、硅化物、硼化物、高熔點金屬、金屬、半導(dǎo)體等薄膜方法。因只在高溫下反應(yīng)故用途被限制,但由于其可用領(lǐng)域中,則可得致密高純度物質(zhì)膜,且附著強(qiáng)度極強(qiáng),若用心控制,則可得安定薄膜即可輕易制得觸須(短纖維)等,故其應(yīng)用范圍極廣。熱CVD法也可分成常壓和低壓。低壓CVD適用于同時進(jìn)行多片基片的處理,壓力一般控制在。作為柵電極的多晶硅通常利用HCVD法將SiH4或Si2H。氣體熱分解(約650oC)淀積而成。采用選擇氧化進(jìn)行器件隔離時所使用的氮化硅薄膜也是用低壓CVD法,利用氨和SiH4或Si2H6反應(yīng)面生成的,作為層間絕緣的SiO2薄膜是用SiH4和O2在400--4500oC的溫度下形成SiH4+O2-SiO2+2H2或是用Si(OC2H5)4(TEOS:tetraethoxysilanc)和O2在750oC左右的高溫下反應(yīng)生成的,后者即采用TEOS形成的SiO2膜具有臺階側(cè)面部被覆性能好的優(yōu)點。前者,在淀積的同時導(dǎo)入PH3氣體。 蘇州矽利康測試探針卡供應(yīng)商。
行業(yè)競爭非常激烈,經(jīng)過30年發(fā)展,較初的30多個刻蝕和薄膜設(shè)備公司現(xiàn)在集中到了3家中微第二廠房第二期完成后,將達(dá)到每年400-500臺設(shè)備,80-100億人民幣的開發(fā)能力。中微有100多位來自十多個國家的半導(dǎo)體設(shè)備專家,十幾個VP來自6個國家。中微在線刻蝕機(jī)累計反映臺數(shù)量前面的年以每年>30%速度增長,刻蝕機(jī)及MOCVD已有409個反應(yīng)臺在亞洲34條先進(jìn)生產(chǎn)線使用,從12到15年在線累計反應(yīng)器數(shù)量平均每年增長40%?,F(xiàn)在以40nm,45nm和28nm及以下的晶圓為主,28nm及以下晶元每月加工30萬片以上;MEMS和CIS每月加工超過8萬片。中國臺灣前列Foundry以生產(chǎn)了1200多萬片合格的晶元,已經(jīng)在10nm的研發(fā)線核準(zhǔn)了幾道刻蝕應(yīng)用,成為RTOR。在韓國的Memory生產(chǎn)線16nm接觸孔刻蝕已經(jīng)量產(chǎn)。未來,TSV、CIS、MEMS刻蝕等領(lǐng)域有快速的增長,TSV刻蝕設(shè)備在未來十年將會增長到10億美元以上。中微MEMS刻蝕已達(dá)到國際蕞先進(jìn)水平2013年全國泛半導(dǎo)體設(shè)備出口為,其中中微出口,占比為64%。14年總出口,中微出口,占比提升到76%。中微半導(dǎo)體近幾年每年30-40%高速成長,在今后8到10年會繼續(xù)保持高速度的增長,以達(dá)到年銷售額50億人民幣水平,成為國際半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備的較前企業(yè)。 選擇測試探針卡生產(chǎn)廠家。陜西專業(yè)提供測試探針卡研發(fā)
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晶圓探針卡又稱探針卡,英文名稱“Probecard”。廣泛應(yīng)用于內(nèi)存、邏輯、消費、驅(qū)動、通訊IC等科技產(chǎn)品的晶圓測試,輸半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中相當(dāng)細(xì)微的一環(huán)。當(dāng)IC設(shè)計完成后,會下單給晶圓代工廠制作,晶圓制作完成后而尚未切割封裝之際,為確保晶圓良率及避免封裝的浪費,須執(zhí)行晶圓電性測試及分析制程。探針卡預(yù)測試及構(gòu)成測試回路,與IC封裝前,以探針偵測晶粒,篩選出電性功能不良的芯片,避免不良品造成后段制造成本的浪費。隨著半導(dǎo)體制成的快速進(jìn)展,傳統(tǒng)探針卡已面臨測試極限,滿足了高積密度測試,探針卡類型在不斷發(fā)展。隨著晶圓探針卡的不斷提升,探針卡的種類不斷更新。較早的探針卡發(fā)展于1969年。主要分為epoxring水平式探針卡;薄膜式水平式探針卡;垂直式探針卡,橋接支持構(gòu)件;SOI型探針卡。目前晶圓測試廠較廣的用于晶圓測試的探針卡為,懸臂及垂直探針卡2種類型。懸臂探針卡的優(yōu)點:多種探針尺寸,多元探針材質(zhì);擺針形式靈活,單層,多層針均可;造價低廉,可更換單根探針;用于大電流測試。垂直探針卡的優(yōu)點:垂直探針卡能帶來更高的能力及效能,主要優(yōu)點:多種針尖尺寸;高度平行處理適合Multi-Dut;高科技探針材料,高溫測試。 廣東有名測試探針卡生產(chǎn)廠家
蘇州矽利康測試系統(tǒng)有限公司一直專注于公司專注于各類測試探針卡的研發(fā)、制造、銷售、技術(shù)培訓(xùn)和支持等服務(wù)。經(jīng)過多年不懈的努力,蘇州矽利康測試系統(tǒng)有限公司現(xiàn)已發(fā)展成為專業(yè)提供探針卡和測試方案的供應(yīng)商之一,公司產(chǎn)品被廣泛應(yīng)用于集成電路、光電器件、傳感器件、電子器件、LCD等測試領(lǐng)域,服務(wù)的產(chǎn)業(yè)涉及半導(dǎo)體、航天、汽車電子、工業(yè)控制、消費類電子、科院所等。,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己獨立的技術(shù)體系。公司目前擁有較多的高技術(shù)人才,以不斷增強(qiáng)企業(yè)重點競爭力,加快企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新,實現(xiàn)穩(wěn)健生產(chǎn)經(jīng)營。公司以誠信為本,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋探針卡,探針,設(shè)備,我們本著對客戶負(fù)責(zé),對員工負(fù)責(zé),更是對公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,爭取做到讓每位客戶滿意。公司力求給客戶提供全數(shù)良好服務(wù),我們相信誠實正直、開拓進(jìn)取地為公司發(fā)展做正確的事情,將為公司和個人帶來共同的利益和進(jìn)步。經(jīng)過幾年的發(fā)展,已成為探針卡,探針,設(shè)備行業(yè)出名企業(yè)。