氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：①氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，這樣氦氣的本底值就小，有利于發(fā)現(xiàn)極微量的氦氣;②氦分子小、質量輕、易擴散、易穿越漏孔，易于檢測也易于清理;③氦離子荷質比小，易于進行質譜分析;④氦氣是惰性氣體，化學性質穩(wěn)定，不會腐蝕和損傷任何設備;⑤氦氣無毒，不凝結，極難容于水。氦質譜檢漏技術用于火力發(fā)電廠的檢漏工作,具有操作方便、靈敏度高和無損傷性等優(yōu)點,特別是可以在正常運行中準確快捷地對機組進行檢漏,減少停機帶來的經(jīng)濟損失。氦檢儀內部配有一臺旋片式真空泵,用以維持儀器內部的高真空。安徽國產(chǎn)氦質譜檢漏儀技術指導
氦質譜檢漏儀的噪聲主要來源于電路噪聲和本底噪聲，目前設備電子線路和電子元件的改進，使得電路噪聲已經(jīng)降得很低，因此氦質譜檢漏儀的本底噪聲成為影響設備性能的主要因素。而其本底噪聲的產(chǎn)生主要是由于本底峰的不穩(wěn)定造成的，主要形成的原因包括：一、離子源中的發(fā)射電流、加速電壓以及分析器的電磁參數(shù)不穩(wěn)定。二、真空油脂、橡膠材料、有機絕緣材料都可吸附和再釋放出氦氣，而電離規(guī)，特別是磁放電真空規(guī)對氦有記憶效應，其表面污染時就更為嚴重。三、抽氣系統(tǒng)中抽速不穩(wěn)定和氦的反擴散。四、氦質譜檢漏儀中空氣的本底影響。為盡量消除氦質譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施，如減少采用有機材料，不用磁放電規(guī)等。紹興智能氦質譜檢漏儀工作原理氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。
氦檢儀（HeliumMassSpectrometerLeakDetector）為氣體工業(yè)名詞術語，用氦氣或者氫氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低，分子量及粘滯系數(shù)小，因而易通過漏孔并易擴散；另外，氦系惰性氣體，不腐蝕設備，故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調整到只對氦氣反應的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。專業(yè)用于電廠檢漏的氦檢儀。關鍵部件均為進口，性能穩(wěn)定可靠。不只靈敏度高，而且操作方便，能夠雙燈絲自動切換、自動調零、自動校準和自動量程切換。
氦檢儀是什么？氦檢儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度較高，用得較普遍的氦檢儀器。氦檢儀是磁偏轉型的質譜分析計。單級磁偏轉型儀器普遍地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級串聯(lián)磁偏轉型儀器與單級磁偏轉型儀器相比較，本底噪聲明顯減小。適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。氦檢儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。噴氦法、吸氦法是氦質譜檢漏儀在電阻爐檢漏中常用的兩種方法。
氦質譜檢漏儀的靈敏度，通常指儀器的可檢漏率。氦質譜檢漏儀主要技術指標：1.可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s；2.漏率顯示范圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s；3.啟動時間：≤5min；4.響應時間：≤1s；5.檢漏口的壓力：1500Pa；6.電源要求：220v，50Hz，單相，10A；7.工作環(huán)境：5-35℃；8.相對濕度：≤80%；9.外形尺寸：550（w）×400（D）×780（H）；10.重量：64kg。使用環(huán)境：環(huán)境溫度：5～35℃；相對濕度：<80%；供電電壓：單相交流220V±10%，50Hz工作電流：10A。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。常州移動式氦質譜檢漏儀價錢
質譜室是氦檢儀的重點部分，它包括離子源、聚焦、質量分析器和測量部分。安徽國產(chǎn)氦質譜檢漏儀技術指導
氦質譜檢漏儀特點：1.檢測時間和周期非常短，可以達到5s以內；2.檢測的介質比較常用，只需壓縮空氣即可；3.不會受到主觀因素判斷的影響；4.檢測的數(shù)據(jù)精確；5.自動生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。氫質譜檢漏儀能為不同的應用提供不同的測試方法，含有渦輪分子泵、內置機械泵、外置機械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氨質譜檢漏儀在許多領域里得到普遍的應用，例如，在航空航天領域里宇宙飛船、航天飛機、火箭、衛(wèi)星、飛機等這些都要用到真空檢漏技術。安徽國產(chǎn)氦質譜檢漏儀技術指導