氦檢儀應(yīng)用領(lǐng)域：工業(yè)：真空爐、鍍膜系統(tǒng)、壓力容器、超高真空工程。高能物理：加速器、束線、同步輻射光源。科研領(lǐng)域：空間模擬系統(tǒng)、試驗裝置、微電子、表面分析系統(tǒng)。半導(dǎo)體及電子：工藝設(shè)備、氣路、氣路傳輸設(shè)備、電子元器件、封裝。汽車制冷：蒸發(fā)器、空調(diào)、管路。核工業(yè)：核電閥門、核容器。航空航天：空間模擬器、航天器、管路。電廠：管道、蒸汽發(fā)生器、熱交換器、冷凝器。氦檢儀是對密封容器的泄漏進(jìn)行快速定位和定量測量的儀器。氦質(zhì)譜檢漏方法與氣泡識別法、壓強衰減法和鹵素檢漏等方法相比，具有檢測靈敏度高、速度快和適用范圍寬，此外氦檢儀選擇無毒、無破壞性、質(zhì)量輕的惰性氣體氦作為探索氣體，所以安全可靠。氦檢儀能夠雙燈絲自動切換、自動調(diào)零、自動校準(zhǔn)和自動量程切換。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀費用
氦質(zhì)譜檢漏儀的保養(yǎng)注意事項：1.如果儀器不是每天使用，建議每周開機檢查一下，使儀器高真空系統(tǒng)保持真空，縮短儀器使用時的開機時間2.拆卸儀器部件（如離子源）后，安裝時要避免安裝部位出現(xiàn)泄漏，可用儀器進(jìn)行自身檢漏。3.適時對儀器可能出現(xiàn)的泄漏處（如放氣閥等）進(jìn)行自身檢漏，發(fā)現(xiàn)漏點后要及時取下清洗或固緊，以免在檢漏時干擾檢漏工作。4.氦質(zhì)譜檢漏儀維修每隔一段時間保養(yǎng)油泵。（散熱口灰塵處理，和泵油的檢查更換）。5.禁止任何外來物掉在或灑在氦質(zhì)譜檢漏儀上，尤其是進(jìn)氣口中，由于氦質(zhì)譜檢漏儀為高精度精密儀器，其存放和使用環(huán)境要保持干凈、衛(wèi)生。上海真空氦質(zhì)譜檢漏儀廠家氦質(zhì)譜檢漏儀應(yīng)用領(lǐng)域：學(xué)校科研單位、真空制造、真空鍍膜、航空航天等。
氦質(zhì)譜檢漏儀定期保養(yǎng)該怎么做？1.對氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)進(jìn)行保養(yǎng)時，由于常見氦質(zhì)譜檢漏儀的真空系統(tǒng)部分由分子泵、前級機械泵組成，因此在常規(guī)檢測時通常由前級機械泵對被檢件預(yù)抽真空，當(dāng)真空度達(dá)到規(guī)定壓力后，再進(jìn)入真空系統(tǒng)部分；被檢件在檢測前會被要求進(jìn)行清潔前處理，以防止粉塵、顆粒物等污染物進(jìn)入真空系統(tǒng)。否則將直接污染真空系統(tǒng)，甚至造成真空泵損壞。因此，對被檢件的前處理以及對設(shè)備自身的保養(yǎng)清理十分重要。2.除了上述氦質(zhì)譜檢漏儀真空系統(tǒng)需要保養(yǎng)之外，還需要進(jìn)行前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)，以及電磁閥組的超聲清洗，此外質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵也建議定期進(jìn)行保養(yǎng)維護(hù)，避免因設(shè)備保養(yǎng)不及時導(dǎo)致設(shè)備使用壽命縮短。
氦質(zhì)譜檢漏儀對檢漏方法的具體要求：1、檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；2、反應(yīng)時間短，可以提高工作效率；3、能定位、定量，不但能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；4、能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；5、穩(wěn)定性好，即可以在足夠長時間內(nèi)靈敏度穩(wěn)定可靠；6、所用“示蹤氣體”在空氣中含量低，無毒，不腐蝕零件；7、檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測到，以減少檢漏設(shè)備的數(shù)量和費用；8、檢漏時潔凈無油，滿足一些特殊的要求。為盡量消除氦質(zhì)譜檢漏儀的本底噪聲，需要針對性的采取措施。
氦質(zhì)譜檢漏儀是對比性測試儀器，其工作原理是對進(jìn)入質(zhì)譜室的氦氣分子電離，轟擊靶心產(chǎn)生電離，并放大，通過電流大小的判斷氦氣分子的多少！進(jìn)入質(zhì)譜室氦氣分子的比例（分流比），還有電氣參數(shù)的不同，電流相同，漏率可能不同；或漏率不同，電流相同；所有檢漏儀本身并不知道放大后的電流對應(yīng)的漏率是多少，需要參照物，這個參照物就是標(biāo)準(zhǔn)漏孔。氦質(zhì)譜檢漏儀自身保養(yǎng)小知識：（1）前級真空泵的定期換油及深度保養(yǎng)；（2）電磁閥組的超聲清洗；（3）質(zhì)譜模塊組件的超聲清洗以及分子泵的定期保養(yǎng)維護(hù)。氦質(zhì)譜檢漏儀為什么會選擇氦氣作為主要的示漏氣體？江蘇多功能氦質(zhì)譜檢漏儀單位
氦檢儀的示蹤氣體也可以是其他元素，但通常選用氦氣。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀費用
選擇氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏方法的原則：1、主要根據(jù)被檢漏設(shè)備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設(shè)備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合體現(xiàn)。為找到一個單個漏孔，所選擇檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1-2個數(shù)量級。如一個設(shè)備的允許漏率為10-11w，而必須選用的氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度為10-12∽10-13W。2、根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行，經(jīng)濟(jì)實用。為保證測試漏率真實有效：（1）標(biāo)準(zhǔn)漏孔每年送有專業(yè)資質(zhì)計量單位計量；（2）使用兩年以上建議更換標(biāo)準(zhǔn)漏孔。上海全自動氦質(zhì)譜檢漏儀費用
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