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真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動機與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時,水環(huán)的上部內(nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入 深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點,那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空。常見自吸真空泵
油封式真空泵:它是利用油類密封各運動部件之間的間隙,減少有害空間的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡?。這種泵通常帶有氣鎮(zhèn)裝置,故又稱氣鎮(zhèn)式真空泵。按其結(jié)構(gòu)特點分為如下幾種形式。a.旋片式真空泵:轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近,在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片,當轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸,此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn),可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。b.滑閥式真空泵:在偏心轉(zhuǎn)子外部裝有一個滑閥,轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)帶動滑閥沿泵殼內(nèi)壁滑動和滾動,滑閥上部的滑閥桿能在可擺動的滑閥導軌中滑動,而泵腔分成兩個可變?nèi)莘e。c.旋片式真空泵:在一個泵殼內(nèi)并聯(lián)裝有由同一個電動機驅(qū)動的多個單獨的工作室旋片真空泵。水泵真空怎么賣真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響?
真空泵的選擇,1、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。2、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。
半導體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間,是指稀薄的氣體狀態(tài),又可分為極高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽氣機獲得,它的氣體稀薄程度用真空計測定,現(xiàn)在已能用分子抽氣機和擴散抽氣機得到1*10-14pa大氣壓的極高真空。真空技術(shù)在芯片制造,太陽能電池片制造,光學膜制造、電真空儀器,電子管和其他電子儀器方面均有普遍應用。普通真空泵,壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空; 油泵,壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ;擴散泵,壓強可達0.133Pa以下,(10-3mmHg)為“高”真空。旋片式真空泵具有結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,噪音低,振動小等優(yōu)點。
真空泵的發(fā)展歷史,隨著真空應用的發(fā)展,真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域中對其應用壓強范圍的要求越來越寬,大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學研究過程的要求,由于真空應用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不能完全適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要,有時將各種真空泵按其性能要求組合起來,以機組型式應用。真空泵的轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉(zhuǎn)平穩(wěn)。泰州直流微型真空泵銷售廠家
真空泵清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。常見自吸真空泵
低溫抽氣原理:設法使某一固體表面溫度足夠低,使其低于空氣中主要氣體成分的飽和蒸汽壓溫度,則大部分氣體被凝結(jié),從而達到抽真空的目的。抽氣機原理:速度分布決定捕獲率的學說,認為飛到冷表面的氣體分子中,單單是能量低于某一臨界值的分子才被捕獲;動態(tài)平衡學說,認為飛到冷表面上的氣體分子停留在冷表面上,同時另外一些分子從表面蒸發(fā),離開表面,被捕集和離開表面的分子之差就是抽氣速率。低溫冷凝泵:按低溫冷凝原理抽真空的泵,構(gòu)成:低溫介質(zhì)冷卻的抽氣表面;輻射屏;泵體。常見自吸真空泵
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