液環(huán)式真空泵是帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡谩Ｒ涵h(huán)真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內(nèi)回轉(zhuǎn)運動使工作室容積周期性變化以實現(xiàn)抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉(zhuǎn)液環(huán)和葉輪構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)和工作原理與液環(huán)壓縮機相似。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。鋯鋁吸氣泵的工作條件，壓強低于10-3Pa時，抽活性氣體的工作溫度為400 ℃。陽江微型抽真空泵
國外干泵市場的不斷增長，其主要驅(qū)動來自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，很好地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計，目前國產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應(yīng)大力研究開發(fā)干泵，使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。陽江微型抽真空泵往復(fù)真空泵從安裝形式來分，有臥式往復(fù)真空泵及立式往復(fù)真空泵。
真空泵按工作介質(zhì)可分為水噴射泵、大氣噴射泵和水蒸汽噴射泵，噴射泵特點：結(jié)構(gòu)簡單、工作穩(wěn)定可靠。可抽除含有水蒸汽、粉塵的氣體、易燃易爆氣體和腐蝕性氣體。抽氣量大，應(yīng)用普遍：冶金、化工、食品制造等領(lǐng)域：缺點：抽氣效率低，能量損失大：擴散泵：以油或汞蒸汽作為工作介質(zhì)。汞擴散泵不帶分餾裝置，油擴散泵有分餾裝置。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按圖中順時針方向旋轉(zhuǎn)時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。
螺桿真空泵與爪形真空泵的特點對比：不同點：因爪形真空泵為多級串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級泵均應(yīng)嚴格控制端面間隙，即四級泵需嚴格控制8個端面間隙，泵在運行時的熱膨脹及抽除粉未等時容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性決定了其裝配的復(fù)雜性，一般人員很難達到裝配要求；而螺桿真空泵單需嚴格控制定位端的一個端面間隙，及轉(zhuǎn)子間的先對間隙即可，對裝配人員要求相對較低。設(shè)備運行更穩(wěn)定，檢修更方便。排氣通道復(fù)雜，在抽除可凝性氣體時（例如：水蒸汽，有機溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時會產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進入泵的端面造成泵的負載明顯變大，四級爪形真空泵有8個端面，不宜抽除大量可凝性氣體。水噴射真空泵的動設(shè)備為一臺高壓水泵，關(guān)鍵部件為噴嘴，所以此泵結(jié)構(gòu)簡單，維修頻率低。
干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)選擇真空獲得設(shè)備。傳動軸連接主動轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動從動轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑，軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似，一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用聯(lián)軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者傳動鏈傳動。當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足工藝要求。陽江微型抽真空泵
空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。陽江微型抽真空泵
真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。陽江微型抽真空泵