抽樣高效過濾器本體在進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)前,生產(chǎn)廠家應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行性能試驗(yàn),并提供合格證。在單向流潔凈室對(duì)安裝的高效空氣過濾器應(yīng)該逐臺(tái)進(jìn)行檢漏,亂流潔凈室對(duì)于7級(jí)或更低級(jí)別的潔凈室,只要潔凈室達(dá)到了所要求的空氣潔凈度級(jí)別,就可以不進(jìn)行檢漏。技術(shù)要求檢漏的結(jié)果要符合條件:由受檢過濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)到的漏泄?jié)舛葥Q算成透過率,對(duì)于高效過濾器應(yīng)不大于過濾器出廠合格率的2倍,對(duì)于超高效過濾器應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍。操作過程及判定過濾器的檢漏是指安裝完成的空氣過濾器的檢漏適用于空態(tài)或靜態(tài)的潔凈室。對(duì)于安裝于送、排風(fēng)末端的高效過濾器,應(yīng)用掃描法進(jìn)行過濾安裝邊框和全斷面檢漏,掃描法有檢漏儀法光度計(jì)法和采樣量為1L/min的粒子計(jì)數(shù)器法兩種。遵循GMP、ISO等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行潔凈室檢測(cè),提升產(chǎn)品質(zhì)量信譽(yù)。福建國(guó)內(nèi)檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測(cè)點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測(cè)點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測(cè)定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測(cè)點(diǎn)數(shù)量取測(cè)量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測(cè)點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測(cè)點(diǎn)??墒褂密浐熥钃鯇?duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測(cè)量時(shí)間應(yīng)足夠長(zhǎng)。對(duì)多個(gè)測(cè)點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測(cè)量平均時(shí)間。B.4.2.2送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)速測(cè)點(diǎn)距過濾器出風(fēng)面約150mm~300mm。測(cè)點(diǎn)數(shù)量應(yīng)足以測(cè)定潔凈室和潔凈區(qū)的送風(fēng)量,測(cè)點(diǎn)數(shù)量取測(cè)量面積(以平方米計(jì))10倍的平方根,且不少于4個(gè)測(cè)點(diǎn)。每只過濾器或每臺(tái)風(fēng)機(jī)-過濾單元(FFU)的出風(fēng)面上至少要有一個(gè)測(cè)點(diǎn)??墒褂密浐熥钃鯇?duì)單向流的干擾。為了獲得可重復(fù)的讀數(shù),每點(diǎn)的測(cè)量時(shí)間應(yīng)足夠長(zhǎng)。對(duì)多個(gè)測(cè)點(diǎn)而言,應(yīng)記錄風(fēng)速測(cè)量平均時(shí)間。福建國(guó)內(nèi)檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)潔凈室檢測(cè)前,需對(duì)檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn),確保數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性。
潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點(diǎn)灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對(duì)于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的粉塵也會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響
對(duì)單向流如5級(jí)凈化房間內(nèi)及層流工作臺(tái)測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于10分鐘后開始;對(duì)非單向流如7級(jí)、8級(jí)以上的凈化房間測(cè)試應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)行不少于30分鐘開始。a.采樣方法:將已制備好的培養(yǎng)皿放置在預(yù)先確定的取樣點(diǎn),打開培養(yǎng)皿蓋使培養(yǎng)基表面暴露0.5小時(shí)再將培養(yǎng)皿蓋上蓋后倒置。b.培養(yǎng)全部采樣結(jié)束,將培養(yǎng)皿倒置于恒溫培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。在30-35℃培養(yǎng)時(shí)間不少于48小時(shí)。每批培養(yǎng)基應(yīng)有對(duì)照試驗(yàn)檢查培養(yǎng)基本身是否污染可每批選定3只培養(yǎng)皿作對(duì)照培養(yǎng)。c.菌落計(jì)數(shù)用肉眼直接計(jì)數(shù)然后用5-10倍放大鏡檢查有否遺漏。若培養(yǎng)皿上有2個(gè)或2個(gè)以上菌落重疊可分辨時(shí)仍以2個(gè)或2個(gè)以上的菌落計(jì)數(shù)。亂流(非單流)潔凈室的凈化原理是稀釋原理。一般型式為高效過濾器送風(fēng)口頂部送風(fēng)。
潔凈室因其用途、氣流流型的不同,可分為各種不同冠名的潔凈室。潔凈室按用途的不同可分為工業(yè)潔凈室、生物潔凈室。工業(yè)潔凈室是以控制微粒為主要對(duì)象的潔凈室,通常適用于微電子產(chǎn)品生產(chǎn)、精密機(jī)械加工、電子元器件和某些電子產(chǎn)品組裝、精細(xì)化工、精密儀器儀表生產(chǎn)等[1]。潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差應(yīng)不小于4.9Pa,潔凈區(qū)與室外的靜壓差應(yīng)不小于9.8Pa。低級(jí)別的潔凈室通常是沒有經(jīng)過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置檢測(cè)為送回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件:氣流設(shè)計(jì)時(shí)要考慮高大設(shè)備對(duì)氣流組織的影響。江蘇實(shí)驗(yàn)室環(huán)境檢測(cè)優(yōu)化價(jià)格
高效過濾器(HEPA)的完整性測(cè)試對(duì)于保證空氣過濾效果至關(guān)重要。福建國(guó)內(nèi)檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)
空氣潔凈度:這是潔凈車間環(huán)境檢測(cè)的**指標(biāo),通常通過檢測(cè)空氣中的塵埃粒子數(shù)來評(píng)估。不同潔凈等級(jí)的車間對(duì)塵埃粒子的限制不同,如潔凈度等級(jí)為100級(jí)的車間對(duì)大于等于5μm的塵粒有嚴(yán)格的計(jì)數(shù)要求。微生物指標(biāo):包括浮游菌、沉降菌等微生物的數(shù)量。這些微生物可能對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量和工作人員健康造成影響,因此需要進(jìn)行嚴(yán)格的控制和監(jiān)測(cè)。溫度與濕度:潔凈車間需要保持穩(wěn)定的溫度和濕度環(huán)境,以確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定。通常,生產(chǎn)工藝對(duì)溫度和濕度無特殊要求時(shí),潔凈室溫度應(yīng)為18~26℃,相對(duì)濕度應(yīng)為45~65%。福建國(guó)內(nèi)檢測(cè)認(rèn)真負(fù)責(zé)