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潔凈室的主要作用是控制產(chǎn)品(如硅片等)所接觸的大氣的潔凈室潔凈度和溫濕度,使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)制造,從而我們稱之為潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化等級主要是根據(jù)空氣中每立方米直徑大于分類標(biāo)準(zhǔn)的顆粒數(shù)量來規(guī)定的。也就是說,所謂的無塵,并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在極少量的單位。當(dāng)然,這個標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒物,相對于我們常見的粉塵來說是非常小的,但是對于光學(xué)結(jié)構(gòu)來說,哪怕是一點點的粉塵也會產(chǎn)生非常大的負面影響。引進先進的檢測技術(shù),提升潔凈室檢測的效率和準(zhǔn)確性。遼寧潔凈工作臺檢測
A、室內(nèi)測試人員必須穿潔凈服,不得超過2人,應(yīng)位于測試點下風(fēng)側(cè)并遠離測試點,并應(yīng)保持靜止。進行換點操作時動作要輕,應(yīng)減少人員對室內(nèi)潔凈度的干擾。B、設(shè)備要在校準(zhǔn)期內(nèi)使用。C、檢測前和檢測后設(shè)備“清零”。D、在單向流區(qū)域,所選擇的采樣探頭應(yīng)接近等動力采樣,進入采樣探頭的風(fēng)速與被采空氣的風(fēng)速偏差不應(yīng)超過20%。若無法做到這一點,將采樣口正對氣流的主方向。非單向流的采樣點,采樣口應(yīng)豎直向上。E、采樣口至粒子計數(shù)器傳感器的連接管應(yīng)盡量短。采樣點一般離地面0.8-1.2m左右,要均勻科學(xué)布點,而且要避開回風(fēng)口。對任何小潔凈室或局部空氣凈化區(qū)域,采樣點的數(shù)目都不得少于2個,總采樣數(shù)可根據(jù)面積開2次根求得。**少采樣點數(shù)目對應(yīng)懸浮粒子采樣點數(shù),工作區(qū)測點位置離地0.8-1.2m左右,送風(fēng)口測點位置離開送風(fēng)面30cm左右,關(guān)鍵設(shè)備或關(guān)鍵工作活動范圍處可增加測點,每個采樣點一般采樣一次。廣東生物安全柜檢測誠信推薦單向流潔凈室氣流的特征是流線平行,以單一方向流動,并且在斷截面上風(fēng)速一致,有垂直單向潔凈室。
在單向流潔凈室中,潔凈氣流不是一股或幾股,而是充滿整個房間截面,所以這種潔凈室不依靠潔凈氣流對室內(nèi)臟空氣的混合稀釋作用,而是依靠在干凈的氣流上推出效果。室內(nèi)臟空氣沿整個斷面排到室外,達到凈化室內(nèi)空氣的目的。因此,前聯(lián)邦德國有人將單向流潔凈室的氣流稱為“塞流”、“塞流”,前蘇聯(lián)則稱其為“擠壓弱氣流”。潔凈的空氣就像一個空氣活塞,沿著房間的“氣缸”向前(向下)推動,使塵粒只能向前(向下)移動而不能返回,在單流潔凈室和單流凈化設(shè)備中,逆向氣流可以沿著墻壁和兩個過濾器的重疊部分下方出現(xiàn)。這種氣流會將污染從底部傳送到頂部,然后向下傳送,破壞上述“塞流”狀態(tài),危害極大。對于有開口與外界相連的局部凈化設(shè)備,如潔凈工作臺,這種氣流會導(dǎo)致外部污染氣流。在設(shè)計中,必須減少濾框占用的無效面積,減少空間的壁面。盡可能靠近過濾器的有效風(fēng)截面。
B.3.3.3.3飛行時間粒徑測量大粒子的尺寸可用飛行時間儀來測量。空氣樣本抽人儀器,經(jīng)噴嘴進人一個局部真空區(qū),空氣因膨脹而加速,測量在真空區(qū)進行??諝鈽颖局械乃辛W泳跍y量區(qū)加速,粒子的加速度與粒子質(zhì)量成反比。利用測量點的風(fēng)速與粒子速度兩者的關(guān)系,可測定粒子的空氣動力學(xué)直徑。知道環(huán)境與測量區(qū)之間氣壓的壓差,可直接計算出風(fēng)速。根據(jù)粒子在兩束激光間的飛行時間測定粒子速度。飛行時間儀可測量大到20μm粒子的空氣動力學(xué)直徑,粒徑分辨率好于10%。獲取樣本的方法與離散粒子計數(shù)器測量相同;確定粒徑范圍的方法也與離散粒子計數(shù)器相同。噪音水平檢測有助于評估潔凈室內(nèi)的工作環(huán)境舒適度。
B.4.3.2送風(fēng)口處測量的送風(fēng)量為了排除送風(fēng)口局部氣流的擾動和氣流噴射的影響,建議采用風(fēng)罩測量末端過濾器或送風(fēng)散流器的總送風(fēng)量。可使用配有流量計的風(fēng)量罩直接測量,也可用風(fēng)罩出風(fēng)的風(fēng)速乘以有效面積求出送風(fēng)量。風(fēng)罩的上開口應(yīng)完全罩住過濾器或散流器;為了避免旁通漏風(fēng)造成的讀數(shù)不準(zhǔn),風(fēng)罩的上沿應(yīng)密封靠緊平坦的表面。若采用帶流量計的風(fēng)量罩,則可在風(fēng)罩的出風(fēng)端口直接測量各個末端過濾器或送風(fēng)散流器的風(fēng)量。。。。。。。潔凈室檢測不僅是合規(guī)要求,更是保障產(chǎn)品質(zhì)量的重要手段。浙江潔凈工作臺檢測哪家好
工作設(shè)備布置時要留有一定的間隔,為送、回風(fēng)口的布置和氣流的通暢創(chuàng)造條件。遼寧潔凈工作臺檢測
(1)將所有的門關(guān)閉,將測定用膠管口徑比較好在5mm以下從墻壁上的孔洞伸入室內(nèi)在離壁面不遠處,垂直于氣流方向設(shè)置周圍無阻擋氣流擾動**小。(2)靜壓差的測定應(yīng)從平面上**里面的房間,通常也就是潔凈度級別比較高的房間,與其緊鄰的房間之間的壓差測起依次向外測定,直至測得**靠外的潔凈室與周圍附屬環(huán)境之間、與室外環(huán)境之間的壓差。(3)對于潔凈度高于5級的單向流層流潔凈室,還應(yīng)測定在門開啟狀態(tài)下離門口0.6m處的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。5、檢測時的注意事項在進行潔凈室靜壓差檢測之前,必須先驗證在潔凈室或潔凈設(shè)施正常工作時,應(yīng)該關(guān)閉的門全部關(guān)閉條件下的送風(fēng)量與回風(fēng)量、排風(fēng)量是否與規(guī)定風(fēng)量相符。若達不到標(biāo)準(zhǔn)的要求應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量直至合格為止。遼寧潔凈工作臺檢測