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IC封裝藥液使用浸泡、滌刷或噴灑方式均可,浸泡方法較佳。除銹后應(yīng)用大量水沖洗其殘留物,如果除銹后需防銹,則需應(yīng)大量水沖洗后,用5%氫氧化鈉溶液進(jìn)行中和鈍化、擦干后再噴灑IC除銹劑進(jìn)行保護(hù)。IC除銹劑所釋放出的氣體易燃,所以IC除銹劑應(yīng)遠(yuǎn)離高溫、火花、火焰以及產(chǎn)生靜電的場所。應(yīng)在通風(fēng)良好的環(huán)境下使用。不用時(shí)保持容器密閉。避免兒童接觸。避免皮膚和眼睛接觸和吸入。在除銹之前,對(duì)于有油的工件,我們一般需要對(duì)進(jìn)行除油處理,將在除油劑溶液中泡幾分鐘,直到除油處理完成后取出,用清水沖洗干凈,即可開始進(jìn)行除銹。STM-C150除銹活化劑單劑操作,配比濃度20-40%。江蘇IC除銹活化制造商
IC除銹劑使用方法及注意事項(xiàng):浸泡法:優(yōu)點(diǎn)是可以在表面形成均勻的防銹膜,保證產(chǎn)品的完全覆蓋,成本較低,缺點(diǎn)是只適用于小型產(chǎn)品,使用低粘度的防銹油,浸泡槽必須有很好排水系統(tǒng)。噴霧法:適用于大型且結(jié)構(gòu)復(fù)雜的產(chǎn)品,必須使用高效能的噴霧器,容易出現(xiàn)產(chǎn)品未能完全形成防銹膜,使用時(shí)工作環(huán)境要求通風(fēng)性能要好。刷涂法:此方法使用簡單,但是必須要確保工件的每一個(gè)位置都有刷涂到,使用前刷子必需保持清潔。沖洗法:效率高,循環(huán)使用,可節(jié)省成本,但是需要定期對(duì)槽內(nèi)的產(chǎn)品進(jìn)行排水以及定期進(jìn)行更換,避免水分及其他物質(zhì)過多影響防銹效果。江蘇IC除銹活化制造商IC封裝藥水環(huán)保,無鉻,符合國家檢測標(biāo)準(zhǔn)。
在執(zhí)行晶圓的前、后段工藝過程時(shí),晶圓需要經(jīng)過無數(shù)次的IC清潔劑清洗步驟,其次數(shù)取決于晶圓的設(shè)計(jì)和互連的層數(shù)。此外,由于清洗工藝過程要?jiǎng)冸x晶圓表面的光刻膠,同時(shí)還必須去除復(fù)雜的腐蝕殘余物質(zhì),金屬顆粒以及其他污染物等,所以清洗過程是及其復(fù)雜的過程。清洗介質(zhì)的選擇從濕法清洗的實(shí)踐中,越來越多出現(xiàn)難于解決的問題時(shí),迫使科技人員探索和尋找替代的技術(shù),除了如增加超聲頻率(采用MHz技術(shù))等補(bǔ)救方法之外,選擇的途徑就是選擇氣相清洗技術(shù)來替代(熱氧化法、等離子清洗法等)。
有機(jī)物的去除常常在清洗工序的第1步進(jìn)行,金屬污染物:IC電路制造過程中采用金屬互連材料將各個(gè)單獨(dú)的器件連接起來,首先采用光刻、蝕刻的方法在絕緣層上制作接觸窗口,再利用蒸發(fā)、濺射或化學(xué)汽相沉積(CVD)形成金屬互連膜,如A-Si,Cu等,通過蝕刻產(chǎn)生互連線,然后對(duì)沉積介質(zhì)層進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)。這個(gè)過程對(duì)IC制程也是一個(gè)潛在的污染過程,在形成金屬互連的同時(shí),也產(chǎn)生各種金屬污染。必須采取相應(yīng)的措施去除金屬污染物。原生氧化物及化學(xué)氧化物:硅原子非常容易在含氧氣及水的環(huán)境下氧化形成氧化層,稱為原生氧化層。IC封裝藥水有機(jī)封閉劑:閃點(diǎn)高(110度),可水溶性,不易燃燒,使用安全,環(huán)保,無鉻,無排放。
金屬的腐蝕生銹給社會(huì)發(fā)展造成了巨大的經(jīng)濟(jì)損失,還給人們的日常生產(chǎn)生活帶來較大的不便和潛在的直接或間接性的環(huán)境污染,安全隱患。因此對(duì)金屬基材的防銹始終是人們關(guān)注的焦點(diǎn)。IC除銹劑的優(yōu)點(diǎn)防銹的方法中比較簡單有效的就是使用IC除銹劑。IC除銹劑的優(yōu)點(diǎn)在于超級(jí)高效的合成滲透劑,它能強(qiáng)力滲入鐵銹、腐蝕物、油污內(nèi)從而輕松地除掉掉螺絲、螺拴上的銹跡和腐蝕物,具有滲透除銹、松動(dòng)潤滑、防止腐蝕、保護(hù)金屬等性能。并可在部件表面上形成并貯存一層潤滑膜,可以防止?jié)駳饧霸S多其它化學(xué)成份造成的腐蝕。IC封裝藥水使其金屬表面轉(zhuǎn)化成不易被氧化的狀態(tài),延長金屬使用壽命的方法。江蘇IC除銹活化制造商
IC封裝藥水與磷酸酯類物質(zhì)相比,本劑具有好于磷酸酯類物質(zhì)”三倍以上的防腐蝕效果。江蘇IC除銹活化制造商
IC清潔劑水清洗技術(shù)是今后清洗技術(shù)的發(fā)展方向,須設(shè)置純凈水源和排放水處理車間。IC清潔劑以水作為清洗介質(zhì),并在水中添加表面活性劑、助劑、緩蝕劑、螯合劑等形成一系列以水為基的清洗劑??梢猿ニ軇┖头菢O性污染物。其清洗工藝特點(diǎn)是:安全性好,不燃燒、不炸裂,基本無毒;清洗劑的配方組成自由度大,對(duì)極性與非極性污染物都容易清洗掉,清洗范圍廣;多重的清洗機(jī)理。水是極性很強(qiáng)的極性溶劑,除了溶解作用外,還有皂化、乳化、置換、分散等共同作用,使用超聲比在有機(jī)溶劑中有效得多;作為一種天然溶劑,其價(jià)格比較低廉,來源普遍。江蘇IC除銹活化制造商
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