現(xiàn)代清洗技術中的關鍵要求:IC清潔劑在未來90~65nm節(jié)點技術工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術指標外,也要考慮對環(huán)境的污染以及清洗的效率其經濟效益等。硅片清洗技術評價的主要指標可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機物沾污,其他指標還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對環(huán)境的污染;經濟的可接受:包括設備與運行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價鍵以及電子轉移等三種表面形式存在的。這種沾污會破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會增加暗電流,情況為結構缺陷或霧狀缺陷。IC封裝藥水使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達到防腐蝕的作用。南京IC鍍錫藥劑型號
STM-C190變色防止劑,STM-C190可直接取代磷酸三鈉中和處理制程。配比濃度(5%-10%),消耗很低。在錫表面沉積一層有機薄膜,可改善鍍層因儲存或熱處理(烘烤、Reflow)造成的外觀變色狀況。STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy不含H2O2,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。STM-C150除銹活化劑單劑操作,配比濃度20-40%。適用于各種Cu-alloy、Fe-Ni-alloy、Ni。不含H202,藥液維護容易。微蝕均一性好,藥劑穩(wěn)定性良好。蘇州IC封裝表面處理液哪里有銷售IC封裝藥水不含H202,藥液維護容易。
硅晶圓經過SC-1和SC-2溶液清洗后,由于雙氧水的強氧化力,在晶圓表面上會生成一層化學氧化層。為了確保閘極氧化層的品質,此表面氧化層必須在晶圓清洗過后加以去除。另外,在IC制程中采用化學汽相沉積法(CVD)沉積的氮化硅、二氧化硅等氧化物也要在相應的清洗過程中有選擇的去除?;瘜W清洗是利用各種化學試劑和有機溶劑去除附著在物體表面上的雜質的方法。在半導體行業(yè),化學清洗是指去除吸附在半導體、金屬材料以及用具表面上的各種有害雜質或油污的工藝過程。
IC封裝藥液起著把金屬與腐蝕介質完全隔開的作用,防止金屬與腐蝕介質接觸,從而使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達到防腐蝕的作用。防變色劑一般分為兩種:一種為有機封閉劑,一種為油性封閉劑。有機封閉劑:閃點高(110度),可水溶性,不易燃燒,使用安全,環(huán)保,無鉻,無排放;使用簡單,常溫浸泡,封閉前無需干燥產品;使用壽命長,平時操作一般只需添加,無需更換;產品封閉處理后,表面為全干性,無油感,不影響產品后期的導電與焊接性能,耐腐蝕性能提高5-20倍。IC封裝藥水與磷酸酯類物質相比,本劑具有好于磷酸酯類物質”三倍以上的防腐蝕效果。
IC封裝藥液油性封閉劑:閃點(40度)相比有機封閉劑低,不可兌水使用,使用安全,環(huán)保,無鉻,無排放;使用前需干燥新產品;使用壽命長,可循環(huán)使用,無需更換;產品封閉處理后,表面為全干性,少量油感,不影響產品后期的導電與焊接性能,耐腐蝕性能提高5-40倍。具有光澤度高,良好的罩光作用。單組分產品,施工方便,附著力強,豐滿度好,保光、保色效果好,耐久,很好的耐候性,為耐黃變產品,可用水調節(jié)粘度,使用安全方便,經濟使用。經兩到四分鐘浸漬后,在金制品或金鍍層表面形成一層單分子膜厚度的防氧化保護層,依使用運輸和儲存條件的不同,在1-3年內可防止表面形成硫化物。STM-C160除銹活化劑,單劑操作,配比濃度20-40%。江蘇IC除銹活化液供求信息
IC封裝藥水起著把金屬與腐蝕介質完全隔開的作用。南京IC鍍錫藥劑型號
IC封裝藥液使用浸泡、滌刷或噴灑方式均可,浸泡方法較佳。除銹后應用大量水沖洗其殘留物,如果除銹后需防銹,則需應大量水沖洗后,用5%氫氧化鈉溶液進行中和鈍化、擦干后再噴灑IC除銹劑進行保護。IC除銹劑所釋放出的氣體易燃,所以IC除銹劑應遠離高溫、火花、火焰以及產生靜電的場所。應在通風良好的環(huán)境下使用。不用時保持容器密閉。避免兒童接觸。避免皮膚和眼睛接觸和吸入。在除銹之前,對于有油的工件,我們一般需要對進行除油處理,將在除油劑溶液中泡幾分鐘,直到除油處理完成后取出,用清水沖洗干凈,即可開始進行除銹。南京IC鍍錫藥劑型號
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