半水清洗主要采用有機(jī)溶劑和去離子水,再加上一定量的活性劑、添加劑所組成的清洗劑。該類清洗介于溶劑清洗和水清洗之間。這些IC清潔劑都屬于有機(jī)溶劑,屬于可燃性溶劑,閃點(diǎn)比較高,毒性比較低,使用上比較安全,但是須用水進(jìn)行漂洗,然后進(jìn)行烘干。有些清洗劑中添加5%~20%的水和少量表面活性劑,既降低了可燃性,又可使漂洗更為容易。半水清洗工藝特點(diǎn)是:清洗能力比較強(qiáng),能同時(shí)除去極性污染物和非極性污染物,洗凈能力持久性較強(qiáng);清洗和漂洗使用兩種不同性質(zhì)的介質(zhì),漂洗一般采用純水,漂洗后要進(jìn)行干燥。防變色劑又稱防腐蝕劑,IC除銹劑。蘇州IC封裝表面處理液供應(yīng)
IC封裝藥液清洗晶圓是以整個(gè)批次或單一晶圓,藉由化學(xué)品的浸泡或噴灑來(lái)去除臟污,并用超純水來(lái)洗滌雜質(zhì),主要是去除晶片表面所有的污染物,如微塵粒(PartICle)、有機(jī)物(OrganIC)、無(wú)機(jī)物、金屬離子等雜質(zhì)。在超大型集成電路(ULSI)制程中,晶圓清洗技術(shù)及潔凈度,是影響晶圓制程良率、品質(zhì)及可靠度重要的因素之一。據(jù)統(tǒng)計(jì),在標(biāo)準(zhǔn)的IC制造工藝中,涉及晶圓清洗和表面預(yù)處理的工藝步驟就有100步之多,可以說(shuō)晶圓清洗的好壞直接制約了IC加工的水平。隨著物聯(lián)網(wǎng)和人工智能領(lǐng)域的快速發(fā)展,集成電路芯片的應(yīng)用達(dá)到井噴需求,芯片已成為我國(guó)的一大進(jìn)口產(chǎn)品,集成電路的發(fā)展已上升到國(guó)家戰(zhàn)略層面。無(wú)錫芯片制程藥劑型號(hào)IC封裝藥水與硅酸鹽相比,本劑具有好于硅酸鹽五倍以上的防腐蝕效果。
現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求:IC清潔劑在未來(lái)90~65nm節(jié)點(diǎn)技術(shù)工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術(shù)指標(biāo)外,也要考慮對(duì)環(huán)境的污染以及清洗的效率其經(jīng)濟(jì)效益等。硅片清洗技術(shù)評(píng)價(jià)的主要指標(biāo)可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機(jī)物沾污,其他指標(biāo)還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對(duì)環(huán)境的污染;經(jīng)濟(jì)的可接受:包括設(shè)備與運(yùn)行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價(jià)鍵以及電子轉(zhuǎn)移等三種表面形式存在的。這種沾污會(huì)破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會(huì)增加暗電流,情況為結(jié)構(gòu)缺陷或霧狀缺陷。
IC封裝藥液在酸性、中性、堿性條件下均能溶解透明,且長(zhǎng)期穩(wěn)定。與磷酸酯類物質(zhì)相比,本劑具有好于磷酸酯類物質(zhì)”三倍以上的防腐蝕效果?!傲姿狨ヮ愇镔|(zhì)”含磷,易生菌,容易產(chǎn)生大量泡沫。而本劑不含磷、不易生菌、無(wú)泡。對(duì)黑色金屬和其它有色金屬都有輔助的防腐蝕作用;無(wú)毒、無(wú)味等特點(diǎn),不含有害物質(zhì),環(huán)保型水性產(chǎn)品﹔極低的添加量,綜合使用成本低;經(jīng)本劑處理的工件,可保持金屬本色,不影響加工精度﹔能夠鎖住金屬表面顏色,穩(wěn)定性好,防腐蝕性強(qiáng),保護(hù)效果好,金屬表面不褪色,從保護(hù)金屬元件的穩(wěn)定性。IC封裝藥水穩(wěn)定性好,防腐蝕性強(qiáng),保護(hù)效果好,金屬表面不褪色,從保護(hù)金屬元件的穩(wěn)定性。
IC封裝藥液對(duì)于重污垢工件,延長(zhǎng)清洗時(shí)間或使用多槽多次方式徹底清洗干凈。極易漂洗,無(wú)殘留,并對(duì)玻璃材質(zhì)無(wú)不良影響。本品不含重金屬,亞硝酸鹽等RoHS禁止之物質(zhì)。本品應(yīng)儲(chǔ)于陰涼干燥的庫(kù)房?jī)?nèi),嚴(yán)禁日曬雨淋。本品無(wú)刺激性,如接觸皮膚,立即用大量清水沖洗15min,如不慎濺入眼中,立即用大量清水沖洗15min,嚴(yán)重者應(yīng)就醫(yī)。使用除膠劑可采用浸泡法和擦拭法進(jìn)行除膠,浸泡十分鐘~3小時(shí)后。取出工件,再用棉布或軟毛刷將粘膠剝離擦除即可。需要注意的是產(chǎn)品有揮發(fā)性,要用塑料桶盛裝,浸泡時(shí)蓋好蓋子。IC封裝藥水對(duì)表面的深層頑固污漬的去除有效果。無(wú)錫IC除膠清潔液供貨公司
IC封裝藥水使用壽命長(zhǎng),平時(shí)操作一般只需添加,無(wú)需更換。蘇州IC封裝表面處理液供應(yīng)
IC除銹劑中鹽酸可以清洗表面,提高酸洗效果,增快酸洗速度。該IC除銹劑在循環(huán)使用時(shí),為進(jìn)一步提高除銹速度、消除氣味,可加入檸檬酸、鹽酸配成的活化劑。檸檬酸可中和鐵離子。鹽酸可增加酸的能量。制備方法:先將有機(jī)酸、糊精、鉬酸鈉、磷酸和水放入混合罐內(nèi)室溫下勻速攪拌30min。然后在混合溶液中加入甘油,室溫下勻速攪拌10min,攪拌轉(zhuǎn)速為25r/min。接著在混合溶液中加入添加劑SI一1,室溫下勻速攪拌30min,攪拌轉(zhuǎn)速為25r/min。得到環(huán)保IC除銹劑。蘇州IC封裝表面處理液供應(yīng)
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