現(xiàn)代清洗技術(shù)中的關(guān)鍵要求:IC清潔劑在未來90~65nm節(jié)點技術(shù)工藝中,除了要考慮清洗后的硅片表面的微粗糙度及自然氧化物去除率等技術(shù)指標(biāo)外,也要考慮對環(huán)境的污染以及清洗的效率其經(jīng)濟效益等。硅片清洗技術(shù)評價的主要指標(biāo)可以歸納為:微粗糙度(RMS);自然氧化物去除率;金屬沾污、表面顆粒度以及有機物沾污,其他指標(biāo)還包括:芯片的破損率;清洗中的再沾污;對環(huán)境的污染;經(jīng)濟的可接受:包括設(shè)備與運行成本、清洗效率)等。金屬沾污在硅片上是以范德華引力、共價鍵以及電子轉(zhuǎn)移等三種表面形式存在的。這種沾污會破壞薄氧化層的完整性,增加漏電流密度,影響MOs器件的穩(wěn)定性,重金屬離子會增加暗電流,情況為結(jié)構(gòu)缺陷或霧狀缺陷。IC封裝藥水使用前需干燥新產(chǎn)品。無錫IC封裝藥水費用
IC封裝藥液起著把金屬與腐蝕介質(zhì)完全隔開的作用,防止金屬與腐蝕介質(zhì)接觸,從而使金屬基本停止溶解形成鈍態(tài)達(dá)到防腐蝕的作用。防變色劑一般分為兩種:一種為有機封閉劑,一種為油性封閉劑。有機封閉劑:閃點高(110度),可水溶性,不易燃燒,使用安全,環(huán)保,無鉻,無排放;使用簡單,常溫浸泡,封閉前無需干燥產(chǎn)品;使用壽命長,平時操作一般只需添加,無需更換;產(chǎn)品封閉處理后,表面為全干性,無油感,不影響產(chǎn)品后期的導(dǎo)電與焊接性能,耐腐蝕性能提高5-20倍。無錫IC剝錫藥水費用IC封裝藥水能夠鎖住金屬表面顏色。
IC清潔劑對金屬不腐蝕,可蒸餾回收,反復(fù)使用,比較經(jīng)濟;毒性較低,對環(huán)境污染少;清洗與漂洗可用同一種介質(zhì),使用方便。烴類清洗工藝的缺點,主要的是安全性問題,要有嚴(yán)格的安全方法措施。醇類清洗工藝特點:醇類中乙醇和異丙醇是工業(yè)中常用得有機極性溶劑,甲醇毒性較大,一般做添加劑。醇類清洗工藝特點是:對離子類污染物有很好的溶解能力,清洗松香焊劑效果非常好,對油脂類溶解能力較弱;與金屬材料和塑料等相容性好,不產(chǎn)生腐蝕和容脹;干燥快,容易晾干或送風(fēng)干燥,可不必使用熱風(fēng);脫水性好,常用做脫水劑。
隨著芯片尺寸加大,工藝線寬減小,從9Onm工藝開始,以往IC清潔劑在清洗過程中使用的超聲波清洗遇到一些問題,如造成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)損傷,在65nm及以下工藝,其損傷程度可能會加劇。芯片中的深溝槽結(jié)構(gòu)清洗時清洗液和漂洗去離子水很難進(jìn)入結(jié)構(gòu)內(nèi)部,難以達(dá)到清洗目的。高堆桑式和深溝槽式結(jié)構(gòu)清洗后的干燥過程也是很關(guān)鍵的技術(shù)問題。一般小于130nm工藝中,要求必須去除所有大于或等于100nm的顆粒,而由于表面邊界層的限制,現(xiàn)行清洗技術(shù),如液體或高壓〈液體〉噴射清洗已無法洗去0onm的顆粒。IC封裝藥水在酸性、中性、堿性條件下均能溶解透明,且長期穩(wěn)定。
IC封裝藥液使用浸泡、滌刷或噴灑方式均可,浸泡方法較佳。除銹后應(yīng)用大量水沖洗其殘留物,如果除銹后需防銹,則需應(yīng)大量水沖洗后,用5%氫氧化鈉溶液進(jìn)行中和鈍化、擦干后再噴灑IC除銹劑進(jìn)行保護。IC除銹劑所釋放出的氣體易燃,所以IC除銹劑應(yīng)遠(yuǎn)離高溫、火花、火焰以及產(chǎn)生靜電的場所。應(yīng)在通風(fēng)良好的環(huán)境下使用。不用時保持容器密閉。避免兒童接觸。避免皮膚和眼睛接觸和吸入。在除銹之前,對于有油的工件,我們一般需要對進(jìn)行除油處理,將在除油劑溶液中泡幾分鐘,直到除油處理完成后取出,用清水沖洗干凈,即可開始進(jìn)行除銹。IC封裝藥水銀封閉劑具有很強的耐硫化和耐鹽霧性。南京IC除膠清洗劑價格
IC封裝藥水耐腐蝕性能提高5-20倍。無錫IC封裝藥水費用
IC除銹劑可以在不破壞基材表面外觀的前提下實現(xiàn)防銹功能,而且在某些特定條件下還可以增加表面的光亮度。IC除銹劑的使用工藝簡單,配方中的物質(zhì)種類容易獲得,并且制備成本低,適用范圍較廣。從解決問題的角度出發(fā),未雨綢繆,把問題遏殺在萌芽階段是解決問題的比較好途徑和手段。IC除銹劑的出現(xiàn)可以有效的扮演這一角色。IC除銹劑的分類:通常按照溶液的特征,IC除銹劑可以分為;水溶性IC除銹劑、油溶性IC除銹劑、乳化型IC除銹劑、氣相IC除銹劑和蠟?zāi)ば虸C除銹劑等。無錫IC封裝藥水費用
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