ITO藥劑型號(hào)

TIO蝕刻液的基本信息：（1）配方。①熱水12g，氟化銨15g，草酸8g，硫酸銨10g，甘油40g，硫酸鋇15g；②氟化銨15g，草酸7g，硫酸銨8g，硫酸鈉14g，甘油35g，水10g；③氫氟酸60（體積數(shù)，下同），硫酸10，水30。（2）配制方法。配制蝕刻液①和②時(shí)，將上述原料與60℃熱水混合，攪拌均勻即可。配置時(shí)不要使溶液濺到皮膚上，而且操作時(shí)應(yīng)戴上口罩。配制蝕刻液③時(shí)，按配方將氫氟酸和硫酸混合，然后將混合液倒入水中（不能將水倒入混合液），并不斷攪拌。（3）使用方法。使用刻蝕液①或②時(shí)，把要蝕刻的玻璃洗凈、晾干，建議用電爐或紅外線燈將玻璃稍微加熱，以便于蝕刻。蝕刻時(shí)，用毛筆蘸蝕刻液書寫文字或圖案于玻璃上，2min蝕刻工作即完成。制作毛玻璃時(shí)，將玻璃洗凈、晾干，用刷子均勻涂上腐蝕液即可。ITO蝕刻液由氟化銨、草酸、硫酸鈉、氫氟酸、硫酸、硫酸銨、甘油、水組成。ITO藥劑型號(hào)

ITO蝕刻液影響蝕刻速率的因素：氯化鐵蝕刻液。1、Fe3+濃度的影響：Fe3+的濃度對(duì)蝕刻速率有很大的影響。蝕刻液中Fe3+濃度逐漸增加，對(duì)銅的蝕刻速率相應(yīng)加快。當(dāng)所含超過某一濃度時(shí)，由于溶液粘度增加，蝕刻速率反而有所降低。2、蝕刻液溫度的影響：蝕刻液溫度越高，蝕刻速率越快，溫度的選擇應(yīng)以不損壞抗蝕層為原則，一般在40~50℃為宜。3、鹽酸添加量的影響：在蝕刻液中加入鹽酸，可以阻止FeCl3水解，并可提高蝕刻速率，尤其是當(dāng)溶銅量達(dá)到37.4g/L后，鹽酸的作用更明顯。但是鹽酸的添加量要適當(dāng)，酸度太高，會(huì)導(dǎo)致液態(tài)光致抗蝕劑涂層的破壞。4、蝕刻液的攪拌：靜止蝕刻的效率和質(zhì)量都是很差的，原因是在蝕刻過程中在板面和溶液里會(huì)有沉淀生成，而使溶液呈暗綠色，這些沉淀會(huì)影響進(jìn)一步的蝕刻。ITO藥劑型號(hào)ITO顯影液濃度大，還易有結(jié)晶析出。

ITO導(dǎo)電玻璃是在鈉鈣基或硅硼基基片玻璃的基礎(chǔ)上，利用磁控濺射的方法鍍上一層氧化銦錫（俗稱ITO）膜加工制作成的。液晶顯示器特用ITO導(dǎo)電玻璃，還會(huì)在鍍ITO層之前，鍍上一層二氧化硅阻擋層，以阻止基片玻璃上的鈉離子向盒內(nèi)液晶里擴(kuò)散。檔次高的液晶顯示器特用ITO玻璃在濺鍍ITO層之前基片玻璃還要進(jìn)行拋光處理，以得到更均勻的顯示控制。液晶顯示器特用ITO玻璃基板一般屬超浮法玻璃，所有的鍍膜面為玻璃的浮法錫面。因此，之后的液晶顯示器都會(huì)沿浮法方向，規(guī)律的出現(xiàn)波紋不平整情況。

TIO蝕刻液的原料：①氟化銨：分子式為NH4F，白色晶體，易潮解，易溶于水和甲醇，較難溶于乙醇，能升華，在蝕刻液中起腐蝕作用，一般選用工業(yè)產(chǎn)品。②草酸：在蝕刻液中作還原劑使用，一般選用工業(yè)產(chǎn)品。③硫酸鈉：在蝕刻液中作為填充劑使用，一般選用工業(yè)產(chǎn)品。④氫氟酸：即氟化氫的水溶液，為無(wú)色液體，能在空氣中發(fā)煙，有強(qiáng)烈腐蝕性和毒性，能侵蝕玻璃，需貯存于鉛制、蠟制或塑料容器中，可作為蝕刻玻璃的主要原料，一般選用工業(yè)品。⑤硫酸：純品為無(wú)色油狀液體，含雜質(zhì)時(shí)呈黃、棕等色。用水稀釋時(shí)，應(yīng)將濃硫酸慢慢注入水中，并隨時(shí)攪和，而不能將水倒入濃硫酸中，以防濃硫酸飛濺而引發(fā)事故，可作為腐蝕助劑，一般選用工業(yè)品。⑥硫酸銨：一般選用工業(yè)品。⑦甘油：一般選用工業(yè)品。⑧水：自來(lái)水。ITO顯影劑可以分為無(wú)機(jī)化合物和有機(jī)化合物兩大類。

影響ITO酸性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素：1、Cu+含量的影響：根據(jù)蝕刻反應(yīng)機(jī)理，隨著銅的蝕刻就會(huì)形成一價(jià)銅離子。較微量的Cu+就會(huì)明顯的降低蝕刻速率。所以在蝕刻操作中要保持Cu+的含量在一個(gè)低的范圍內(nèi)。2、Cu2+含量的影響：溶液中的Cu2+含量對(duì)蝕刻速率有一定的影響。一般情況下，溶液中Cu2+濃度低于2mol/L時(shí)，蝕刻速率較低；在2mol/L時(shí)速率較高。隨著蝕刻反應(yīng)的不斷進(jìn)行，蝕刻液中銅的含量會(huì)逐漸增加。當(dāng)銅含量增加到一定濃度時(shí)，蝕刻速率就會(huì)下降。為了保持蝕刻液具有恒定的蝕刻速率，必須把溶液中的含銅量控制在一定的范圍內(nèi)。ITO堿性蝕刻液的密度太低會(huì)加重側(cè)蝕。ITO藥劑型號(hào)

ITO顯影劑可以一刷成像。ITO藥劑型號(hào)

影響ITO堿性氯化銅蝕刻液蝕刻速率的因素：溶液pH值的影響。蝕刻液的pH值應(yīng)保持在8.0~8.8之間，當(dāng)pH值降到8.0以下時(shí)，一方面對(duì)金屬抗蝕層不利；另一方面，蝕刻液中的銅不能被完全絡(luò)合成銅氨絡(luò)離子，溶液要出現(xiàn)沉淀，并在槽底形成泥狀沉淀，這些泥狀沉淀能在加熱器上結(jié)成硬皮，可能損壞加熱器，還會(huì)堵塞泵和噴嘴，給蝕刻造成困難。如果溶液pH值過高，蝕刻液中氨過飽和，游離氨釋放到大氣中，導(dǎo)致環(huán)境污染；同時(shí)，溶液的pH值增大也會(huì)增大側(cè)蝕的程度，從而影響蝕刻的精度。ITO藥劑型號(hào)

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