超精密平面光柵編碼器位移測(cè)量技術(shù)是32～7nm節(jié)點(diǎn)浸沒式光刻機(jī)的中心技術(shù)。通過分析浸沒式光刻機(jī)平面光柵位置系統(tǒng)的需求和布局,提出了光刻機(jī)專門超精密平面光柵編碼器的基本需求。針對(duì)現(xiàn)有的光柵編碼器,開展了基本測(cè)量光路方案、相位探測(cè)方案、分辨率增強(qiáng)光路方案、離軸/轉(zhuǎn)角允差光路方案、死程誤差抑制光路方案的綜述分析,提出了現(xiàn)有設(shè)計(jì)方案面向光刻機(jī)應(yīng)用所需要解決的關(guān)鍵問題。面向亞納米級(jí)測(cè)量精度的需求,針對(duì)光柵編碼器的儀器誤差,對(duì)周期非線性誤差、死程誤差、熱漂移誤差和波前畸變誤差進(jìn)行了綜述分析,提出了平面光柵編碼器實(shí)現(xiàn)亞納米精度所需要解決的關(guān)鍵問題同一的光電編碼器既可檢測(cè)角度位移，又可在機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置幫助下檢測(cè)直線位移。溫州絕對(duì)值編碼器廠家推薦
通過光電轉(zhuǎn)換,光電編碼器將工作軸上機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換成脈沖或數(shù)字,用于位移、速度及加速度等物理量檢測(cè),應(yīng)用在數(shù)控設(shè)備伺服驅(qū)動(dòng)、速度檢測(cè)、返回參考點(diǎn)及刀位檢測(cè)等方面。根據(jù)光電編碼器軸伸端軸向和徑向不能受力特點(diǎn),提出其安裝方法。由于光電編碼器集光、機(jī)、電于一體,屬于精密測(cè)量器件,列舉光電編碼器防污、防振及防松動(dòng)等措施。結(jié)合光電編碼器引起數(shù)控機(jī)床報(bào)警、主軸控制、換刀等典型故障現(xiàn)象,分析維修過程及處理方法,為相關(guān)技術(shù)人員提供參考。哈爾濱370編碼器多圈式編碼器在長度定位方面的優(yōu)勢(shì)明顯，已經(jīng)越來越多地應(yīng)用于工控定位中。
磁性編碼器：磁性編碼器的結(jié)構(gòu)與光學(xué)編碼器類似，但它利用的是磁場(chǎng)，而非光束。磁性編碼器使用磁性碼盤替代帶槽光電碼盤，磁性碼盤上帶有間隔排列的磁極，并在一列霍爾效應(yīng)傳感器或磁阻傳感器上旋轉(zhuǎn)。碼盤的任何轉(zhuǎn)動(dòng)都會(huì)使這些傳感器產(chǎn)生響應(yīng)，而產(chǎn)生的信號(hào)將傳輸至信號(hào)調(diào)理前端電路以確定軸的位置。相較于光學(xué)編碼器，磁性編碼器的優(yōu)勢(shì)在于更耐用、抗振和抗沖擊。而且，在遇到灰塵、污垢和油漬等污染物的情況下，光學(xué)編碼器的性能會(huì)大打折扣，磁性編碼器卻不受影響，因此非常適合惡劣環(huán)境應(yīng)用。不過，電機(jī)(尤其是步進(jìn)電機(jī))產(chǎn)生的電磁干擾會(huì)對(duì)磁性編碼器造成極大的影響，并且溫度變化也會(huì)使其產(chǎn)生位置漂移。此外，磁性編碼器的分辨率和精度相對(duì)較低，在這方面遠(yuǎn)不及光學(xué)和電容式編碼器。
編碼器的作用：編碼器的廠家生產(chǎn)的系列都很全，一般都是的，如電梯型編碼器、機(jī)床編碼器、伺服電機(jī)型編碼器等，并且編碼器都是智能型的，有各種并行接口可以與其它設(shè)備通訊。編碼器是把角位移或直線位移轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的一種裝置。前者成為碼盤，后者稱碼尺．按照讀出方式編碼器可以分為接觸式和非接觸式兩種．接觸式采用電刷輸出，一電刷接觸導(dǎo)電區(qū)或絕緣區(qū)來表示代碼的狀態(tài)是“1”還是“0”；非接觸式的接受敏感元件是光敏元件或磁敏元件，采用光敏元件時(shí)以透光區(qū)和不透光區(qū)來表示代碼的狀態(tài)是“1”還是“0”。增量型編碼器與相對(duì)型編碼器怎么區(qū)分？
針對(duì)高、低溫環(huán)境對(duì)光電編碼器的影響和傳感器的誤差補(bǔ)償方法進(jìn)行研究。通過溫度判別光電編碼器所處環(huán)境分區(qū),并切換不同的補(bǔ)償方法實(shí)現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的誤差補(bǔ)償。常溫區(qū)采用直線較小二乘法補(bǔ)償模型,高、低溫區(qū)采用處理非線性擬合更優(yōu)的較小二乘支持向量機(jī)(LS-SVM)補(bǔ)償模型。通過實(shí)驗(yàn)裝置測(cè)試可知:在高、低溫區(qū),光電編碼器測(cè)量誤差呈非線性,而在常溫區(qū)光電編碼器測(cè)量誤差呈線性。研究的極端環(huán)境下光電編碼器誤差補(bǔ)償方法無論對(duì)常溫區(qū)域內(nèi)還是對(duì)高、低溫區(qū)呈非線性變化的測(cè)量誤差均有很好的補(bǔ)償作用。絕對(duì)式編碼器的輸出為一個(gè)多位的字。溫州絕對(duì)值編碼器廠家推薦
編碼器以讀出方式來分，有接觸式和非接觸式兩種。溫州絕對(duì)值編碼器廠家推薦
當(dāng)編碼器上電時(shí)，進(jìn)入就緒狀態(tài)，A、B、和Z通道處于邏輯低電平，READY輸出失效。在這種狀態(tài)下，編碼器不工作，編碼器的旋轉(zhuǎn)對(duì)輸出通道的狀態(tài)不會(huì)產(chǎn)生任何影響。為了使編碼器工作，必須讓RESTART輸入持續(xù)50毫秒。用這種方式，管理編碼器的微控制器讀取它的的肯定位置并且在A、B輸出通道上傳送與肯定位置相應(yīng)的脈沖信號(hào)。在一個(gè)肯定位置脈沖傳輸之前，Z通道上發(fā)出一個(gè)類似計(jì)數(shù)器清零的脈沖。當(dāng)一個(gè)個(gè)脈沖傳送完時(shí)，READY信號(hào)變?yōu)檫壿嫺唠娖剑?jì)數(shù)器有一個(gè)肯定位置值。然后，微控制器釋放A、B和Z通道輸出的控制權(quán)，管理增量編碼器的系統(tǒng)開始工作。這個(gè)步驟叫做‘啟動(dòng)’：當(dāng)完成時(shí)，編碼器準(zhǔn)備工作。溫州絕對(duì)值編碼器廠家推薦
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