河北微流控芯片的加工方法

腸道微流控芯片（GoC）：GoC系統(tǒng)模仿人類腸道的生理學(xué)。它解釋了腸道的主要功能，即消化、營養(yǎng)物質(zhì)的吸收、腸神經(jīng)的調(diào)節(jié)、體內(nèi)廢物的排泄、以及伴隨微生物共生體的人體腸道的病理生理學(xué)。GoC模型主要用于精確復(fù)制具有所需微流控參數(shù)的腸道體內(nèi)環(huán)境。Kim等人研究了當(dāng)人類GoC被腸道微生物群落占據(jù)時(shí)腸道的蠕動(dòng)運(yùn)動(dòng)。通過對(duì)齊兩個(gè)微通道（上部和下部）來設(shè)計(jì)微型器件，該微通道雕刻在PDMS層上，該P(yáng)DMS是通過基于MEMS的微納米制造工藝制作的模板翻模制備而來，且PDMS層由涂有ECM的多孔柔性膜隔開。如圖所示，該裝置被模仿人類腸道生理學(xué)的人腸上皮細(xì)胞包裹。這樣的系統(tǒng)可以模擬人類腸道在某些特定因素下的蠕動(dòng)運(yùn)動(dòng)，即流體流速。顯微鏡與電鏡測量確保微流道精度，支撐高精度生物芯片開發(fā)與生產(chǎn)。河北微流控芯片的加工方法

微流控芯片加工的跨尺度集成技術(shù)與系統(tǒng)整合;公司突破單一尺度加工限制，實(shí)現(xiàn)納米級(jí)至毫米級(jí)結(jié)構(gòu)的跨尺度集成，構(gòu)建功能復(fù)雜的微流控系統(tǒng)。在芯片實(shí)驗(yàn)室（Lab-on-a-Chip）中，納米級(jí)表面紋理（粗糙度 Ra＜50nm）促進(jìn)細(xì)胞外基質(zhì)蛋白吸附，微米級(jí)流道（寬度 50μm）控制流體剪切力，毫米級(jí)進(jìn)樣口（直徑 1mm）兼容常規(guī)注射器，形成從分子到***層面的整合平臺(tái)?？绯叨燃庸そY(jié)合多層鍵合技術(shù)，實(shí)現(xiàn)三維流道網(wǎng)絡(luò)與傳感器陣列的集成，例如血糖監(jiān)測芯片集成微流道、酶電極與無線傳輸模塊，實(shí)時(shí)監(jiān)測組織液葡萄糖濃度并遠(yuǎn)程傳輸數(shù)據(jù)。該技術(shù)推動(dòng)微流控芯片從單一功能器件向復(fù)雜系統(tǒng)進(jìn)化，滿足前端醫(yī)療設(shè)備與智能傳感器的集成化需求。福建微流控芯片之SAW器件從設(shè)計(jì)到硬質(zhì)塑料芯片成型的快速工藝，大幅縮短研發(fā)周期與試產(chǎn)成本。

微流控芯片（microfluidic chip）是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)（Miniaturized Total Analysis Systems）發(fā)展的熱點(diǎn)領(lǐng)域。微流控芯片分析以芯片為操作平臺(tái), 同時(shí)以分析化學(xué)為基礎(chǔ)，以MEMS微機(jī)電加工技術(shù)為依托,以微管道網(wǎng)絡(luò)為結(jié)構(gòu)特征,以生命科學(xué)為目前主要應(yīng)用對(duì)象，是當(dāng)前微全分析系統(tǒng)領(lǐng)域發(fā)展的重點(diǎn)。它的目標(biāo)是把整個(gè)化驗(yàn)室的功能，包括采樣、稀釋、加試劑、反應(yīng)、分離、檢測等集成在微芯片上,且可以多次使用。包括：白金電阻芯片, 壓力傳感芯片, 電化學(xué)傳感芯片, 聲學(xué)微流控芯片，微/納米反應(yīng)器芯片, 微流體燃料電池芯片, 微/納米流體過濾芯片等。

深硅刻蝕工藝在高深寬比結(jié)構(gòu)中的技術(shù)突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優(yōu)化Bosch工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結(jié)構(gòu)加工?？涛g過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結(jié)合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側(cè)壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術(shù)應(yīng)用于地質(zhì)勘探模擬芯片時(shí)，可精確復(fù)制地下巖層的微孔結(jié)構(gòu)，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應(yīng)腔中，高深寬比流道增加了反應(yīng)物接觸面積，使酶促反應(yīng)速率提升40%。公司還開發(fā)了雙面刻蝕與通孔對(duì)齊技術(shù)，實(shí)現(xiàn)三維立體流道網(wǎng)絡(luò)加工，為微反應(yīng)器、微換熱器等復(fù)雜器件提供了關(guān)鍵制造能力，推動(dòng)MEMS技術(shù)在能源、環(huán)境等領(lǐng)域的跨學(xué)科應(yīng)用。單分子級(jí) PDMS 芯片產(chǎn)線通過超凈加工，提升檢測靈敏度至單分子級(jí)別。

生物芯片表面親疏水涂層工藝的精細(xì)控制：親疏水涂層是調(diào)節(jié)微流控芯片內(nèi)流體行為的關(guān)鍵技術(shù)，公司通過氣相沉積、溶液涂覆及等離子體處理等方法，實(shí)現(xiàn)表面接觸角在30°-120°范圍內(nèi)的精細(xì)調(diào)控（精度±2°）。在液滴生成芯片中，疏水涂層流道配合親水微孔，可實(shí)現(xiàn)單分散液滴的穩(wěn)定生成，液滴尺寸變異系數(shù)<5%；在細(xì)胞培養(yǎng)芯片中，親水性表面促進(jìn)細(xì)胞貼壁，結(jié)合梯度涂層設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)細(xì)胞遷移方向控制，用于腫瘤細(xì)胞侵襲研究。涂層材料包括全氟聚醚（PFPE）、聚二甲基硅氧烷（PDMS）及親水性聚合物，通過表面能匹配與化學(xué)接枝技術(shù)，確保涂層在酸堿環(huán)境（pH2-12）與有機(jī)溶劑中穩(wěn)定存在超過200小時(shí)。該技術(shù)解決了復(fù)雜流道內(nèi)流體滯留、氣泡形成等問題，提升了芯片在生化反應(yīng)、藥物篩選等場景中的可靠性，成為微納加工領(lǐng)域的核心競爭力之一。利用微流控芯片做疾病抗原檢測。寧夏微流控芯片扣件

干濕結(jié)合刻蝕技術(shù)制備納米級(jí)微針，可用于組織液提取與電化學(xué)檢測器件。河北微流控芯片的加工方法

微流體的操控的難題：自動(dòng)精確地操控液體流動(dòng)是微流控免疫芯片的主要挑戰(zhàn)之一。目前通常依賴復(fù)雜的通道、閥門、泵、混合器等，通過控制閥門的開關(guān)實(shí)現(xiàn)多步驟反應(yīng)有序進(jìn)行。盡管各種閥門的尺寸很小，但使閥門有序工作需要龐大的外部泵、連接器和控制設(shè)備，從而阻礙了芯片的集成性、便攜性和自動(dòng)化。為盡可能減少驅(qū)動(dòng)泵等輔助設(shè)備以使系統(tǒng)小型化，Mauk等研究人員結(jié)合層壓、柔韌的“袋”和“膜”結(jié)構(gòu)來減少或消除用于流體控制的輔助儀器，通過手指按壓充氣囊或充液囊實(shí)現(xiàn)流體驅(qū)動(dòng)。此外研究人員還嘗試通過復(fù)雜的多層設(shè)計(jì)，更利于控制試劑加載、液體流動(dòng)，如Furutani等人開發(fā)了一種6層芯片疊加黏合而成的光盤形微流控設(shè)備，每一層都有其特定功能，如加載孔、儲(chǔ)液池、反應(yīng)腔等，盡可能避免降低敏感性。河北微流控芯片的加工方法