四川微流控芯片按需定制

微針電極與組織液提取芯片的創(chuàng)新加工技術：微針電極作為生物檢測與給藥的前沿器件，需兼顧機械強度與生物相容性。公司采用干濕結合刻蝕工藝，在硅或硬質塑料基板上制備直徑10-100μm、高度500-1000μm的微針陣列，針尖曲率半徑控制在5μm以內，確保穿刺過程的低創(chuàng)傷性。針對類***電生理記錄需求，開發(fā)了“觸凸”電極結構，在微針頂端集成納米級金屬電極（如金/鉑薄膜），實現對單個細胞電信號的高靈敏度捕獲。同時，微針陣列可用于組織液提取，通過中空結構設計與毛細作用，在30秒內完成微升量級體液采集，避免傳統(tǒng)**的痛苦與***風險。該技術結合表面親疏水修飾，解決了微針堵塞與生物污染問題，已應用于連續(xù)血糖監(jiān)測芯片與藥物透皮遞送系統(tǒng)，為可穿戴醫(yī)療設備提供**組件支持。多材料鍵合技術解決 PDMS 與硬質基板密封問題，推動復合芯片應用。四川微流控芯片按需定制

硅片微流道加工在微納器件中的應用拓展：硅片作為MEMS工藝的主流材料，在微流控芯片中兼具機械強度與加工精度優(yōu)勢。公司利用深硅刻蝕（DRIE）技術實現高深寬比（>20:1）微流道加工，深度可達500μm以上，適用于高壓流體控制、微反應器等場景。硅片表面通過熱氧化或氮化處理形成絕緣層，可集成微電極、壓力傳感器等功能單元，構建“芯片實驗室”（Lab-on-a-Chip）系統(tǒng)。例如，在腦機接口柔性電極芯片中，硅基微流道與鉑銥電極的集成設計，實現了神經信號記錄與藥物微灌注的同步功能，其生物相容性通過表面PEG涂層優(yōu)化，可長期植入體內穩(wěn)定工作。公司還開發(fā)了硅片與PDMS、玻璃的異質鍵合技術，解決了不同材料熱膨脹系數差異導致的應力問題，推動硅基微流控芯片在生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)測等領域的跨學科應用。廣東微流控芯片圖片單分子級 PDMS 芯片產線通過超凈加工，提升檢測靈敏度至單分子級別。

深硅刻蝕工藝在高深寬比結構中的技術突破：深硅刻蝕（DRIE）是制備高深寬比微流道的主要工藝，公司通過優(yōu)化Bosch工藝參數，實現了深度100-500μm、寬深比1:10至1:20的微結構加工?？涛g過程中采用電感耦合等離子體（ICP）源，結合氟基氣體（如SF6）與碳基氣體（如C4F8）的交替刻蝕與鈍化，確保側壁垂直度>89°，表面粗糙度<50nm。該技術應用于地質勘探模擬芯片時，可精確復制地下巖層的微孔結構，用于油氣滲流特性研究；在生化試劑反應腔中，高深寬比流道增加了反應物接觸面積，使酶促反應速率提升40%。公司還開發(fā)了雙面刻蝕與通孔對齊技術，實現三維立體流道網絡加工，為微反應器、微換熱器等復雜器件提供了關鍵制造能力，推動MEMS技術在能源、環(huán)境等領域的跨學科應用。

Cascade 有兩個測試用戶：馬里蘭大學Don DeVoe教授的微流體實驗室和加州大學Carl Meinhart教授的微流體實驗室。德國thinXXS公司開發(fā)了另一套微流控分析設備。該設備提供了一個由微反應板裝配平臺、模塊載片以及連接器和管道所組成的結構工具包?？蓡为氋徺I模塊載片。 ThinXXS還制造獨有芯片，生產微流體和微光學設備和部件并提供相應的服務。將微流控技術應用于光學檢測已經計劃很多年了，thinXXS一直都在進行這方面的綜合研究，但未提供詳細資料。但是，據了解，該技術采用了先進的MEMS傳感器的微納米制造工藝，所以芯片得到了非常好的測試效果。支持 0.5-5μm 微米級尺度微流控芯片加工，滿足單分子檢測等高精需求。

標準化PDMS芯片產線：公司自建的PDMS芯片產線采用全自動化模塑工藝，涵蓋原料混煉、真空脫泡、高溫固化（80℃/2 h）及等離子親水化處理等關鍵環(huán)節(jié)。產線配備高精度模具（公差±2 μm）與光學檢測系統(tǒng)，可批量生產單分子檢測芯片、液滴生成芯片等產品。例如，液滴芯片通過流聚焦結構生成單分散乳液（CV<3%），通量達10,000滴/秒，用于單細胞RNA測序時，細胞捕獲效率超過95%。此外，PDMS芯片的表面改性技術（如二氧化硅涂層）可降低生物污染，在長期細胞培養(yǎng)中保持表面親水性超過30天。該產線已為多家IVD企業(yè)提供定制化服務，例如開發(fā)的核酸快檢芯片，將樣本到結果的時間縮短至30分鐘，靈敏度達98%，成為基層醫(yī)療機構的主要檢測工具。利用微流控芯片做抗體檢測。重慶微流控芯片的制作

微流控芯片的基本實現方式有：MEMS微納米加工技術、光刻、飛秒激光直寫、LIGA、注塑、刻蝕等等；四川微流控芯片按需定制

通過微流控芯片檢測，有助于改進診斷性能、發(fā)現尚未被識別的致病性自身抗體。隨著微流控免疫芯片的推廣，自身抗體檢測成為微流控免疫芯片的重要研究方向之一。此類芯片的設計不同于其他免疫芯片，用于自身抗體檢測的微流控芯片須將自身抗原固定在芯片表面。Matsudaira等人通過光活性劑將自身抗原共價固定在聚酯平板上，利用光照射誘導自由基反應實現固定，不需要自身抗原的特定官能團。Ortiz等人將3種自身抗體通過羧基端硫醇化而固定在聚酯表面，用于檢測乳糜瀉特異性自身抗體，該微流控芯片的敏感性接近商品化酶聯免疫吸附試驗試劑盒。四川微流控芯片按需定制