電子行業(yè)半導體器件制造案例:英特爾、臺積電等半導體制造企業(yè)在芯片制造過程中大量使用真空鍍膜設備。在芯片的電極形成過程中,通過 PVD 的濺射鍍膜技術,以銅(Cu)或鋁(Al)為靶材,在硅片(Si)基底上濺射沉積金屬薄膜作為電極。同時,利用 CVD 技術,如等離子體增強化學氣相沉積(PECVD),沉積絕緣薄膜如氮化硅(Si?N?)來隔離不同的電路元件,防止電流泄漏。這些薄膜的質量和厚度對于芯片的性能、可靠性和尺寸縮小都有著至關重要的作用。品質真空鍍膜設備,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,可鍍爐內金,有需要來咨詢!上海多弧離子鍍膜機真空鍍膜設備推薦廠家
光學與光電子行業(yè):
光學鏡頭與濾光片
應用場景:相機鏡頭增透膜、激光器高反射膜、分光鏡濾光膜。
技術需求:精確控制膜層厚度和折射率,需光學鍍膜設備(如離子輔助沉積)。
太陽能電池
應用場景:晶體硅電池的氮化硅減反射膜、異質結電池的ITO透明電極。
技術需求:高透光率、低缺陷的薄膜,采用PECVD或PVD技術。
激光與光通信
應用場景:光纖連接器的鍍金或鍍鎳層、激光器的高反射鏡。
技術需求:高附著力、低損耗的薄膜,需磁控濺射或電子束蒸發(fā)。
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磁控濺射,即受磁場控制的濺射,是一種高速低溫的濺射技術。它利用磁場束縛和延長電子的運動路徑,改變電子的運動方向,提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量。在高真空的條件下充入適量的氬氣,在陰極(柱狀靶或平面靶)和陽極(鍍膜室壁)之間施加直流電壓,在鍍膜室內產生磁控型異常輝光放電。電子在電場的作用下,飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使氬氣發(fā)生電離,產生氬離子和電子。氬離子在電場的作用下轟擊靶材,使得靶材表面的中性原子或分子獲得足夠動能脫離靶材表面,沉積在基片表面形成薄膜。
工具與機械行業(yè)
切削工具涂層
應用場景:鉆頭、銑刀的TiN、TiAlN硬質涂層。
技術需求:高硬度、低摩擦的薄膜,需多弧離子鍍或磁控濺射。
模具與零部件
應用場景:注塑模具的DLC(類金剛石)涂層、汽車零部件的耐磨涂層。
技術需求:耐高溫、耐磨損的薄膜,需PVD或PECVD技術。
汽車與航空航天行業(yè)
汽車零部件
應用場景:車燈反射鏡的鍍鋁層、發(fā)動機零部件的耐磨涂層。
技術需求:耐高溫、耐腐蝕的薄膜,需PVD或CVD技術。
航空航天材料
應用場景:飛機發(fā)動機葉片的熱障涂層、衛(wèi)星部件的防輻射涂層。
技術需求:高溫穩(wěn)定性、抗輻射的薄膜,需EB-PVD或CVD技術。
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物理上的氣相沉積(PVD)蒸發(fā)鍍膜原理:將待鍍材料(如金屬、合金或化合物)加熱到高溫使其蒸發(fā),蒸發(fā)后的原子或分子在真空中以氣態(tài)形式運動,然后沉積在溫度較低的基底表面,形成薄膜。加熱方式:常用電阻加熱、電子束加熱等。電阻加熱是通過電流通過加熱元件產生熱量,使鍍膜材料升溫蒸發(fā);電子束加熱則是利用高能電子束轟擊鍍膜材料,將電子的動能轉化為熱能,實現材料的快速加熱蒸發(fā)。
濺射鍍膜原理:在真空室中充入少量惰性氣體(如氬氣),然后在陰極(靶材)和陽極(基底)之間施加高電壓,形成輝光放電。惰性氣體原子在電場作用下被電離,產生的離子在電場加速下轟擊陰極靶材,使靶材表面的原子獲得足夠能量而被濺射出來,這些濺射出來的原子沉積在基底表面形成薄膜。優(yōu)點:與蒸發(fā)鍍膜相比,濺射鍍膜可以鍍制各種材料,包括高熔點材料,且膜層與基底的結合力較強。 品質真空鍍膜設備,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!浙江抗腐蝕涂層真空鍍膜設備設備廠家
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關鍵技術
磁控濺射技術:可以顯著提高濺射效率和薄膜質量。它利用磁場控制濺射出的靶材原子或分子的運動軌跡,使其更均勻地沉積在基材表面。蒸發(fā)技術:通過加熱蒸發(fā)源,使膜體材料蒸發(fā)成氣態(tài)分子,并在真空室內自由飛行后沉積在基材表面。離子鍍技術:在濺射鍍膜的基礎上,結合離子注入技術,可以進一步提高薄膜與基材的結合力和薄膜的性能。
設備特點
高真空度:確保鍍膜過程中空氣分子對膜體分子的碰撞小化,獲得高質量的薄膜。多種鍍膜方式:可根據需求選擇蒸發(fā)、濺射或離子鍍等方式進行鍍膜。自動化程度高:現代真空鍍膜設備通常配備先進的控制系統(tǒng)和自動化裝置,實現高效、精確的鍍膜過程。適用范圍廣:可用于各種材質和形狀的工件鍍膜處理。 上海多弧離子鍍膜機真空鍍膜設備推薦廠家