激光干涉儀高精度測(cè)量

來源: 發(fā)布時(shí)間:2022-07-16

引力波測(cè)量干涉儀也可以用于引力波探測(cè)(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測(cè)器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的(Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實(shí)驗(yàn)室建造初步的試驗(yàn)系統(tǒng)(Weiss 1972)。截止jin ri,激光干涉儀引力波探測(cè)器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)宣稱shou ci直接測(cè)量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認(rèn)為是兩路光線的干涉儀,而另外一類引力波探測(cè)實(shí)驗(yàn), 脈沖星測(cè)時(shí)陣列則可認(rèn)為是多路光線干涉儀(Hellings和Downs,1983)。能夠測(cè)量液體的表面運(yùn)動(dòng),開啟了在各科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)獨(dú)特應(yīng)用的可能性。激光干涉儀高精度測(cè)量

干涉儀應(yīng)用:幾何精度檢測(cè)可用于檢測(cè)直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。位置精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動(dòng)測(cè)量機(jī)器的誤差,而且還能通過RS232接口自動(dòng)對(duì)其線性誤差進(jìn)行補(bǔ)償,比通常的補(bǔ)償方法節(jié)省了大量時(shí)間,并且避免了手工計(jì)算和手動(dòng)數(shù)控鍵入而引起的操作者誤差,同時(shí)可比較大限度地選用被測(cè)軸上的補(bǔ)償點(diǎn)數(shù),使機(jī)床達(dá)到比較好精度,另外操作者無需具有機(jī)床參數(shù)及補(bǔ)償方法的知識(shí)。浙江激光干涉儀形貌測(cè)量超精密和非接觸式表面分析。

高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。

標(biāo)準(zhǔn)化。通訊接口過去常用GPIB,RS232,目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI?,F(xiàn)在,技術(shù)前面者設(shè)法控制技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),參與標(biāo)準(zhǔn)制訂是儀器開發(fā)的基礎(chǔ)研究工作之一。

配合數(shù)控設(shè)備的技術(shù)創(chuàng)新(如主軸速度,精度創(chuàng)成)

數(shù)控設(shè)備的主要誤差來源可分為幾何誤差(共有21項(xiàng))和熱誤差。對(duì)于重復(fù)出現(xiàn)的系統(tǒng)誤差,可采用軟件修正;對(duì)于隨機(jī)誤差較大的情況,要采用實(shí)時(shí)修正方法。對(duì)于熱誤差,一般要通過溫度測(cè)量進(jìn)行修正。

在物理學(xué)家關(guān)于氣體或其他有重物體所形成的理論觀念同麥克斯韋關(guān)于所謂空虛空間中的電磁過程的理論之間,有著深刻的形式上的分歧。這就是,我們認(rèn)為一個(gè)物體的狀態(tài)是由數(shù)目很大但還是有限個(gè)數(shù)的原子和電子的坐標(biāo)和速度來完全確定的;與此相反,為了確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài),我們就需要用連續(xù)的空間函數(shù),因此,為了完全確定一個(gè)空間的電磁狀態(tài),就不能認(rèn)為有限個(gè)數(shù)的物理量就足夠了。按照麥克斯韋的理論,對(duì)于一切純電磁現(xiàn)象因而也對(duì)于光來說,應(yīng)當(dāng)把能量看作是連續(xù)的空間函數(shù),而按照物理學(xué)家的看法,一個(gè)有重客體的能量,則應(yīng)當(dāng)用其中原子和電子所帶能量的總和來表示。一個(gè)有重物體的能量不可能分成任意多個(gè)、任意小的部分,而按照光的麥克斯韋理論(或者更一般地說,按照任何波動(dòng)理論),從一個(gè)點(diǎn)光源發(fā)射出來的光束的能量,則是在一個(gè)不斷增大的體積中連續(xù)地分布的。易于集成(只?1.2mm,重量只幾克)。

數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè):數(shù)控轉(zhuǎn)臺(tái)分度精度的檢測(cè)及其自動(dòng)補(bǔ)償現(xiàn)在,利用ML10激光干涉儀加上RX10轉(zhuǎn)臺(tái)基準(zhǔn)還能進(jìn)行回轉(zhuǎn)軸的自動(dòng)測(cè)量。它可對(duì)任意角度位置,以任意角度間隔進(jìn)行全自動(dòng)測(cè)量,其精度達(dá)±1。新的國際標(biāo)準(zhǔn)已推薦使用該項(xiàng)新技術(shù)。它比傳統(tǒng)用自準(zhǔn)直儀和多面體的方法不僅節(jié)約了大量的測(cè)量時(shí)間,而且還得到完整的回轉(zhuǎn)軸精度曲線,知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。知曉其精度的每一細(xì)節(jié),并給出按相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)處理的統(tǒng)計(jì)結(jié)果。熱力或磁力應(yīng)變作為ΔL與初始長度(Lo)之間的比率。福建電子激光干涉儀

測(cè)試齒條齒輪傳動(dòng)系統(tǒng)中,行星齒輪機(jī)械參數(shù)的長期穩(wěn)定性。激光干涉儀高精度測(cè)量

按一次繞組對(duì)地運(yùn)行狀態(tài)分

一次繞組接地的電壓互感器:單相電壓互感器一次繞組的末端或三相電壓互感器一次繞組的中性點(diǎn)直接接地;一次繞組不接地的電壓互感器:單相電壓互感器一次繞組兩端子對(duì)地都是絕緣的;三相電壓互感器一次繞組的各部分,包括接線端子對(duì)地都是絕緣的,而且絕緣水平與額定絕緣水平一致。

按磁路結(jié)構(gòu)分

單級(jí)式電壓互感器:一次繞組和二次繞組(根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組同繞在一個(gè)鐵芯上,鐵芯為地電位。我國在及以下電壓等級(jí)均用單級(jí)式;串級(jí)式電壓互感器:一次繞組分成幾個(gè)匝數(shù)相同的單元串接在相與地之間,每一單元有各自獨(dú)自的鐵芯,具有多個(gè)鐵芯,且鐵芯帶有高電壓,二次繞組(根據(jù)需要可設(shè)多個(gè)二次繞組處在較為末一個(gè)與地連接的單元。我國在電壓等級(jí)常用此種結(jié)構(gòu)型式;組合式互感器:由電壓互感器和電流互感器組合并形成一體的互感器稱為組合式互感器,也有把與組合電器配套生產(chǎn)的互感器稱為組合式互感器。 激光干涉儀高精度測(cè)量