升降變差
1 能耐受機(jī)械力作用的儀表、儀表正面部分比較大尺寸小于75MM 的可攜式儀表、正面比較大尺寸小于40MM 的安裝式儀表、用直流進(jìn)行檢驗(yàn)的電磁系和鐵磁電動(dòng)系儀表，其指示值的升降變差不應(yīng)超過(guò)表7 規(guī)定值的1.5 倍。其它儀表的升降變差不應(yīng)超過(guò)表的規(guī)定。
2 測(cè)定升降變差時(shí)，應(yīng)在極性不變(當(dāng)用直流檢驗(yàn)時(shí))和指示器升降方向不變的前提下，首先使被檢表指示器從一個(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺某一個(gè)分度線，讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)；然后再?gòu)牧硪粋€(gè)方向平穩(wěn)地移向標(biāo)度尺的同一個(gè)分度線，再次讀取標(biāo)準(zhǔn)表的讀數(shù)，標(biāo)準(zhǔn)表兩次讀數(shù)之差即為升降變差。允許根據(jù)被檢表讀數(shù)之差測(cè)定升降變差，這時(shí)應(yīng)維持被測(cè)量之值不變。測(cè)定儀表升降變差時(shí)應(yīng)遵守規(guī)定，若被測(cè)之量連續(xù)可調(diào)，可與測(cè)定基本誤差一同進(jìn)行。 在測(cè)量軟件WAVE的FFT圖中，實(shí)時(shí)顯示位移數(shù)據(jù)，可快速簡(jiǎn)便地進(jìn)行頻譜分析，以識(shí)別共振頻率。東莞激光干涉儀深度測(cè)量
擴(kuò)散型半導(dǎo)體應(yīng)變片
這種應(yīng)變片是將 P型雜質(zhì)擴(kuò)散到一個(gè)高電阻N型硅基底上，形成一層極薄的P型導(dǎo)電層，然后用超聲波或熱壓焊法焊接引線而制成（圖2）。它的優(yōu)點(diǎn)是穩(wěn)定性好，機(jī)械滯后和蠕變小，電阻溫度系數(shù)也比一般體型半導(dǎo)體應(yīng)變片小一個(gè)數(shù)量級(jí)。缺點(diǎn)是由于存在P-N結(jié)，當(dāng)溫度升高時(shí)，絕緣電阻大為下降。半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導(dǎo)體單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種敏感元件。新型固態(tài)壓阻式傳感器中的敏感元件硅梁和硅杯等就是用擴(kuò)散法制成的。 浦東新區(qū)激光干涉儀測(cè)量使用干涉測(cè)量法進(jìn)行旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)誤差補(bǔ)償。
引力波測(cè)量干涉儀也可以用于引力波探測(cè)(Saulson,1994)。激光干涉儀引力波探測(cè)器的概念是前蘇聯(lián)科學(xué)家Gertsenshtein和Pustovoit在1962年提出的（Gertsenshtein和Pustovoit 1962。1969年美國(guó)科學(xué)家Weiss和Forward則分別在1969年即于麻省理工和休斯實(shí)驗(yàn)室建造初步的試驗(yàn)系統(tǒng)（Weiss 1972）。截止jin ri，激光干涉儀引力波探測(cè)器已經(jīng)發(fā)展了40余年。目前LIGO激光干涉儀實(shí)驗(yàn)宣稱shou ci直接測(cè)量到了引力波 (LIGO collaboration 2016)。LIGO可以認(rèn)為是兩路光線的干涉儀，而另外一類引力波探測(cè)實(shí)驗(yàn)， 脈沖星測(cè)時(shí)陣列則可認(rèn)為是多路光線干涉儀（Hellings和Downs,1983）。
干涉儀注意事項(xiàng)
1、儀器應(yīng)放置在干燥、清潔以及無(wú)振動(dòng)的環(huán)境中應(yīng)用。2、在移動(dòng)儀器時(shí)，為防止導(dǎo)軌變形，應(yīng)托住底座再進(jìn)行移動(dòng)。3、儀器的光學(xué)零件在不用時(shí)，應(yīng)在清潔干燥的器皿中進(jìn)行存放，以防止發(fā)霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等，如必須擦拭則應(yīng)當(dāng)小心擦拭，利用科學(xué)的方法進(jìn)行清潔。5、導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分等傳動(dòng)部件，應(yīng)當(dāng)保持良好的潤(rùn)滑。因此必要時(shí)要使用精密儀表油潤(rùn)滑。6、在使用時(shí)應(yīng)避免強(qiáng)旋、硬扳等情況，合理恰當(dāng)?shù)恼{(diào)整部件。7、避免劃傷或腐蝕導(dǎo)軌面絲桿，保持其不失油。 在三個(gè)直徑為400、315和200μm的金屬圓筒上進(jìn)行輪廓測(cè)量。
干涉儀維護(hù)：1、儀器應(yīng)妥善地放在干燥、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng)，儀器搬動(dòng)時(shí)，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形。2、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi)，以防止發(fā)霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭，必要擦拭時(shí)，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和yi mi混合液輕拭。3、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤(rùn)滑。特別是導(dǎo)軌、絲桿、螺母與軸孔部分，應(yīng)用T5精密儀表油潤(rùn)滑。4、使用時(shí)，各調(diào)整部位用力要適當(dāng)，不要強(qiáng)旋、硬扳。5、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷、銹蝕，用畢后，仍保持不失油狀態(tài)。6、經(jīng)過(guò)精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng)。用于校準(zhǔn)機(jī)床，例如 快速運(yùn)行的主軸。傳感器激光干涉儀平臺(tái)
膨脹計(jì)：熱膨脹和磁致伸縮測(cè)量。東莞激光干涉儀深度測(cè)量
半導(dǎo)體應(yīng)變片:用于車輛等機(jī)械量測(cè)量的元件.半導(dǎo)體應(yīng)變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結(jié)尾粘貼在鋅酚醛樹(shù)脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。是一種利用半導(dǎo)體單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種敏感元件。利用半導(dǎo)體單晶硅的壓阻效應(yīng)制成的一種敏感元件，又稱半導(dǎo)體應(yīng)變片。壓阻效應(yīng)是半導(dǎo)體晶體材料在某一方向受力產(chǎn)生變形時(shí)材料的電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象（見(jiàn)壓阻式傳感器）。半導(dǎo)體應(yīng)變片需要粘貼在試件上測(cè)量試件應(yīng)變或粘貼在彈性敏感元件上間接地感受被測(cè)外力。東莞激光干涉儀深度測(cè)量