在微電子潔凈車間中,靜電控制是非常重要的,因?yàn)殪o電可能會對微電子器件和工藝造成損害。以下是合景凈化工程公司整理的微電子潔凈車間常見的靜電控制措施:微電子潔凈車間的設(shè)計(jì)和布局應(yīng)該考慮到靜電控制。地板、墻壁和天花板應(yīng)該使用靜電耗散材料,以防止靜電積累。此外,車間內(nèi)應(yīng)該設(shè)置合適的防靜電工作臺和操作區(qū),以便員工在操作微電子器件時能夠有效地控制靜電。工作人員在進(jìn)入微電子潔凈車間之前,應(yīng)該進(jìn)行防靜電培訓(xùn),以了解如何避免靜電的產(chǎn)生和如何正確地操作防靜電設(shè)備和工具。此外,工作人員也應(yīng)該穿著防靜電工作服和鞋子,以防止靜電的產(chǎn)生。微電子器件在生產(chǎn)過程中可能會產(chǎn)生靜電,因此應(yīng)該采取一些措施來控制這種情況。例如,可以使用防靜電包裝材料來儲存和運(yùn)輸微電子器件,也可以使用防靜電噴涂材料來對器件進(jìn)行表面處理。為了確保靜電控制的有效性,微電子潔凈車間應(yīng)該定期進(jìn)行靜電檢測和維護(hù)。這包括對車間內(nèi)的靜電耗散材料進(jìn)行檢測和維護(hù),以及對防靜電設(shè)備和工具進(jìn)行檢查和維修。 地面鋪設(shè)防滑、防靜電、耐腐蝕的 PVC 地板或環(huán)氧樹脂地坪,有效避免滑倒事故與設(shè)備靜電損壞。蘇州食品潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修公司
除對工藝有特殊要求的潔凈室,如提取間、烘干間等,潔凈室高度一般在2.6米到3.0米即可,但有的企業(yè)不知何種原因整個車間統(tǒng)一建成4.0米高。應(yīng)根據(jù)不同生產(chǎn)工藝、不同生產(chǎn)工序?qū)Νh(huán)境潔凈度的不同要求,該高則高,該低則低,盡量縮小高潔凈度等級部分的面積,以局部高等級凈化和全室較低等級凈化的潔凈室系統(tǒng)代替全室高等級凈化的潔凈室系統(tǒng)。既能確保不同生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求,又能大幅度地降低初投資和運(yùn)行費(fèi)用。換氣次數(shù)、壓差、懸浮粒子數(shù)是潔凈室三項(xiàng)基本的要求,潔凈室不論是亂流時的稀釋作用,還是單相流時的置換作用,都需靠潔凈空氣的量來控制和實(shí)現(xiàn)潔凈室的各種參數(shù),因此潔凈室的換氣次數(shù)不能過低。過濾器的選用應(yīng)遵守以下要點(diǎn):末級過濾器的性能要可靠,預(yù)過濾器的效率規(guī)格要合理,初級過濾器和預(yù)過濾器的維護(hù)要方便。另外高效過濾器必須經(jīng)過逐臺檢驗(yàn)。如有可能盡可能選擇濾料面積大的過濾器,過濾面積大,容塵量大,使用壽命長;過濾面積大,氣流穿過材料的速度低,過濾器的阻力小,還可以減少維護(hù)費(fèi)用和空調(diào)系統(tǒng)能耗費(fèi)。5.6浙江恒溫恒濕實(shí)驗(yàn)室裝修設(shè)計(jì)公司采用環(huán)保型裝修材料,減少有害氣體釋放,保障實(shí)驗(yàn)人員身體健康與實(shí)驗(yàn)環(huán)境安全。
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的合理布局與安裝不僅關(guān)系到實(shí)驗(yàn)操作的便利性,還會影響實(shí)驗(yàn)室的潔凈度和氣流組織。在進(jìn)行設(shè)備布局時,應(yīng)首先考慮實(shí)驗(yàn)流程的需要,將相關(guān)設(shè)備集中布置,便于實(shí)驗(yàn)人員操作和管理。例如,在化學(xué)分析實(shí)驗(yàn)室中,可將樣品前處理設(shè)備、分析儀器設(shè)備等按照實(shí)驗(yàn)流程依次排列。同時,要考慮設(shè)備的尺寸、重量和發(fā)熱量等因素,合理安排設(shè)備的安裝位置。對于大型設(shè)備,應(yīng)確保其安裝基礎(chǔ)牢固,能夠承受設(shè)備的重量和運(yùn)行時產(chǎn)生的振動;對于發(fā)熱量較大的設(shè)備,如高溫爐、離心機(jī)等,應(yīng)安裝在通風(fēng)良好的位置,并采取有效的散熱措施,防止熱量積聚影響實(shí)驗(yàn)室的溫濕度和潔凈度。在設(shè)備安裝過程中,要注意設(shè)備與圍護(hù)結(jié)構(gòu)之間的密封,避免縫隙導(dǎo)致污染物進(jìn)入。設(shè)備的管道連接也應(yīng)嚴(yán)格按照規(guī)范進(jìn)行,確保管道的密封性和清潔度,防止氣體或液體泄漏對實(shí)驗(yàn)環(huán)境造成污染。此外,還需為設(shè)備預(yù)留足夠的維護(hù)空間,方便設(shè)備的日常維護(hù)和檢修。
實(shí)驗(yàn)室家具的選擇與布置直接影響實(shí)驗(yàn)操作的便利性和舒適度。功能性是選擇家具的重要考量因素,實(shí)驗(yàn)臺的尺寸和結(jié)構(gòu)要契合實(shí)驗(yàn)操作需求,比如進(jìn)行有機(jī)合成實(shí)驗(yàn),需要較大操作臺面放置反應(yīng)裝置,實(shí)驗(yàn)臺應(yīng)足夠?qū)挸ㄇ曳€(wěn)固;通風(fēng)柜要具備良好的通風(fēng)效果,能迅速排出實(shí)驗(yàn)過程中產(chǎn)生的有害氣體,保障實(shí)驗(yàn)人員健康;儲物柜要根據(jù)實(shí)驗(yàn)用品和試劑的種類、數(shù)量,合理設(shè)計(jì)內(nèi)部結(jié)構(gòu),便于分類存放,提高存取效率。耐用性也是關(guān)鍵,實(shí)驗(yàn)室家具使用頻繁,實(shí)驗(yàn)臺面要有足夠強(qiáng)度和穩(wěn)定性,能承受實(shí)驗(yàn)設(shè)備的重壓和頻繁操作;儲物柜的柜體和柜門要堅(jiān)固耐用,不易變形,確保長期使用。同時,還要考慮實(shí)驗(yàn)人員的工作舒適度,選用符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的家具。實(shí)驗(yàn)椅高度應(yīng)可調(diào)節(jié),適應(yīng)不同身高的人員;靠背要能提供良好支撐,減輕長時間工作的疲勞感。合理布置家具,使實(shí)驗(yàn)區(qū)域的工作流程順暢,提高整體工作效率。 建立實(shí)驗(yàn)室管理信息系統(tǒng),對實(shí)驗(yàn)設(shè)備、試劑耗材、實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)等進(jìn)行信息化管理。
對于一些對潔凈度要求極高的實(shí)驗(yàn)室,如半導(dǎo)體制造實(shí)驗(yàn)室、生物制藥實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)院手術(shù)室等,潔凈度設(shè)計(jì)是**環(huán)節(jié)。首先要根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求確定潔凈等級,如ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)將潔凈室分為不同等級,百級、千級、萬級等,每個等級對空氣中懸浮粒子濃度有嚴(yán)格規(guī)定。為達(dá)到相應(yīng)潔凈等級,要采用合理的氣流組織形式,如單向流、非單向流。單向流通過使空氣以均勻速度沿單一方向流動,將室內(nèi)污染物迅速排出,適用于對潔凈度要求極高區(qū)域;非單向流則通過混合室內(nèi)空氣,稀釋污染物濃度,滿足一般潔凈度要求??諝鈨艋O(shè)備是保障潔凈度的關(guān)鍵,需安裝高效過濾器,如HEPA過濾器,能過濾掉空氣中微小粒子,包括細(xì)菌、病毒、塵埃等。高效過濾器要定期更換,確保過濾效果。實(shí)驗(yàn)室裝修材料要選擇不易產(chǎn)塵、易清潔的材質(zhì),墻面可采用彩鋼板,表面光滑平整,不易積塵;地面采用防靜電環(huán)氧自流平地坪,既能防止靜電吸附灰塵,又便于清潔消毒。同時,要嚴(yán)格控制人員和物品進(jìn)出,人員進(jìn)入需更換潔凈服、鞋套,經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋去除身上灰塵;物品進(jìn)入需進(jìn)行清潔、消毒處理,避免將污染物帶入潔凈實(shí)驗(yàn)室,維持實(shí)驗(yàn)環(huán)境的高潔凈度。 配備緊急噴淋與洗眼器,安裝位置應(yīng)顯眼且便于快速到達(dá),為實(shí)驗(yàn)人員提供應(yīng)急安全保障。浦口區(qū)光學(xué)光電實(shí)驗(yàn)室氣體管道系統(tǒng)工程
為顯微鏡室提供穩(wěn)定的電源與良好的照明條件,避免光線閃爍影響觀察效果。蘇州食品潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修公司
在送、回風(fēng)管及排風(fēng)系統(tǒng)的吸風(fēng)總管段上應(yīng)采取消聲措施以滿足潔凈室內(nèi)對噪聲的要求;在凈化空調(diào)系統(tǒng)的排風(fēng)管或局部排風(fēng)系統(tǒng)的排風(fēng)管段上也應(yīng)采取消聲措施,以滿足室外環(huán)境區(qū)域噪聲標(biāo)準(zhǔn)的要求。消聲器一般布置在靠近機(jī)房的氣流穩(wěn)定的管段上。當(dāng)布置在機(jī)房內(nèi)時,消聲器、檢查門及消聲器后至機(jī)房隔墻的那段風(fēng)管必須有良好的隔聲措施;當(dāng)布置在機(jī)房外臨近房間內(nèi)時,應(yīng)盡量靠近機(jī)房隔墻,而消聲器前至該隔墻的那段管(包括拐彎靜壓箱或彎頭)也應(yīng)有良好隔聲措施,以免機(jī)房內(nèi)的噪聲通過消聲器本身、檢查門及風(fēng)管的不嚴(yán)密處再次傳入系統(tǒng)中,使消聲器輸出端口噪聲增高。凈化系統(tǒng)采用微穿空板消聲器,空調(diào)系統(tǒng)采用阻抗復(fù)合型消聲器,排風(fēng)系統(tǒng)采用管道式消聲器?消聲材料用不燃材料。 蘇州食品潔凈實(shí)驗(yàn)室裝修公司