安裝和培訓(xùn)：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設(shè)備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場提供與該設(shè)備匹配的電接口，便于安裝調(diào)試。u供方在需方現(xiàn)場安裝調(diào)試設(shè)備并交付使用。13-2.培訓(xùn)u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場為需方操作者提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設(shè)備出廠經(jīng)需方預(yù)驗收合格。十四、設(shè)備驗收：14-1.預(yù)驗收u預(yù)驗收在供方進行。u一般檢查：看設(shè)備的實物布局是否合理，外觀質(zhì)量與基本功能是否符合技術(shù)要求，設(shè)備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設(shè)備空運轉(zhuǎn)檢查：空運轉(zhuǎn)6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內(nèi)進行。設(shè)備到達需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現(xiàn)場進行調(diào)試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內(nèi)容,設(shè)備運轉(zhuǎn)時間延長至三個工作日高溫隧道固化爐燒銀爐。宿遷半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
控制系統(tǒng)循環(huán)馬達及風(fēng)葉采用運風(fēng)馬達，配多翼式風(fēng)輪，經(jīng)過動平衡矯正及風(fēng)速靜壓之測試、共鳴之測試完成；采水平送風(fēng)循環(huán)方式，兩側(cè)吹風(fēng)，中間回風(fēng)，有效保證均溫。加熱管采用質(zhì)量電加熱器加熱?？諝饧訜岱绞?.由烘箱進氣口進風(fēng)至加熱器風(fēng)槽內(nèi)；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內(nèi)部做循環(huán)運風(fēng)，廢氣從排氣口排出。（外排風(fēng)管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺上品HOTTSP微電腦自動演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動整定演算輸出，控制精細。超溫保護器1.采用超溫保護器；2.當溫度超過超溫保護器設(shè)定值時，自動切斷加熱電源。時間控制0~99.9小時可任意設(shè)定，時間到達后有報警并自動停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更***。溫度傳感器采用K型熱電偶，測溫精細。時控開關(guān)附一個時控開關(guān)，可設(shè)置定時開關(guān)機。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺國產(chǎn)6通道無紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。蘇州無塵工業(yè)烤箱價格精密送風(fēng)循環(huán)隧道爐。
外部尺寸：W635*D645*H1255電熱功率：AC220V50HZ2000W電熱控制：PID+SSR測溫探頭：日制PT100鉑金電阻，不銹鋼鎧裝覆套，精度±0.5%，反應(yīng)靈敏，抗干擾，耐高溫。電氣控制：HMI大屏15寸觸摸屏+IPC(工業(yè)電腦/Advantech研華)（610L/SIMB-A21/I5-2400/16G/1T）(處理器IT,內(nèi)存16G，硬盤1T,作業(yè)系統(tǒng)64位Windows10)宏碁（ACER）23.8寸IPS硬屏顯示器。（品牌：Advantech研華+PLC品牌：西門子）軟體版本：確認**終規(guī)格后，隨機附上殺毒軟件：360殺毒軟件V5.0正式版內(nèi)部材質(zhì)：316L外部材質(zhì)：304鏡面處理（可定制拉絲，烤漆等）使用溫度：MAX250℃真空度：<133Pa標配國產(chǎn)旋葉真空泵，品牌：慕泓DIM-4。抽氣速度2~4升／秒，抽真空時間60秒左右，破真空時間25秒左右。德國萊寶真空計，型號TTR91,控制精度1pa。氮氣系統(tǒng)：采用**氮氣控制閥控制（MPC浮子式流量閥控制，型號：MPC-P21/P22）。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：HMDS藥劑容量500ml
7、端子排應(yīng)無損壞，固定牢固，絕緣良好，端子正面朝向應(yīng)能保證運行或檢修人員從柜外能看到端子兩旁的號碼管；8、配電箱上配有相應(yīng)的電控圖紙以便維修人查閱。9、PLC程序地址符號用中文標注且清楚明了，電控箱內(nèi)有詳細的IO地止使用及注解記錄表;10、各段輸送鏈、頂升裝置、自動移行機構(gòu)、必須設(shè)有手動和自動模式，可以聯(lián)動也可以手動控制該設(shè)備。七.總體技術(shù)要求:1．線體結(jié)構(gòu)為模塊化拼裝結(jié)構(gòu)。2．線體有良好的接地保護,接地線線徑應(yīng)符合國家有關(guān)標準要求。3．生產(chǎn)線（包括各單機，以下同）總體布局合理，人流物流通暢能滿足產(chǎn)品生產(chǎn)的工藝流程需要，并有充分的維修空間。4．生產(chǎn)線各運動部分運轉(zhuǎn)靈活,平穩(wěn),安全,可靠,無爬行,跳動現(xiàn)象,無異常聲音,工件無碰撞擺動現(xiàn)象.5．生產(chǎn)線各銜接部分,單機設(shè)備與生產(chǎn)線之間應(yīng)銜接良好,工作節(jié)拍協(xié)調(diào)一至,且各單機的工作節(jié)拍應(yīng)小于生產(chǎn)線的工作節(jié)拍。6．生產(chǎn)線整體設(shè)計為鋼型材架結(jié)構(gòu),做到結(jié)構(gòu)美觀,牢固耐用,整體色調(diào)簡潔明快.7．各驅(qū)動,傳動部位潤滑情況良好,無漏油現(xiàn)象.8．線體著色：按照客戶提供色板確定9．輸送周邊過道部分安裝黃色護欄,采用膨脹螺絲固定于地面.10.系統(tǒng)控制使用安全電壓（DC24V）。氣氛老化烤箱加壓爐。
1)外殼SUS304不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內(nèi)膽外壁，上下左右四面加熱，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實驗情況。無發(fā)塵材料，適用百級光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。電熱鼓風(fēng)烤箱雙開式臺車烤箱。泰州無氧化工業(yè)烤箱維保
網(wǎng)鏈式還原氣氛隧道爐。宿遷半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當達到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應(yīng)。宿遷半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司致力于機械及行業(yè)設(shè)備，以科技創(chuàng)新實現(xiàn)高質(zhì)量管理的追求。臺上品作為機械及行業(yè)設(shè)備的企業(yè)之一，為客戶提供良好的工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐。臺上品繼續(xù)堅定不移地走高質(zhì)量發(fā)展道路，既要實現(xiàn)基本面穩(wěn)定增長，又要聚焦關(guān)鍵領(lǐng)域，實現(xiàn)轉(zhuǎn)型再突破。臺上品創(chuàng)始人朱慶巧，始終關(guān)注客戶，創(chuàng)新科技，竭誠為客戶提供良好的服務(wù)。