1)外殼SUS304不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個，總功率2650W,均勻分布在內(nèi)膽外壁，上下左右四面加熱，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實驗情況。無發(fā)塵材料，適用百級光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無外漏顧慮。雙通道回流隧道烤箱。連云港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
（燃?xì)饧訜幔┮?guī)範(fàn)書昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司部分、設(shè)備規(guī)範(fàn)及其服務(wù)的說明1、設(shè)備名稱及數(shù)量：步進(jìn)式砂芯烘烤爐及其輸送系統(tǒng)、加熱控制系統(tǒng)、送風(fēng)系統(tǒng)，2套。2、交貨期交貨期為合同生效75工作日天完成設(shè)備製造。3、品質(zhì)保證3.1、我公司以品質(zhì)體系運作，我們對合約承諾範(fàn)圍內(nèi)的一切設(shè)備從設(shè)計、製造、安裝、調(diào)試至交付驗收均按照規(guī)定體系程式執(zhí)行，在全過程中充分聽取用戶方意見，接受用戶方監(jiān)督。在之前設(shè)備設(shè)計的基礎(chǔ)上進(jìn)行改善。3.2、我們在加熱設(shè)備系統(tǒng)設(shè)計方面有豐富的經(jīng)驗，完全能夠按時優(yōu)質(zhì)地完成整個工程，確保交期和產(chǎn)品品質(zhì)。3.3、施工品質(zhì)控制措施（1）品質(zhì)目標(biāo)的制定及論證施工組織設(shè)計由技術(shù)質(zhì)檢部會同工地主任進(jìn)行論證，科學(xué)地確定目標(biāo)管理值。（2）目標(biāo)的分解及方案以品質(zhì)指標(biāo)為依據(jù)，按專案施工的管理層次進(jìn)行分解開展，落實到有關(guān)責(zé)任者成為施工過程中的品質(zhì)職責(zé)。品質(zhì)職責(zé)包括品質(zhì)責(zé)任與品質(zhì)許可權(quán)。品質(zhì)職責(zé)是建立品質(zhì)管制網(wǎng)路、品質(zhì)責(zé)任制的一部分，而品質(zhì)責(zé)任制是品質(zhì)目標(biāo)、計畫待以落實的保證。3.4、計量器具的配備計畫（1）按施工組織設(shè)計中的實際工程量的需要及安裝的技術(shù)品質(zhì)要求，配備好工地的計量器具。（高新區(qū)智能工業(yè)烤箱商家VC均熱板輸送氣氛燒結(jié)爐。
九、設(shè)備參數(shù)9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設(shè)備整機(jī)尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側(cè)面）主機(jī)占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個溫度正常使用500度，MAX600度。機(jī)臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸層架結(jié)構(gòu)，貴司現(xiàn)有設(shè)備樣式（見附件圖紙）材質(zhì)保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結(jié)構(gòu)穩(wěn)固、耐用。送風(fēng)系統(tǒng)方式采用電機(jī)帶動皮帶使風(fēng)輪轉(zhuǎn)動&加長軸散熱系統(tǒng)。電機(jī)功率為1/2HP加熱系統(tǒng)溫控器YUDIAN自動數(shù)顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側(cè)安裝加熱管、加熱功率25KW。◇加熱管材質(zhì)為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。
尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設(shè)備配置試驗室用電源設(shè)備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負(fù)荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應(yīng)大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò)路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機(jī)臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結(jié)束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機(jī)臺上的高度/備注cassette放置于設(shè)備前方或左右側(cè)）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調(diào)檔：（當(dāng)cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標(biāo)準(zhǔn)SECS/GEM通訊接口圓型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。
對施工的各專業(yè)人員進(jìn)行資質(zhì)審查，凡從事特種工作的操作人員須持證上崗。3.6、物資控制對進(jìn)入現(xiàn)場的原材料、半成品、零部件等物資品質(zhì)的控制要求，並由責(zé)任部門和責(zé)任者對物資的品質(zhì)控制進(jìn)行監(jiān)督檢查，認(rèn)真做好檢查記錄，建立物資控制機(jī)制。3.7、工序控制對關(guān)鍵部位和薄弱環(huán)節(jié)設(shè)置控制點，並實施具體的控制措施和辦法。施工過程中嚴(yán)格“三檢”制度，開展QC小組活動，做到“誰施工，誰負(fù)責(zé)”，“上道工序不合格不得轉(zhuǎn)入下道工序”。3.8、品質(zhì)檢驗及不合格產(chǎn)品的控制嚴(yán)格按照品質(zhì)檢驗規(guī)章制度，實行崗位責(zé)任制對不合格產(chǎn)品堅決返工，獎優(yōu)罰劣。3.9、核對總和試驗控制（1）對工程中的材料、半成品、零部件等必須做到件件檢查，件件合格才能使用。（2）施工品質(zhì)嚴(yán)格按合同規(guī)定的品質(zhì)檢驗評定標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行施工、檢查、評定。3.10、加強(qiáng)內(nèi)部的技術(shù)管理（1）圖紙會審。開工前，由技術(shù)部門組織專業(yè)人員對該工程和施工圖進(jìn)行會審，解決施工圖紙上存在的問題。提出詳細(xì)施工計畫、材料計畫、施工方案，並作好圖紙會審記錄。（2）技術(shù)交底。開工前，由有關(guān)技術(shù)人員進(jìn)行施工工藝規(guī)範(fàn)，技術(shù)品質(zhì)要求書面的詳細(xì)交底。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。常熟性價比高工業(yè)烤箱費用
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設(shè)備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監(jiān)控，可監(jiān)控進(jìn)入腔體的藥液量；氣體流量計（進(jìn)口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸?shù)絇LC.2、可實現(xiàn)自動調(diào)檔（拋檔內(nèi)容如上次郵件）、自動上、下機(jī)，配置霍尼韋爾條碼(可根據(jù)客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設(shè)定上限，保護(hù)被試品和試驗箱體）l電機(jī)過負(fù)荷熱繼電器（設(shè)定上限，保護(hù)電機(jī)過負(fù)荷）l逆向防止器（確保電機(jī)轉(zhuǎn)動方向正確）l動力電流保護(hù)器（設(shè)定上限，保護(hù)電路設(shè)備安全）四、附屬部品（交機(jī)時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現(xiàn)場性能確認(rèn)基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內(nèi)。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環(huán)境影響，少5個小時。l確認(rèn)在無負(fù)荷無試樣情況下進(jìn)行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。連云港半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司是以提供工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐為主的私營獨資企業(yè)，公司成立于2014-08-20，旗下HOTTSP，已經(jīng)具有一定的業(yè)內(nèi)水平。臺上品以工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐為主業(yè)，服務(wù)于機(jī)械及行業(yè)設(shè)備等領(lǐng)域，為全國客戶提供先進(jìn)工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐。臺上品將以精良的技術(shù)、優(yōu)異的產(chǎn)品性能和完善的售后服務(wù)，滿足國內(nèi)外廣大客戶的需求。