真空烘箱規(guī)格書(shū)一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實(shí)物3.控制器：位于機(jī)臺(tái)右側(cè)4.門(mén)：由左邊往右邊開(kāi)5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無(wú)污染8.爐門(mén)保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門(mén)條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.分層：分3層，3個(gè)不銹鋼烤盤(pán)10.門(mén)口裝不銹鋼方鋼框20T*W30精密送風(fēng)循環(huán)隧道烤箱。工業(yè)園區(qū)電子工業(yè)烤箱電話
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過(guò)對(duì)烘箱HMDS預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。太倉(cāng)重型工業(yè)烤箱服務(wù)半導(dǎo)體無(wú)塵烤箱MOL-2DS。
爐膛選擇(用戶可根據(jù)自己需要選用)：●陶瓷纖維爐膛（T系列）具有重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時(shí)等特點(diǎn)，能滿足各種快速燒結(jié)的要求，是傳統(tǒng)爐膛的升級(jí)換代產(chǎn)品。●耐火磚爐膛（N系列）選用傳統(tǒng)耐火材料，應(yīng)用范圍廣、壽命長(zhǎng)，性價(jià)比高等特點(diǎn)。技術(shù)參數(shù)：型號(hào)最高溫度（℃）爐膛尺寸W*P*H（mm）容積(L)電源輸入功率（KW）加熱原件高溫爐1000120×200×802L220V/50HZ2.5KW質(zhì)量電爐絲1000200×300×1207L220V/50HZ4KW質(zhì)量電爐絲1000250×400×16016L380V/50HZ8KW質(zhì)量電爐絲1000300×500×20030L380V/50HZ12KW質(zhì)量電爐絲
控制系統(tǒng)循環(huán)馬達(dá)及風(fēng)葉采用運(yùn)風(fēng)馬達(dá)，配多翼式風(fēng)輪，經(jīng)過(guò)動(dòng)平衡矯正及風(fēng)速靜壓之測(cè)試、共鳴之測(cè)試完成；采水平送風(fēng)循環(huán)方式，兩側(cè)吹風(fēng)，中間回風(fēng)，有效保證均溫。加熱管采用質(zhì)量電加熱器加熱?？諝饧訜岱绞?.由烘箱進(jìn)氣口進(jìn)風(fēng)至加熱器風(fēng)槽內(nèi)；2.空氣經(jīng)加熱后在烘箱內(nèi)部做循環(huán)運(yùn)風(fēng)，廢氣從排氣口排出。（外排風(fēng)管由客戶自備）控溫溫控器1.采用臺(tái)上品HOTTSP微電腦自動(dòng)演算單段溫控器，有PV與SV雙LED顯示功能；2.自帶PID自動(dòng)整定演算輸出，控制精細(xì)。超溫保護(hù)器1.采用超溫保護(hù)器；2.當(dāng)溫度超過(guò)超溫保護(hù)器設(shè)定值時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源。時(shí)間控制0~99.9小時(shí)可任意設(shè)定，時(shí)間到達(dá)后有報(bào)警并自動(dòng)停止加熱。加熱管控制采用SSR固態(tài)繼電器控制加熱器，節(jié)能效果佳，控溫效果更穩(wěn)定，性能更***。溫度傳感器采用K型熱電偶，測(cè)溫精細(xì)。時(shí)控開(kāi)關(guān)附一個(gè)時(shí)控開(kāi)關(guān)，可設(shè)置定時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī)。低壓電氣組件主要電器采用施耐德，日本歐姆龍中間繼電器。記錄儀配1臺(tái)國(guó)產(chǎn)6通道無(wú)紙記錄儀，有效記錄烘箱溫度。熱處理紅外平面隧道爐。
十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專(zhuān)業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開(kāi)關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路?？刂泼姘蹇刂泼姘灏惭b加熱開(kāi)關(guān)，送風(fēng)開(kāi)關(guān)、溫度控制器、故障報(bào)警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報(bào)警并可控制加熱器、馬達(dá)等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便?！蟛季€整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號(hào)?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。太倉(cāng)重型工業(yè)烤箱服務(wù)
VC均熱板輸送氣氛燒結(jié)爐。工業(yè)園區(qū)電子工業(yè)烤箱電話
1)外殼SUS304不銹鋼材質(zhì)，內(nèi)膽316L不銹鋼材料；采用不銹鋼加熱管，加熱管4個(gè)，總功率2650W,均勻分布在內(nèi)膽外壁，上下左右四面加熱，內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內(nèi)物品實(shí)驗(yàn)情況。無(wú)發(fā)塵材料，適用百級(jí)光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門(mén)閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動(dòng)控溫,定時(shí),超溫報(bào)警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡(jiǎn)單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時(shí)間。5)HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，使真空箱密封性能極好，確保HMDS氣體無(wú)外漏顧慮。工業(yè)園區(qū)電子工業(yè)烤箱電話
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司位于昆山市巴城鎮(zhèn)石牌中華路1083號(hào)，交通便利，環(huán)境優(yōu)美，是一家生產(chǎn)型企業(yè)。臺(tái)上品是一家私營(yíng)獨(dú)資企業(yè)企業(yè)，一直“以人為本，服務(wù)于社會(huì)”的經(jīng)營(yíng)理念;“誠(chéng)守信譽(yù)，持續(xù)發(fā)展”的質(zhì)量方針。公司業(yè)務(wù)涵蓋工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐，價(jià)格合理，品質(zhì)有保證，深受廣大客戶的歡迎。臺(tái)上品自成立以來(lái)，一直堅(jiān)持走正規(guī)化、專(zhuān)業(yè)化路線，得到了廣大客戶及社會(huì)各界的普遍認(rèn)可與大力支持。