4、技術(shù)參數(shù)：序號(hào)項(xiàng)目單位規(guī)格1砂芯烘乾烤爐結(jié)構(gòu)型式1座多層通過(guò)式2加熱能源，正英20萬(wàn)大卡天然氣3工件加熱方式熱風(fēng)4送風(fēng)方式不可調(diào)節(jié)風(fēng)管運(yùn)風(fēng)5烘乾時(shí)間min90(可調(diào))6總功率55Kw依據(jù)設(shè)計(jì)圖紙7有載升溫速度（20→150℃）min<508烘乾溫度℃環(huán)境溫度～150（可調(diào)）9溫度控制方式honeywell多組PID自動(dòng)獨(dú)立控制10廢氣處理方式活性炭吸附(選配)11傳動(dòng)方式大功率傳動(dòng)座12溫度控制honeywell數(shù)位式和機(jī)械式溫控儀13噪音dB（A）≤8514迴圈風(fēng)量m3/h依據(jù)設(shè)計(jì)圖紙五、配套設(shè)施說(shuō)明：1.設(shè)備土建基礎(chǔ)設(shè)施由甲方負(fù)責(zé)，乙方提供設(shè)備基礎(chǔ)圖紙。2.甲方負(fù)責(zé)施工現(xiàn)場(chǎng)的水電氣配套工作。3.甲方負(fù)責(zé)設(shè)備調(diào)試前把電、壓縮空氣、水等接到各設(shè)備用電、用氣點(diǎn)及用水點(diǎn)上，並派專人協(xié)調(diào)安裝調(diào)試工作。6.設(shè)備移交時(shí)，乙方需提供產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)、等技術(shù)資料。7.乙方負(fù)責(zé)無(wú)償培訓(xùn)甲方安排的操作維護(hù)人員至能正常操作及維護(hù)所提供設(shè)備。8.以上規(guī)化是設(shè)計(jì)構(gòu)思，具體定案后以圖紙和雙方負(fù)責(zé)人確定規(guī)格為準(zhǔn)。六、優(yōu)化改善：1.側(cè)拉式閘門（配啟用開(kāi)關(guān)）2.電控：人機(jī)+PLC（規(guī)範(fàn)配電）3.獨(dú)立電櫃厚板1.5T，IP54標(biāo)準(zhǔn)（防塵設(shè)計(jì)），雙門設(shè)計(jì)。工業(yè)烤箱***品牌生產(chǎn)廠家。吳中區(qū)工業(yè)工業(yè)烤箱電話
一、設(shè)備名稱：75寸老化烤箱二、設(shè)備型號(hào)： 三、設(shè)備用途：電子元件，電子玻璃等老化測(cè)試。五、溫度要求：5．1熱間有效范圍內(nèi)，溫控的控制精度正負(fù)5度，均溫性±5℃。5．2正常使用45度，六、設(shè)備能力:溫度到計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警。七、七、設(shè)備工作原理及組成描述：7.1工作原理：運(yùn)用大功率加熱器將空氣加熱，升溫到設(shè)定溫度后自動(dòng)保溫計(jì)時(shí)，時(shí)間到報(bào)警提示。7.2設(shè)備組成：75寸老化爐一臺(tái)。八、工藝流程8.1加熱流程1上料→2關(guān)門密封→3加熱升溫→4溫度到計(jì)時(shí)保溫→5保溫時(shí)間到報(bào)警→6斷電降溫→7開(kāi)門下料九、設(shè)備參數(shù)9-1.老化工件：名稱:電子元件，電子玻璃，電子陶瓷材料9-2.設(shè)備要求：設(shè)備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）75寸老化烤箱技術(shù)規(guī)格書(shū)質(zhì)量服務(wù)，設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個(gè)溫度正常使用45度，MAX60度。機(jī)臺(tái)體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效徐州省電工業(yè)烤箱維修高溫隧道固化爐高溫鼓風(fēng)干燥箱。
設(shè)備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量監(jiān)控，可監(jiān)控進(jìn)入腔體的藥液量；氣體流量計(jì)（進(jìn)口的ASERT，型號(hào)是0-4000SLM），通過(guò)通訊傳輸?shù)絇LC.2、可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)檔（拋檔內(nèi)容如上次郵件）、自動(dòng)上、下機(jī)，配置霍尼韋爾條碼(可根據(jù)客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過(guò)升防止器（設(shè)定上限，保護(hù)被試品和試驗(yàn)箱體）l電機(jī)過(guò)負(fù)荷熱繼電器（設(shè)定上限，保護(hù)電機(jī)過(guò)負(fù)荷）l逆向防止器（確保電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)方向正確）l動(dòng)力電流保護(hù)器（設(shè)定上限，保護(hù)電路設(shè)備安全）四、附屬部品（交機(jī)時(shí)附送）操作說(shuō)明書(shū)電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗(yàn)項(xiàng)現(xiàn)場(chǎng)性能確認(rèn)基本模式l溫度上升時(shí)間：室溫到150℃是55分鐘內(nèi)。l溫度下降時(shí)間及降溫是自然降溫，受外界環(huán)境影響，少5個(gè)小時(shí)。l確認(rèn)在無(wú)負(fù)荷無(wú)試樣情況下進(jìn)行。l六點(diǎn)測(cè)試位置（使用：日本橫河多點(diǎn)記錄儀）。
二.溫度范圍:1.使用溫度：10℃~50℃三．機(jī)器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測(cè)量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))配置風(fēng)路循環(huán)（手動(dòng)變頻調(diào)節(jié)）四.機(jī)械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時(shí)將爐內(nèi)廢氣排出，可調(diào)節(jié)大小。五.恒溫系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨(dú)系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無(wú)熔絲電源開(kāi)關(guān)，鐵線槽堅(jiān)固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護(hù)系統(tǒng):1.附有施耐德無(wú)熔絲保護(hù)開(kāi)關(guān).2.超溫控制超過(guò)設(shè)定最大值,自動(dòng)斷電.3.控制器超溫控制接點(diǎn)+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險(xiǎn)絲.主要用于 Wafer 基板，OVEN 主要是在制程中。
首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開(kāi)始充入氮?dú)?，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程，到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后，開(kāi)始保持一段時(shí)間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程。HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。精密雙室雙控送風(fēng)烤箱。常熟半導(dǎo)體工業(yè)烤箱維修
石墨烯應(yīng)用技術(shù)隧道爐。吳中區(qū)工業(yè)工業(yè)烤箱電話
3.4廢氣處理系統(tǒng)（選配）：採(cǎi)用活性碳吸咐法，活性炭吸附法是利用活性炭作為吸附劑，把氣體中的有害物質(zhì)成分在活性炭龐大的固相表面進(jìn)行吸附濃縮，從而達(dá)到淨(jìng)化廢氣目的的方法。（選配，更具具體的廢氣處理方式，可設(shè)計(jì)各種處理系統(tǒng)。）3.5安全系統(tǒng)：l在爐體上加裝維修安全門，安全門上安裝了保護(hù)裝置，當(dāng)有人進(jìn)入設(shè)備或是勿入設(shè)備內(nèi)部設(shè)備工作時(shí)，人員可以在近的維修安全門處開(kāi)門逃生。l在溫度控制上採(cǎi)用機(jī)械式和電子式T4M雙階層控制，安全可靠，以確保生產(chǎn)的安全性。l加熱器與送風(fēng)機(jī)連鎖，必須先打開(kāi)送風(fēng)風(fēng)機(jī)，才可以加熱。l廢氣排放（選配）：有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附處理，排出的廢氣符合國(guó)家《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297－1996標(biāo)準(zhǔn)。（選配）電控系統(tǒng)：控制櫃位於室體外部。溫控採(cǎi)用美國(guó)HONEYWELL燃控表，多段控溫。櫃內(nèi)安裝斷路器、接觸器、端子、空開(kāi)、延時(shí)器等電氣元件。櫃門上設(shè)置必要的操作器件、信號(hào)指示元件。操作器件包括控制回路電源開(kāi)關(guān)、啟動(dòng)及停止按鈕等。信號(hào)指示元件包括電源指示燈、運(yùn)行狀態(tài)指示燈、故障指示燈等。操作者一次設(shè)定便可分別完烤漆操作過(guò)程。吳中區(qū)工業(yè)工業(yè)烤箱電話
昆山臺(tái)上品工業(yè)自動(dòng)化有限公司發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大，現(xiàn)有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，各種專業(yè)設(shè)備齊全。致力于創(chuàng)造***的產(chǎn)品與服務(wù)，以誠(chéng)信、敬業(yè)、進(jìn)取為宗旨，以建HOTTSP產(chǎn)品為目標(biāo)，努力打造成為同行業(yè)中具有影響力的企業(yè)。公司以用心服務(wù)為重點(diǎn)價(jià)值，希望通過(guò)我們的專業(yè)水平和不懈努力，將非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、組裝、銷售、維修;加熱設(shè)備、通風(fēng)集成設(shè)備、電氣控制軟件硬件的研發(fā)、設(shè)計(jì)、銷售;電氣元器件及配件、電線電纜、機(jī)械設(shè)備、五金制品的銷售;建筑安裝工程，室內(nèi)室外裝飾工程;貨物及技術(shù)的進(jìn)出口業(yè)務(wù)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng))等業(yè)務(wù)進(jìn)行到底。自公司成立以來(lái)，一直秉承“以質(zhì)量求生存，以信譽(yù)求發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)理念，始終堅(jiān)持以客戶的需求和滿意為重點(diǎn)，為客戶提供良好的工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐，從而使公司不斷發(fā)展壯大。