無錫高溫工業(yè)烤箱行價

來源: 發(fā)布時間:2023-06-30

二.溫度范圍:1.最高溫度:60℃2.使用溫度:50℃三.機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內為準)配置熱風循環(huán)(手動變頻調節(jié))四.機械板金結構:1.內部材質:SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質:SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質:高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.烘干爐設有排氣系統(tǒng),及時將爐內廢氣排出爐外,可調節(jié)大小。五.加熱系統(tǒng):1.采用不銹鋼,均布式平面布局,保證均溫性.2.完全單獨系統(tǒng),不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關,鐵線槽堅固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風車指示燈,加熱指示燈…….七.安全保護系統(tǒng):1.附有施耐德無熔絲保護開關.2.超溫控制超過設定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險絲.氣氛老化烤箱加壓爐。無錫高溫工業(yè)烤箱行價

十、設備各部分配置10-1.數量1個溫度正常使用45度,MAX60度。機臺體結構內有效尺寸(W*H*D)材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛,巖棉保溫,具有升溫快,節(jié)能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈,抗腐蝕,便于清理3.外部采用冷板加烤漆,外觀整潔送風系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風,排風系統(tǒng),確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環(huán)溫度均勻,換熱迅速,廢氣帶出及時。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監(jiān)測,工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?!蠹訜峁懿馁|為,不銹鋼304加熱器。10-5.電器控制控制柜位于爐體的右側,內裝空氣開關、(日本歐姆龍)繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關,送風開關、溫度控制器、故障報警燈等。操作面板上可以設定所有的參數及控制狀態(tài);若不正常,有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應考慮維修方便?!蟛季€整齊,電線都放入線槽內;并標明線號。◇所有電線接頭用線耳方式銜接。高新區(qū)工業(yè)烤箱商家高溫隧道固化爐燒銀爐。

材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛,棉保溫,具有升溫快,節(jié)能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈,抗腐蝕,便于清理3.外部采用冷板加烤漆,外觀整潔送風系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風,排風系統(tǒng),確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環(huán)溫度均勻,換熱迅速,廢氣帶出及時。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監(jiān)測,工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?!蠹訜峁懿馁|為,不銹鋼304加熱器。材質1.爐膛采用全不銹鋼爐膛,棉保溫,具有升溫快,節(jié)能等特點2.不銹鋼爐膛內箱干凈,抗腐蝕,便于清理3.外部采用冷板加烤漆,外觀整潔送風系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風,排風系統(tǒng),確保爐膛溫度均勻。2.熱風循環(huán)溫度均勻,換熱迅速,廢氣帶出及時。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監(jiān)測,工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管?!蠹訜峁懿馁|為,不銹鋼304加熱器。

1)外殼SUS304不銹鋼材質,內膽316L不銹鋼材料;采用不銹鋼加熱管,加熱管4個,總功率2650W,均勻分布在內膽外壁,上下左右四面加熱,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置;采用鋼化、防彈雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。無發(fā)塵材料,適用百級光刻間凈化環(huán)境使用。2)箱門閉合松緊能調節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內保持高真空度。3)溫度采用微電腦PID控制,系統(tǒng)具有自動控溫,定時,超溫報警等,LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩(wěn)定可靠.4)智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,使真空箱密封性能極好,確保HMDS氣體無外漏顧慮。高溫中溫低溫箱式氣氛爐。

售后服務:u設備交付使用后供方無償提供為期一年的技術支持與服務,一年后供方繼續(xù)提供終身技術服務。u合同上面注明保修有效日期、覆蓋范圍以及賣方的聯(lián)系人。u保修期內外保證在接到用戶維修服務信息后8小時內趕到生產現(xiàn)場并采取措施解決問題

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HMDS預處理系統(tǒng)的原理:HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統(tǒng)的一般工作流程:首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為:打開真空泵抽真空,待腔內真空度達到某一高真空度后,開始充入氮氣,充到某低真空度后,再次進行抽真空、充入氮氣的過程,到達設定的充入氮氣次數后,開始保持一段時間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空,充入HMDS氣體,在到達設定時間后,停止充入HMDS藥液,進入保持階段,使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后,再次開始抽真空。充入氮氣,完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應機理如圖:首先加熱到100℃-200℃,去除硅片表面的水分,然后HMDS與表面的OH一反應,在硅片表面生成硅醚,消除氫鍵作,從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。無錫高溫工業(yè)烤箱行價

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