尾氣處理：多余的HMDS蒸汽（尾氣）將由底部真空泵抽出，背部1寸管路排除，品牌：慕泓DIM-4。排放到**廢氣收集管道。在無**廢氣收集管道時需做專門處理。設(shè)備配置試驗室用電源設(shè)備及注意事項電源：AC220V50Hz電壓允許變動范圍：額定值的±5%（但是可運行的范圍為±10%）（2）最大負荷容量：3KW（3）最大電流：15A（4）放置箱體時注意與墻面距離應(yīng)大于300mm。特別要求：文檔到指定的網(wǎng)絡(luò)路徑：透過txt或者csv拋檔案到ip位置路徑。然後他生產(chǎn)使用量監(jiān)控要求：通過流量計+電池閥延時控制，量化氣體，控制成本。剩馀量是從藥水那邊的液位監(jiān)控,低位報警。HMDS藥液流量需可卡控上下限，超出范圍報警提醒，機臺拋檔使用TXT格式，數(shù)據(jù)：HMDS藥劑流量，溫度、壓力、作業(yè)批號、作業(yè)人員工號、作業(yè)開始時間、結(jié)束時間、報警信息、制程信息。load/unload高度/方向：(上下貨放cassette在機臺上的高度/備注cassette放置于設(shè)備前方或左右側(cè)）芯片傳送方式：（具備cassetteincassetteout)上下貨門需要能自動感測開啟程序自動調(diào)檔：（當(dāng)cassette至于上貨平臺即能掃檔帶出該批貨的程序自動執(zhí)行）軟件支持SEMI自動化標(biāo)準(zhǔn)SECS/GEM通訊接口工業(yè)烤箱馳名品牌生產(chǎn)廠家。泰州半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
環(huán)境條件環(huán)境溫度-5℃-45℃相對濕度≤85%RH安裝場地烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供**的配電開關(guān)并負責(zé)設(shè)備外部的電源連接。周圍無強烈的振動和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒有導(dǎo)電性塵埃。沒有影響裝置使用的磁界及沒有沖擊和震動。電源AC380V±5%，50Hz三相五線其他保固期整機1年（天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費維修）。售后電話響應(yīng)時間1小時，售后服務(wù)到達到現(xiàn)場響應(yīng)時間為24小時。出貨檔機器規(guī)格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養(yǎng)，簡易故障的排除）。昆山工業(yè)工業(yè)烤箱雙門精密紅外線烤箱。
十、設(shè)備各部分配置10-1．?dāng)?shù)量1個溫度正常使用45度，MAX60度。機臺體結(jié)構(gòu)內(nèi)有效尺寸（W*H*D）材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，巖棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點溫度實時監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管。◇加熱管材質(zhì)為，不銹鋼304加熱器。10-5．電器控制控制柜位于爐體的右側(cè)，內(nèi)裝空氣開關(guān)、（日本歐姆龍）繼電器、等主控電器控制電路。控制面板控制面板安裝加熱開關(guān)，送風(fēng)開關(guān)、溫度控制器、故障報警燈等。操作面板上可以設(shè)定所有的參數(shù)及控制狀態(tài)；若不正常，有聲或光報警并可控制加熱器、馬達等停止工作。備注◇發(fā)熱管的安裝應(yīng)考慮維修方便。◇布線整齊，電線都放入線槽內(nèi)；并標(biāo)明線號?！笏须娋€接頭用線耳方式銜接。
六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3.電器組件：采用中國臺灣臺安與中國臺灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護系統(tǒng)1.高溫保護系統(tǒng)：當(dāng)由于外力原因?qū)е聹囟仁Э貢r，本系統(tǒng)會在超過設(shè)定溫度10度時自動停止加熱，從而保護你的產(chǎn)品及機器的安全。2.過流保護系統(tǒng)：當(dāng)由于外加電壓過高或其它原因?qū)е抡麢C的功率超出正常功率時，本系統(tǒng)會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。八、安裝場地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關(guān)并負責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品九、其它1.保固期：整機1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應(yīng)時間1小時，售后服務(wù)到達到現(xiàn)場響應(yīng)時間為24小時。2.出貨文件：機器規(guī)格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養(yǎng)，簡易故障的排除）。干燥爐及隧道爐生產(chǎn)廠家。
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。點膠預(yù)熱固化爐高溫精密烤箱 。高溫工業(yè)烤箱生產(chǎn)廠家
鏈網(wǎng)穿桿輸送隧道爐。泰州半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
二.溫度范圍:1.使用溫度：10℃~50℃三．機器精度:儀表控制精度:±0.3全刻度.溫度分布均勻度:±5~10℃.(空爐測量恒溫段有效區(qū)域內(nèi)為準(zhǔn))配置風(fēng)路循環(huán)（手動變頻調(diào)節(jié)）四.機械板金結(jié)構(gòu)：1.內(nèi)部材質(zhì)：SUS1.0t不銹鋼板.2.外部材質(zhì):SS41+粉體金屬漆。3.保溫材質(zhì):高溫耐熱巖棉(最高耐溫700℃)。4.設(shè)有排氣系統(tǒng)，及時將爐內(nèi)廢氣排出，可調(diào)節(jié)大小。五.恒溫系統(tǒng):1.采用不銹鋼，均布式平面布局，保證均溫性.2.完全單獨系統(tǒng)，不影響控制線路.六.電路控制系統(tǒng):1.PID溫度控制器。2.溫度傳感器采用KTYPE.3.無熔絲電源開關(guān)，鐵線槽堅固耐用.4.控制系統(tǒng)附電源燈、風(fēng)車指示燈，加熱指示燈…….七.安全保護系統(tǒng):1.附有施耐德無熔絲保護開關(guān).2.超溫控制超過設(shè)定最大值,自動斷電.3.控制器超溫控制接點+蜂鳴.4.控制線路電源加裝保險絲.泰州半導(dǎo)體工業(yè)烤箱市場
昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司在工業(yè)烤箱，鐘罩爐，推板爐，鏈條爐一直在同行業(yè)中處于較強地位，無論是產(chǎn)品還是服務(wù)，其高水平的能力始終貫穿于其中。臺上品是我國機械及行業(yè)設(shè)備技術(shù)的研究和標(biāo)準(zhǔn)制定的重要參與者和貢獻者。公司主要提供非標(biāo)自動化設(shè)備研發(fā)、設(shè)計、生產(chǎn)、組裝、銷售、維修;加熱設(shè)備、通風(fēng)集成設(shè)備、電氣控制軟件硬件的研發(fā)、設(shè)計、銷售;電氣元器件及配件、電線電纜、機械設(shè)備、五金制品的銷售;建筑安裝工程，室內(nèi)室外裝飾工程;貨物及技術(shù)的進出口業(yè)務(wù)。(依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動)等領(lǐng)域內(nèi)的業(yè)務(wù)，產(chǎn)品滿意，服務(wù)可高，能夠滿足多方位人群或公司的需要。臺上品將以精良的技術(shù)、優(yōu)異的產(chǎn)品性能和完善的售后服務(wù)，滿足國內(nèi)外廣大客戶的需求。