九、設備參數9-1.回火工件：名稱:五金零部件9-2.設備要求：設備電源:380V±10%/50Hz三相五線（接地接零）額定功率為30KW9-3.占地要求：設備整機尺寸：約W1767×D1560×H2317（mm）（配電柜在右側面）主機占地尺寸：約L3500×W2500（mm）廠房高度要求：約3.5米9-4.環(huán)境要求：空氣溫度：5～40℃相對濕度：≤80%十、設備各部分配置10-1．數量1個溫度正常使用500度，MAX600度。機臺體結構內有效尺寸層架結構，貴司現有設備樣式（見附件圖紙）材質保溫墻體為硅酸鋁棉隔熱材料，主體為冷板、鍍鋅板、不銹鋼材料組成。外板為SS415.0T&2.0T&1.5T電箱為SS411.2T其他材料為SUS1.0T&2.0T&3.0T不銹鋼。結構穩(wěn)固、耐用。送風系統(tǒng)方式采用電機帶動皮帶使風輪轉動&加長軸散熱系統(tǒng)。電機功率為1/2HP加熱系統(tǒng)溫控器YUDIAN自動數顯程序溫控器，溫控范圍：RT~500℃MAX600℃。加熱器◇箱體兩側安裝加熱管、加熱功率25KW?！蠹訜峁懿馁|為，耐高溫鎳鉻特制加熱器，耐溫1200度。自動無氧固化爐 JCAU-OVEN4-4&6。鎮(zhèn)江電子工業(yè)烤箱出售
三、設計思路：1、設計時嚴格按照國家有關勞動安全、衛(wèi)生及環(huán)保等方面的標準進行，如：涂裝作業(yè)安全性方面符合GB6514－1995、GB14444－93《涂裝作業(yè)安全規(guī)程噴漆室、烘干室安全技術規(guī)定》；涂裝作業(yè)衛(wèi)生性方面符合TJ36－79《涂裝作業(yè)安全規(guī)程》；環(huán)保方面符合GB16297－1996《大氣污染物綜合排放標準》、GB30986－93《城市區(qū)域環(huán)境噪聲標準》、GB12348－90《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲標準》。2、設備美觀大方，滿足產品使用要求，運行可靠，操作簡便，維護保養(yǎng)方便易行。設計時考慮經濟、實用，採用步進式生產方式，產能保證。3、選用的配套件、材料及電器元件均品質可靠，技術，其中關鍵配套件和材料均選用臺灣品牌、進口產品，確保設備的整體性能和品質。4、控制系統(tǒng)充分考慮系統(tǒng)相互之間的連鎖性，在溫度、系統(tǒng)阻力都採取了保護措施，避免設備事故發(fā)生。5、採用風路佈置管道的方式在步進式砂芯烘烤爐內達到均溫恒溫的目地。南京工業(yè)烤箱電話精密送風循環(huán)隧道烤箱。
一、設計依據：烘烤線設計說明：1.工件烘烤（1）爐體採用天然氣燃燒後進行加熱，爐體尺寸以托盤的工件尺寸規(guī)劃（2）爐體採用輥筒輸送，爐體加熱段設計連續(xù)烘烤。（3）爐體加熱段採用150°C，2.輸送爐輸送方式為載重型雙鏈滾筒輸送，滾筒表面鍍鋅處理。3.爐內滾筒輸送線總長：37米；動力分為6段，每段長度大約6.1左右。（動力分段以后續(xù)實際設計為準）4.傳動採用步進式驅動：電機配合減速機一體式；5.烤爐側板為巖棉板，價格低，施工快，120K,t=150mm，溫度為150度，熱風迴圈方式.5.加熱方式為燃氣燃燒機加熱。（日本正英公司是燃燒技術領域的企業(yè)之一，主要產品包括燃氣、燃油及雙燃料燃燒器及相關附件，功率范圍為12至17500千瓦。）二、設計目標：本步進式砂芯烘烤爐主要承擔工件的烘乾等工序作業(yè)，整個設備設計成熟在原先樣機的基礎上會做的更好，在有限的場地，能滿足客戶對於產能、溫度、時間的要求，同時工人操作條件安全良好，建成後可達到同期國內同類產品的先進水準。
HMDS預處理系統(tǒng)的原理：HMDS預處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。高溫隧道固化爐高溫鼓風干燥箱。
爐膛選擇(用戶可根據自己需要選用)：●陶瓷纖維爐膛（T系列）具有重量輕、升溫速度快、節(jié)能、省時等特點，能滿足各種快速燒結的要求，是傳統(tǒng)爐膛的升級換代產品?！衲突鸫u爐膛（N系列）選用傳統(tǒng)耐火材料，應用范圍廣、壽命長，性價比高等特點。技術參數：型號最高溫度（℃）爐膛尺寸W*P*H（mm）容積(L)電源輸入功率（KW）加熱原件高溫爐1000120×200×802L220V/50HZ2.5KW質量電爐絲1000200×300×1207L220V/50HZ4KW質量電爐絲1000250×400×16016L380V/50HZ8KW質量電爐絲1000300×500×20030L380V/50HZ12KW質量電爐絲雙門雙控烤箱SCMO-8WS。昆山工業(yè)烤箱服務
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安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日鎮(zhèn)江電子工業(yè)烤箱出售
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