皮拉尼型真空計(jì)在氣相沉積中的分類：?jiǎn)纹矸e工藝推動(dòng)并導(dǎo)致產(chǎn)生了新的CVD反應(yīng)室結(jié)構(gòu)。這些新的結(jié)構(gòu)中絕大多數(shù)都使用了等離子體，其中一部分是為了加快反應(yīng)過程，也有一些系統(tǒng)外加一個(gè)按鈕，以控制淀積膜的質(zhì)量。根據(jù)金屬源的自特性來保證它的分類，這些金屬的典型狀態(tài)是液態(tài)，在導(dǎo)入容器之前必須先將它氣化。通過調(diào)整淀積：蝕刻比率，有可能得到一個(gè)很好的縫隙填充工藝。皮拉尼真空計(jì)，又有翻譯派藍(lán)尼真空計(jì)。此種真空計(jì)屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。電阻真空計(jì)是全鋁合金殼體，他的外觀堅(jiān)固輕盈且美觀大方。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家
皮拉尼型真空計(jì)的分類：皮拉尼真空計(jì)，熱電偶真空計(jì)，熱敏電阻真空計(jì)，定電流式燈絲的溫度會(huì)隨著真空壓力的變化而變化，由于燈絲為高電阻溫度系數(shù)材料，燈絲的溫度的改變會(huì)導(dǎo)致燈絲電阻值發(fā)生變化，以電阻電橋的感測(cè)方式來測(cè)定電阻的改變就可以證明出真空壓力的變化。定電壓式當(dāng)感應(yīng)頭里的燈絲上維持一定的電壓時(shí)，燈絲的溫度會(huì)隨真空壓力而發(fā)生變化。以真空壓力變高時(shí)為例，此時(shí)熱傳導(dǎo)帶走的熱能增加，燈絲的溫度會(huì)下降，由于燈絲為高電阻溫度系數(shù)材料，燈絲的溫度變低會(huì)導(dǎo)致燈絲的電阻值上升，當(dāng)燈絲兩段的電壓不發(fā)生變化的時(shí)候，會(huì)使通過燈絲的電流降低，因此電流的減少也就證明出真空壓力增高。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家真空計(jì)具有簡(jiǎn)單、經(jīng)濟(jì)、使用方便等特點(diǎn)。
常見的真空計(jì)和真空部件：常見真空計(jì)有電阻真空計(jì)(皮拉尼真空計(jì))、熱電偶真空計(jì)、電容真空計(jì)、電離真空計(jì)、冷陰極電離真空計(jì)和全量程真空計(jì)等。其中冷陰極電離真空計(jì)又分為潘寧規(guī)、磁控管規(guī)和反磁控管規(guī)三種。全量程真空計(jì)是低真空計(jì)和高真空計(jì)的組合；電阻真空計(jì)量程寬，比較常用；熱電偶真空計(jì)量程窄，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，不易損壞；電容真空計(jì)測(cè)量值不受氣體種類的影響；電離真空計(jì)屬于高真空計(jì)，會(huì)發(fā)熱；冷陰極電離真空計(jì)屬于高真空計(jì)，不發(fā)熱，易維修；全量程真空計(jì)自動(dòng)量程切換，使用方便。
皮拉尼真空計(jì)的原理：利用電阻絲隨溫度的變化而電阻隨之變化的原理來測(cè)量的，而電阻絲溫度的變化又與其周圍氣體的熱導(dǎo)率有關(guān)。皮拉尼真空計(jì),也稱電阻式真空規(guī)。其工作原理是：真空度不同，單位體積內(nèi)的空氣分子數(shù)就不同，對(duì)于正在發(fā)熱的電阻絲帶走熱量的能力（散熱能力）就不同，電阻絲溫度就不同，因?yàn)殡娮杞z的電阻率是溫度的函數(shù)，所以不同的真空度就引起了電阻率的不同，則電阻就不同，電流在電阻絲上的壓降就不同，根據(jù)電壓的變化就能換算出空氣壓強(qiáng)，也就是測(cè)量真空度。實(shí)際的皮拉尼真空計(jì)一般做成四臂電橋，并有用于溫度補(bǔ)償?shù)碾娮杞z與其串聯(lián)。當(dāng)氣體分子平均自由程大于容器的線度時(shí)，電阻真空計(jì)的熱傳導(dǎo)系數(shù)正比于壓強(qiáng)。
皮拉尼真空計(jì)的特點(diǎn)：1.熱電偶真空計(jì)配用的傳感器抗沾污、抗氧化、結(jié)實(shí)、不怕氣流沖擊與振動(dòng)。2.重復(fù)性好。眾所周知，在工業(yè)應(yīng)用中，真空測(cè)量的重復(fù)性比側(cè)量精度更為重要。是用戶較關(guān)心的一個(gè)指標(biāo)。測(cè)試結(jié)果與應(yīng)用實(shí)例表明本真空計(jì)的重復(fù)性是工業(yè)應(yīng)用中較理想的中、低真空測(cè)量?jī)x器。3.測(cè)量范圍寬。國(guó)內(nèi)外熱偶真空計(jì)的測(cè)量范圍達(dá)到1-105Pa尚是一次出現(xiàn)。4.帶有兩組觸點(diǎn)輸出。既可作真空檢測(cè)，又可作真空監(jiān)控真空繼電器用。5.帶有斷絲報(bào)警。當(dāng)規(guī)管斷絲或規(guī)管電纜接觸不良，操作者能及時(shí)發(fā)現(xiàn)。焊接時(shí)，必須將真空計(jì)套在接頭上的密封圈取下。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家
真空計(jì)按測(cè)量性質(zhì)可分為真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家
電阻真空計(jì)選用須知：1在設(shè)備要求的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，真空計(jì)是否有足夠的測(cè)量精度；2被測(cè)氣體是否會(huì)對(duì)真空計(jì)造成損傷；3真空計(jì)是否會(huì)對(duì)被測(cè)真空環(huán)境造成影響；4真空計(jì)所測(cè)壓強(qiáng)是全壓還是分壓，是否已校準(zhǔn)，是否與氣體種類有關(guān)；5真空計(jì)能否實(shí)現(xiàn)連續(xù)測(cè)量，數(shù)值指示及反應(yīng)時(shí)間如何。除此之外，在選擇真空計(jì)時(shí)還會(huì)涉及到接口類型等。在多方面了解上述的幾方面內(nèi)容之后，就能知道如何選擇合適的真空計(jì)了。低溫的氣體分子碰撞高溫固體時(shí),會(huì)從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計(jì)算壓力的真空計(jì)被成為熱傳導(dǎo)真空計(jì)。熱傳導(dǎo)真空計(jì)主要被應(yīng)用于中低真空領(lǐng)域。嘉興壓敏真空表生產(chǎn)廠家
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