我們在進(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦順?biāo)定的。若測量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測的氣壓達(dá)到300Pa。為了對電阻真空計(jì)在測量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測量。在使用之前，先將真空排氣管向上拎起，讓真空表放在下面。寧波皮拉尼真空表多少錢
對于使用進(jìn)口電阻真空計(jì)時(shí)如何保證測量吸氣劑放氣量的精度這一問題進(jìn)行了探索。首先通過對膨脹法標(biāo)準(zhǔn)裝置的改進(jìn)、提高極限真空、提高靜態(tài)保持的真空度、改進(jìn)取氣方法等項(xiàng)措施,提高了校準(zhǔn)精度。使校準(zhǔn)誤差控制在不大于±10%以內(nèi)。同時(shí)又討論了測量時(shí)的環(huán)境溫度、氣體種類、真空計(jì)的靈敏度、熱絲的污染等因素對儀器測量精度的影響和消除方法。薄膜電阻真空計(jì)的測量范圍為1托～1000托,線性測量,測量精度優(yōu)于5%,為全壓強(qiáng)測量,測量值受被測氣體種類影響較小，引言利用集成電路平面工藝在硅膜片上制作四個(gè)等值電阻,組成惠斯登電橋。濱州單路電阻真空計(jì)批發(fā)價(jià)格真空計(jì)傳感器通?？捎卯惐记逑?。
在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計(jì)在運(yùn)輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的，請?jiān)谡婵沼?jì)安置之后，與真空系統(tǒng)相連時(shí)再作抽出（請別丟棄，以后送維修時(shí)，還需塞緊后寄回）。對于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計(jì)，采用羅栓作固定的安裝時(shí)必須保證真空計(jì)與水平面的垂直度，采用支撐式或帶杠桿的請將三根支撐桿一一擰上（杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿），選擇一個(gè)適合擺放支撐真空計(jì)的平臺(tái)面，安置好真空計(jì)。當(dāng)測量完畢后，應(yīng)及時(shí)的關(guān)閉真空計(jì)與測量系統(tǒng)之間的閥門，將手輪退到擰不動(dòng)為止，把杠桿退還到起始位置即可。
如果兩側(cè)壓強(qiáng)差很大，則隔膜可能發(fā)生永玖變形甚至破損。通常情況下，為了防止隔膜過度變形，在電極和隔膜之間施加直流電壓，通過靜電引力使隔膜不發(fā)生變形。通過測量直流電壓值，即可知壓強(qiáng)，這種真空計(jì)被稱為單電容隔膜真空計(jì)。在隔膜兩側(cè)分別設(shè)置電極而實(shí)現(xiàn)的差動(dòng)式雙電容隔膜真空計(jì)，進(jìn)一步提高了測量精度和范圍。隔膜材料通常使用厚度為幾十微米的因科內(nèi)爾鉻鎳鐵合金。為避免腐蝕氣體的腐蝕，也有使用陶瓷隔膜的產(chǎn)品。電容式隔膜真空計(jì)測量的真空度與氣體成分無關(guān)，反應(yīng)快、重復(fù)性高，非常適合于氧氣及油蒸氣等特殊環(huán)境的真空測量。若是采用掛壁式的必須用羅栓作固定，安裝時(shí)必須保持真空計(jì)與水平面的垂直度。
眾所周知，真空計(jì)具有簡單、經(jīng)濟(jì)、使用方便等特點(diǎn)，在中真空以至低真空測量中都占有重要的地位。然而，我們發(fā)現(xiàn)它的規(guī)管雖然簡單，但由于絲細(xì)而長比較脆弱，經(jīng)不起振動(dòng)和氣流沖擊，同時(shí)絲表面對污染較為敏感，即使采用白金絲或鍍金鎢絲，穩(wěn)定性仍然很差。電阻真空計(jì)屬熱導(dǎo)真空計(jì)，產(chǎn)生于1906年，但只是在40年代解決了細(xì)絲焊接問題之后，它才得到實(shí)際應(yīng)用。由于它相對皮氏計(jì)而言，更為簡單、可靠，在許多地方代替了皮氏計(jì)。不過，迄今為止，商售熱偶真空計(jì)單限于定流式一種，一般測盆上限單為100Pa。電阻真空計(jì)，基于定溫和對流原理，采用穩(wěn)定型熱偶真空規(guī)管和現(xiàn)代電子器件，成功地把測量上限擴(kuò)展至大氣壓，并彌補(bǔ)了皮氏計(jì)的不足之處，為熱導(dǎo)真空計(jì)的廣泛應(yīng)用開拓了新的前景。在數(shù)字真空計(jì)的使用過程中，影響電子真空計(jì)工作的常見問題是傳感器污染。煙臺(tái)數(shù)字電阻真空計(jì)售價(jià)
主要的真空計(jì)分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。寧波皮拉尼真空表多少錢
皮拉尼電阻真空計(jì)是一種低真空測量儀器。該儀器由定溫式電阻真空計(jì)組成，用于測量低真空。其使用范圍在1.0×105 ~ 1.0×10-1Pa。儀器采用真空規(guī)管作為傳感器。穩(wěn)定性好，不易損壞。儀器采用微處理機(jī)完成測量數(shù)據(jù)的采集和處理。具有自動(dòng)非線性參數(shù)修正和誤差補(bǔ)償功能，并采用了光電隔離、數(shù)字濾波、防高電壓沖擊等技術(shù)，提高了測量精度及抗干擾能力，特別對于電子束、離子束以及弧放電等強(qiáng)干擾源都有非凡的抗干擾能力。每臺(tái)真空計(jì)均設(shè)置有兩組繼電器輸出接口，用來實(shí)現(xiàn)真空度定值點(diǎn)和區(qū)域的控制。定值點(diǎn)及區(qū)域可方便自由設(shè)定，該儀器控制面板更人性化，操作更方便，開電源即可工作。本機(jī)線路設(shè)計(jì)合理，制作工藝考究，采用了整板設(shè)計(jì)，波峰焊接。其軟件編排獨(dú)特，算法先進(jìn)，使儀器的測量與控制穩(wěn)定可靠。寧波皮拉尼真空表多少錢
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