隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件，就隔膜真空計(jì)本身而言，根據(jù)其測(cè)量原理以及量程，精度，組織構(gòu)造，分為很多種類型，這給實(shí)際使用中的隔膜真空計(jì)選型帶來(lái)了一定的難度，本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路，兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計(jì)種類。對(duì)于每一個(gè)等級(jí)內(nèi)的真空度，較佳的測(cè)量?jī)x器是不一樣的，具體來(lái)說(shuō)，若處于中低真空的范圍，通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計(jì)，若處于高真空或者超高真空的范圍，則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是，皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測(cè)量誤差較大，且對(duì)氣體種類敏感，因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上，或者過(guò)程中對(duì)這個(gè)區(qū)域的真空度需要監(jiān)控，而且要求測(cè)量精度很高，則不宜選擇單純的皮拉尼隔膜真空計(jì)，可以考慮皮拉尼與膜片電容復(fù)合的隔膜真空計(jì)。電阻真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能連續(xù)測(cè)量、可以測(cè)量總壓強(qiáng)、使用方便。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話
我們?cè)谶M(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測(cè)量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦?lái)標(biāo)定的。若測(cè)量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測(cè)量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測(cè)量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測(cè)的氣壓達(dá)到300Pa。為了對(duì)電阻真空計(jì)在測(cè)量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測(cè)量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件。
在真空裝置自動(dòng)控制中，往往要進(jìn)行真空測(cè)量，由于真空裝置種類繁多、工作壓力范圍也不盡相同，因此，從100000-0.00001的各個(gè)真空區(qū)域的真空測(cè)量均會(huì)遇到。通常使用的真空計(jì)有電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、電容薄膜真空計(jì)、電離真空計(jì)、超高真空計(jì)等。為了拓展真空計(jì)的功能，真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測(cè)、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此，一個(gè)配置齊全的真空計(jì)，不單能進(jìn)行真空度測(cè)量、數(shù)字顯示、量程自動(dòng)切換、誤差自動(dòng)修正，而且能在壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)出控制信號(hào)去進(jìn)行壓力控制，按設(shè)定壓力值進(jìn)行壓力自動(dòng)調(diào)節(jié)，還能將測(cè)量值打印記錄，并與上位機(jī)進(jìn)行通信聯(lián)系，甚至還能進(jìn)行遠(yuǎn)距離真空測(cè)童與控制。
測(cè)量時(shí)壓力計(jì)旋轉(zhuǎn)至直立狀應(yīng)緩慢進(jìn)行，真空計(jì)使用完畢應(yīng)立即回復(fù)橫臥狀態(tài)，橫臥過(guò)程中可能出現(xiàn)小?；瘜W(xué)物質(zhì)珠滯塞于玻璃容器入口處，可將壓力計(jì)略為倒轉(zhuǎn)收回化學(xué)物質(zhì)珠。運(yùn)輸和使用不慎會(huì)導(dǎo)致化學(xué)物質(zhì)珠進(jìn)入并粘附于中間玻璃毛細(xì)管，可用機(jī)械真空泵對(duì)真空計(jì)抽氣，并往復(fù)擺動(dòng)真空計(jì)，使化學(xué)物質(zhì)珠回流。仍未見(jiàn)效，則可在抽氣同時(shí)對(duì)化學(xué)物質(zhì)珠上端玻璃管加微熱，利用空氣受熱膨脹使化學(xué)物質(zhì)珠回流。麥?zhǔn)险婵沼?jì)使用完畢應(yīng)將橡皮管扎緊，先關(guān)閉真空閥再關(guān)閉真空泵，以防真空泵內(nèi)的油進(jìn)入真空計(jì)和真空系統(tǒng)。要保持化學(xué)物質(zhì)的純度，化學(xué)物質(zhì)受污染會(huì)影響測(cè)量的精度。麥?zhǔn)险婵沼?jì)短期內(nèi)不使用，可用鐵扎頭扎緊橡皮管，用紗布拭去橡皮管的油脂，再用塞頭堵塞內(nèi)經(jīng)，置于干燥、通風(fēng)、避光處保存。代表性的熱傳導(dǎo)真空計(jì)包括Pirani真空計(jì)和熱電偶真空計(jì)。
如果你的被測(cè)真空系統(tǒng)達(dá)不到5PA以上的低真空度時(shí)，請(qǐng)選擇壹臺(tái)能抽到0.1PA以上的2X或2XZ型的真空泵對(duì)真空計(jì)單獨(dú)進(jìn)行一次真空排氣，當(dāng)真空計(jì)能顯示出5PA的以上真空度數(shù)時(shí)，再讓真空計(jì)與被檢測(cè)的真空系統(tǒng)進(jìn)行相互聯(lián)接，若采用真空橡膠管相連的請(qǐng)將膠管的長(zhǎng)度縮短到50公分以內(nèi)，當(dāng)然，若真空計(jì)與真空系統(tǒng)配套的話，先用￠6MM的紫銅管與真空計(jì)銅接嘴相互焊接，與真空系統(tǒng)之間配置一個(gè)可以控制的閥門，它對(duì)真空計(jì)的使用壽命來(lái)說(shuō)，會(huì)得到更好的保障。通過(guò)被氣體分子奪取的熱量來(lái)計(jì)算壓力的真空計(jì)會(huì)成為熱傳導(dǎo)真空計(jì)。西安指針式真空表廠家電話
當(dāng)電阻真空計(jì)測(cè)得值與電容真空計(jì)測(cè)得值接近時(shí)可以判斷一次干燥過(guò)程結(jié)束。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話
實(shí)用的電阻真空計(jì)測(cè)量線路常采用惠氏電橋或文氏電橋。根據(jù)測(cè)量熱絲電阻變化的方法不同，可分為三種模式：(1)定電壓法：保持電橋兩端電壓不變，觀察失平衡電流與壓力的關(guān)系。(2)定電流法：保持熱絲電流(或電橋電流)不變，觀察失平衡電壓與壓力的關(guān)系。(3)定電阻法(即定溫度法)：在任何壓力下都用改變電橋電壓的方法，保持電橋于平衡狀態(tài)。電橋電壓與壓力的關(guān)系即為校準(zhǔn)曲線。在此方法中，熱絲電阻及其溫度基本為定值，具有熱輻射及邊桿導(dǎo)熱均為恒定的優(yōu)點(diǎn)。在以上三種模式中，常用的是定電壓法和定溫度法。寧波數(shù)字電阻真空表廠家電話
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