真空計分類：(1)放電管指示器：利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質(zhì)判定真空度，一般單能作為定性測量。(2)粘滯真空計：利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計。(3)場致顯微儀：以吸附和解吸時間與壓力關系計算壓力。(4)分壓力真空計：利用質(zhì)譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質(zhì)譜計、回旋質(zhì)譜計和射頻質(zhì)譜。如：熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。熱偶真空計的故障和處理方法：利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)和薄膜電容規(guī)。聊城指針式熱偶真空計
熱偶真空計年檢校準的基本要求校準應滿足的基本要求如下：1)環(huán)境條件校準如在檢定(校準)室進行，則環(huán)境條件應滿足實驗室要求的溫度、濕度等規(guī)定。校準如在現(xiàn)場進行，則環(huán)境條件以能滿足儀表現(xiàn)場使用的條件為準。2)儀器作為校準用的標準儀器其誤差限應是被校表誤差限的1/3~1/10。3)人員校準雖不同于檢定，但進行校準的人員也應經(jīng)有效的考核，并取得相應的合格證書，只有持證人員方呆出具校準證書和校準報告，也只有這種證書和報告才認為是有效的。熱偶真空計校準可以找地方計量所或者第三方校準單位，如上海計量所、廣東計量所、蘇州計量校準網(wǎng)等，前提都必須得有國家辦法的CNAS計量資質(zhì)。溫州指針式熱偶真空表售價熱偶真空計須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件使用，消除溫度不同對膜片力學的影響，使用前一般需要預熱數(shù)小時。
熱電偶式真空計是怎么回事？熱電偶式真空計的測量原理是基于加熱絲周圍氣體的導熱率與氣體的稀薄程度(真空度)之間所存在的依賴關系。當真空計與被測真空系統(tǒng)相接之后，隨著真空度的提高，加熱絲附近氣體逐漸變得稀薄，氣體分子平均自由程加大，共導熱率降低。由于加熱電流恒定，加熱絲所產(chǎn)生的熱量也巨免但通過氣體熱傳導散失的熱量卻因?qū)Ь翊慕档投鴾p少，因此加熱絲的溫度升高。通過熱電憫將這種溫度的變化轉(zhuǎn)換成熱電勢變化，送顯示儀表指示或記錄，并直接以真空度刻度顯示讀數(shù)。
熱傳導真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù)，故熱絲的溫度隨壓強而變化。如用一附加的熱偶測量熱絲的溫度，則這種規(guī)頭稱為熱偶規(guī)；如利用熱絲本身的電阻值來反映溫度，則稱電阻規(guī)或皮喇尼規(guī)。氣體熱傳導只在低壓強(P<100帕)下隨壓強變化，而低至10-1帕時氣體熱傳導又不是主要的散熱方式，因此熱傳導真空計主要用于100～10-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關，而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。熱電偶真空計的總結要素：是帶有斷絲報警的。
數(shù)字熱偶真空計特征：利用氣體分子的熱傳導現(xiàn)象，可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線溫度同時,也受到細線本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單，價格低廉。另外此真空計在大氣壓狀態(tài)下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出，因此在自動控制方面容易控制。數(shù)字熱偶真空計的故障排除：當儀表顯示《———》時，表示未接真空規(guī)管；纜線接觸不良；規(guī)管損壞。檢查規(guī)管是否損壞可用萬用表測量，規(guī)管四腳之間應有10?左右電阻。如果在調(diào)整時失誤，儀表不能正常測量，或者由于電磁干擾，出現(xiàn)程序錯誤，都需要恢復程序。恢復程序：關電源，按住《確認》鍵，再開電源，程序即可恢復。熱偶真空計的故障判斷與維修：熱偶規(guī)管燈絲斷路或規(guī)管連接電纜部分斷路，維修方法：更換指示表。淄博便攜式熱偶真空計
一體化微型熱偶真空計工作環(huán)境溫度可達0～45℃,外形尺寸為100mm×60mm×45mm。聊城指針式熱偶真空計
電離真空計：簡稱電離計，利用氣體電離的原理來測量壓強。電離真空計分為熱陰極和冷陰極兩大類。熱陰極電離真空計的規(guī)頭中通常有三個電極，即陰極、陽極和收集極，分別起發(fā)射電子、加速電子和收集離子的作用。電子從陰極向陽極運動的過程中使氣體電離，如果忽略二次電離效應（指電離過程中產(chǎn)生的新電子受電場加速又獲得電離能力并引起新的電離），每個從陰極發(fā)出的電子所產(chǎn)生的正離子數(shù)和空間的氣體密度成正比，因此在一定溫度下和壓強成正比。聊城指針式熱偶真空計
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