真空鍍膜設(shè)備真空裝置自動(dòng)控制中,往往要進(jìn)行真空測(cè)量,由于真空裝置種類(lèi)繁多、工作壓力范圍也不盡相同,因此,從105Pa—10-5Pa各真空區(qū)域的真空測(cè)量塢會(huì)遇到。通常使用的真空計(jì)有電阻真空計(jì)、熱偶真空計(jì)、電容薄膜真空計(jì)、電離真空計(jì)、超高真空計(jì)等。為了拓展真空計(jì)的功能,真空儀器廠家還生產(chǎn)包括遙控遙測(cè)、模擬量輸出、RS - 232C等通信接口、壓力調(diào)節(jié)等功能模塊板供用戶選配。因此,一個(gè)配置齊全的真空計(jì),不單能進(jìn)行真空度測(cè)量、數(shù)字顯示、量程自動(dòng)切換、誤差自動(dòng)修正,而且能在壓力設(shè)定點(diǎn)發(fā)出控制信號(hào)去進(jìn)行壓力控制,按設(shè)定壓力值進(jìn)行壓力自動(dòng)調(diào)節(jié),還能將測(cè)量值打印記錄,并與上位機(jī)進(jìn)行通信聯(lián)系,甚至還能進(jìn)行遠(yuǎn)距離真空測(cè)量與控制。主要的真空計(jì)分為三大類(lèi),分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。衢州單路電阻真空表批發(fā)廠家
我們?cè)谶M(jìn)等離子體化學(xué)氣相沉積硬膜實(shí)驗(yàn)中采用了間接測(cè)量壓力的ZDZ型電阻真空計(jì),這種真空計(jì)是用氮?dú)鈦?lái)標(biāo)定的。若測(cè)量系統(tǒng)中有其他氣體存在時(shí),測(cè)量誤差大,直接影響到試驗(yàn)的準(zhǔn)確性。在氮?dú)怏w流量為100sccm時(shí),用ZDZ型電阻真空計(jì)測(cè)量的氣壓約為20Pa,而氫氣流量為100sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為50Pa;在氮?dú)饬髁繛?00sccm時(shí),所測(cè)的氣壓約為65Pa,而在氫氣流量為500sccm時(shí),所測(cè)的氣壓達(dá)到300Pa。為了對(duì)電阻真空計(jì)在測(cè)量不同氣體時(shí)的氣壓進(jìn)行標(biāo)定,我們采用直接測(cè)量的麥克勞真空計(jì)作為標(biāo)準(zhǔn),對(duì)不同流量的氫氣、氮?dú)?、氬氣和甲烷氣分別用電阻真空計(jì)和麥克勞真空計(jì)進(jìn)行測(cè)量。紹興指針式真空表批發(fā)價(jià)格數(shù)顯隔膜真空計(jì)靈活可設(shè)置的方式為用戶帶來(lái)了很大的便利和適用性。
隔膜真空計(jì)是用于系統(tǒng)中檢測(cè)腔體或管道壓力的關(guān)鍵元器件,就隔膜真空計(jì)本身而言,根據(jù)其測(cè)量原理以及量程,精度,組織構(gòu)造,分為很多種類(lèi)型,這給實(shí)際使用中的隔膜真空計(jì)選型帶來(lái)了一定的難度,本文旨在提供一種統(tǒng)一的選型思路,兩步法快速幫助您快速定位所需的隔膜真空計(jì)種類(lèi)。對(duì)于每一個(gè)等級(jí)內(nèi)的真空度,較佳的測(cè)量?jī)x器是不一樣的,具體來(lái)說(shuō),若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼電阻規(guī)隔膜真空計(jì),若處于高真空或者超高真空的范圍,則只能選擇電離規(guī)。需要注意的是,皮拉尼電阻規(guī)原理特性決定其在靠近大氣端測(cè)量誤差較大,且對(duì)氣體種類(lèi)敏感,因此若設(shè)備的工作真空度在10^3Pa以上,或者過(guò)程中對(duì)這個(gè)區(qū)域的真空度需要監(jiān)控,而且要求測(cè)量精度很高,則不宜選擇單純的皮拉尼隔膜真空計(jì),可以考慮皮拉尼與膜片電容復(fù)合的隔膜真空計(jì)。
在抽氣管內(nèi)塞入的鋼針及橡皮頭均是用于防止真空計(jì)在運(yùn)輸途中化學(xué)物質(zhì)流失用的,請(qǐng)?jiān)谡婵沼?jì)安置之后,與真空系統(tǒng)相連時(shí)再作抽出(請(qǐng)別丟棄,以后送維修時(shí),還需塞緊后寄回)。對(duì)于您選擇的掛壁或帶杠桿式的真空計(jì),采用羅栓作固定的安裝時(shí)必須保證真空計(jì)與水平面的垂直度,采用支撐式或帶杠桿的請(qǐng)將三根支撐桿一一擰上(杠桿式的在左側(cè)還配有一根平衡桿),選擇一個(gè)適合擺放支撐真空計(jì)的平臺(tái)面,安置好真空計(jì)。當(dāng)測(cè)量完畢后,應(yīng)及時(shí)的關(guān)閉真空計(jì)與測(cè)量系統(tǒng)之間的閥門(mén),將手輪退到擰不動(dòng)為止,把杠桿退還到起始位置即可。在數(shù)字真空計(jì)的使用過(guò)程中,影響電子真空計(jì)工作的常見(jiàn)問(wèn)題是傳感器污染。
采用電阻真空計(jì)真空傳感器,可以準(zhǔn)確測(cè)量真空度,實(shí)時(shí)監(jiān)控真空系統(tǒng)的真空度。安全操作說(shuō)明:在進(jìn)行測(cè)量時(shí),應(yīng)遵循使用操作說(shuō)明,在說(shuō)明書(shū)參數(shù)范圍內(nèi)使用本儀器。當(dāng)電量不足時(shí),應(yīng)及時(shí)更換新電池,新舊電池,不同品牌的電池不能混合使用,長(zhǎng)時(shí)間不用時(shí),應(yīng)取出電池。不要使用腐蝕性清潔劑或溶劑清潔本儀器。戴好護(hù)目鏡和防護(hù)手套。傳感器清理:在使用過(guò)程中,傳感器可能被雜質(zhì)污染,此時(shí)需要清潔傳感器,具體步驟如下:使真空計(jì)關(guān)機(jī),并取出電池。用滴管或針筒把或酒精注入傳感器室內(nèi),反復(fù)清洗3-4次。電阻真空計(jì)的優(yōu)點(diǎn)在于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能連續(xù)測(cè)量、可以測(cè)量總壓強(qiáng)、使用方便。泰安指針式真空計(jì)報(bào)價(jià)
電容式隔膜真空計(jì)測(cè)量的真空度與氣體成分無(wú)關(guān)。衢州單路電阻真空表批發(fā)廠家
熱導(dǎo)式真空計(jì)測(cè)量值跟氣體成分有關(guān),在相同的真空壓力條件下,水蒸氣的熱導(dǎo)率是氮?dú)獾?.6倍,因此在一次干燥過(guò)程當(dāng)中,電阻真空計(jì)測(cè)得值比電容真空計(jì)測(cè)得值高約為60%。在接近一次升華干燥終點(diǎn)時(shí),凍干箱內(nèi)部水蒸氣逐漸減少,不凝性氣體(以氮?dú)鉃橹鳎┲饾u增多,因此電阻真空計(jì)測(cè)得壓力值隨著一次干燥過(guò)程的進(jìn)行,逐漸在減小。當(dāng)電阻真空計(jì)測(cè)得值與電容真空計(jì)測(cè)得值接近時(shí)可以判斷一次干燥過(guò)程結(jié)束。但是由于電阻真空計(jì)自身存在的一些性能缺點(diǎn),限制了該方法的使用。電阻真空計(jì)易出現(xiàn)老化現(xiàn)象,使其性能降低;電阻真空計(jì)有較大的熱慣性,壓強(qiáng)改變時(shí),其讀數(shù)會(huì)滯后一些時(shí)間;其受外界溫度的影響較大,必須安裝于不易受輻射或?qū)α鳠嵊绊懙牡胤?。衢州單路電阻真空表批發(fā)廠家
上海家君真空儀表制造有限公司坐落在長(zhǎng)逸路88號(hào)-34,是一家專業(yè)的我司主營(yíng)經(jīng)營(yíng):真空儀器、玻璃儀器、儀表儀器制造、維修;高頻電火花撿漏,制冷;表牌制作;真空泵,擴(kuò)散泵、五金交電、裝潢材料、建材、五金電器銷(xiāo)售;真空測(cè)試?!疽婪毥?jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)應(yīng)活動(dòng)】公司。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。公司業(yè)務(wù)范圍主要包括:麥?zhǔn)险婵沼?jì),熱偶真空計(jì),電阻真空計(jì),真空泵等。公司奉行顧客至上、質(zhì)量為本的經(jīng)營(yíng)宗旨,深受客戶好評(píng)。公司憑著雄厚的技術(shù)力量、飽滿的工作態(tài)度、扎實(shí)的工作作風(fēng)、良好的職業(yè)道德,樹(shù)立了良好的麥?zhǔn)险婵沼?jì),熱偶真空計(jì),電阻真空計(jì),真空泵形象,贏得了社會(huì)各界的信任和認(rèn)可。