高精密儀器隔振臺技術服務

來源: 發(fā)布時間:2020-12-31

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝,這一點很重要取向!LFS控制單元上的每個D-Sub15插座都有4個對應于AVI的開關輸出以任意4個矩形方向(即平行或成直角)放置的元素。不允許其他方向。


為確保連接正確,請按照下列步驟操作:

面向LFS傳感器的藍色LED站立。 將***個AVI元素連接到以下任意一個后面板上的12個D-Sub15插座。用筆滑動開關在位置A和D之間。



所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開關位置對于獲得良好的性能至關重要隔離。



LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz。高精密儀器隔振臺技術服務

支撐面測試

在系統(tǒng)運行時,推動支撐表面。 燈不亮,除了可能會大力推動。 如果可以輕松使燈點亮,則支撐表面剛度不足以獲得充分的性能。 確定支撐表面是否起反應對水平或垂直力施加更大的作用,并嘗試適當?shù)厥菇Y構變硬。請注意,該系統(tǒng)將在任何支撐表面上運行,但會產(chǎn)生共振的柔軟結構放大某些建筑物的振動頻率,因此這些振動頻率會降低隔離的。



桌面選擇

桌面必須足夠堅硬,以防止兩個隔離單元相對旋轉他們的長橫軸。 蜂窩面包板或30mm厚的鋁板會產(chǎn)生比較好的結果,但是可以使用石板甚至是實心木板。 對于的位置固定孔,請參閱本文檔末尾的鉆孔計劃。注意,也可以將隔離單元直接連接到支持的設備上。 在這堅固的安裝是***必要的。 我們很樂意為您提供比較好安裝建議方法。


蔡司電子顯微鏡隔振臺電子顯微鏡ATM示波器上顯示的多路復用信號顯示有無隔離的振動水平-*用于診斷目的。

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應器

LFS-3性能

LFS-3感應器測試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。

LFS-3性能使用測振儀的V檔并有50公斤的重量下測試的。

LFS-3性能使用測振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測試的。


AVI主動隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎研究、應用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計、微檢測設備等提供極好的隔振效果。

傳感器LFS-3有一個單獨的電源,通過D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個單獨的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實際位置并不重要,但它當然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座(診斷插座)連接到傳感器

設置并將電源連接到傳感器后,系統(tǒng)即可使用。

按下電源上的電源旋鈕,打開電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開始閃爍,這意味著存在一些振動。現(xiàn)在您可以通過按下啟用按鈕來啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應該再亮了。如果它們亮了,那意味著系統(tǒng)超載,建筑物內(nèi)的振動太嚴重。 在納米技術的時代,極之微細的振動已對搜索結果造成極大的影響,必須改善測量環(huán)境。

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz 傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標準AVI / LP系統(tǒng)結合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。 LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI / LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。


將傳感器連接到AVI /系統(tǒng)?

傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。 用D-Sub 25將電源連接到傳感器電纜。

每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的 LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub 15插座連接到傳感器。


在過去的40年,HERZ發(fā)展成為被動式隔振設備的領頭供應商 ,并在此領域積累了豐富的經(jīng)驗。**隔振裝置隔振臺高性價比選擇

振動分析系統(tǒng)VA-2C是帶有遠程測量頭的系統(tǒng),可輕松測量三個正交方向上的加速度,速度或位移。高精密儀器隔振臺技術服務

AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數(shù)量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI

600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-S的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 600-S緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。


技術指標:

頻率:  1.2-200 Hz

負載范圍:  0-1200公斤

(單個): 600公斤 高精密儀器隔振臺技術服務

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