三維輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用

一、從根源保障物件成品的準(zhǔn)確性：

通過(guò)光學(xué)表面三維輪廓儀的掃描檢測(cè)，得出物件的誤差和超差參數(shù)，**提高物件在生產(chǎn)加工時(shí)的精確度。杜絕因上游的微小誤差形成“蝴蝶效應(yīng)”，造成下游生產(chǎn)加工的更大偏離，**終導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)鏈更大的損失。

二、提高效率：

智能化檢測(cè)，全自動(dòng)測(cè)量，檢測(cè)時(shí)只需將物件放置在載物臺(tái)，然后在檢定軟件上選擇相關(guān)參數(shù)，即可一鍵分析批量測(cè)量。擯棄傳統(tǒng)檢測(cè)方法耗時(shí)耗力，精確度低的缺點(diǎn)，**提高加工效率。 輪廓儀與粗糙度儀不是同一種產(chǎn)品，輪廓儀主要功能是測(cè)量零件表面的輪廓形狀。三維輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用

輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求？

答：輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm，但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例，在1mm左右），因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí)，全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量，檢測(cè)效率會(huì)比較低，建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè)，以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù)；

4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm，或者能夠測(cè)到更小的尺寸？

如果需要了解更多，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官網(wǎng)。 3D形貌輪廓儀出廠價(jià)光學(xué)系統(tǒng)：同軸照明無(wú)限遠(yuǎn)干涉成像系統(tǒng)。

輪廓儀的技術(shù)原理

被測(cè)表面(光)與參考面(光)之間的光程差（高度差）形成干涉

移相法(PSI)  高度和干涉相位

f = (2p/l ) 2 h

形貌高度: < 120nm

精度: < 1nm

RMS重復(fù)性: 0.01nm

垂直掃描法

(VSI+CSI)  

精度： ?/1000   干涉信號(hào)~光程差位置

形貌高度: nm-mm,

精度: >2nm

干涉測(cè)量技術(shù)：快速靈活、超納米精度、測(cè)量精度不受物鏡倍率影響

以下來(lái)自網(wǎng)絡(luò)：

輪廓儀，能描繪工件表面波度與粗糙度，并給出其數(shù)值的儀器，采用精密氣浮導(dǎo)軌為直線基準(zhǔn)。輪廓測(cè)試儀是對(duì)物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進(jìn)行測(cè)試與檢驗(yàn)的儀器，作為精密測(cè)量?jī)x器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應(yīng)用十分***。

輪廓儀的**團(tuán)隊(duì)

夏勇博士，江蘇省雙創(chuàng)人才

15年ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)、項(xiàng)目管理經(jīng)驗(yàn)

SuperSight Inc. CEO/共同創(chuàng)始人，太陽(yáng)能在線檢測(cè)設(shè)備

唐壽鴻博士，國(guó)家千人****

25年 ADE，KAL-Tencor半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備公司研發(fā)經(jīng)驗(yàn)

KLA-Tencor ***研發(fā)總監(jiān)，***圖像處理、算法**

許衡博士，軟件系統(tǒng)研發(fā)

10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)（BD Medical

Instrument）

光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)

岱美儀器與**組為您提供輪廓儀的技術(shù)支持，為您排憂解難。 輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm（可擴(kuò)展），Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm。

輪廓儀對(duì)精密加工的意義

現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開(kāi)硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持，在精密加工領(lǐng)域同樣如此，雖然我們?cè)谏钪胁辉⒁獾匠芗庸ぎa(chǎn)品的“身影”，但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學(xué)玻璃、集成電路、汽車零部件、機(jī)器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域，都需要對(duì)加工的成品進(jìn)行檢測(cè)，從物體表面光滑到粗糙的參數(shù)，其中包含了從納米到微米級(jí)別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù)，作為評(píng)定該物件是否合格的標(biāo)準(zhǔn)。因此光學(xué)輪廓儀應(yīng)運(yùn)而生，以下是表面三維輪廓儀對(duì)精密加工的作用： 表面三維評(píng)定參數(shù)由于能更***，更真實(shí)的反應(yīng)零件表面的特征。ADE輪廓儀代理商

配置Barcode 掃描板邊二維碼，可自動(dòng)識(shí)別產(chǎn)品信息。三維輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用

    比較橢圓偏振儀和光譜反射儀光譜橢圓偏振儀(SE)和光譜反射儀(SR)都是利用分析反射光確定電介質(zhì)，半導(dǎo)體，和金屬薄膜的厚度和折射率。兩者的主要區(qū)別在于橢偏儀測(cè)量小角度從薄膜反射的光,而光譜反射儀測(cè)量從薄膜垂直反射的光。獲取反射光譜指南入射光角度的不同造成兩種技術(shù)在成本，復(fù)雜度，和測(cè)量能力上的不同。由于橢偏儀的光從一個(gè)角度入射，所以一定要分析反射光的偏振和強(qiáng)度，使得橢偏儀對(duì)超薄和復(fù)雜的薄膜堆有較強(qiáng)的測(cè)量能力。然而，偏振分析意味著需要昂貴的精密移動(dòng)光學(xué)儀器。光譜反射儀測(cè)量的是垂直光，它忽略偏振效應(yīng)（絕大多數(shù)薄膜都是旋轉(zhuǎn)對(duì)稱）。因?yàn)椴簧婕叭魏我苿?dòng)設(shè)備，光譜反射儀成為簡(jiǎn)單低成本的儀器。光譜反射儀可以很容易整合加入更強(qiáng)大透光率分析。從下面表格可以看出,光譜反射儀通常是薄膜厚度超過(guò)10um的優(yōu)先，而橢偏儀側(cè)重薄于10nm的膜厚。在10nm到10um厚度之間，兩種技術(shù)都可用。而且具有快速，簡(jiǎn)便，成本低特點(diǎn)的光譜反射儀通常是更好的選擇。光譜反射率光譜橢圓偏振儀厚度測(cè)量范圍1nm-1mm(非金屬)-50nm(金屬)*-(非金屬)-50nm(金屬)測(cè)量折射率的厚度要求>20nm(非金屬)5nm-50nm(金屬)>5nm(非金屬)>。三維輪廓儀干涉測(cè)量應(yīng)用

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司致力于儀器儀表，是一家其他型的公司。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司秉持誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念，在儀器儀表深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn)，發(fā)揮人才優(yōu)勢(shì)，打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)秉承“客戶為尊、服務(wù)為榮、創(chuàng)意為先、技術(shù)為實(shí)”的經(jīng)營(yíng)理念，全力打造公司的重點(diǎn)競(jìng)爭(zhēng)力。