光刻機(jī)隔振臺(tái)其他高精密儀器

TS-300

TS系列產(chǎn)品中比較大的系列，比TS-140 / TS-150更大。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。

 頻率

 負(fù)載范圍TS-300

 負(fù)載范圍TS-300LT

 尺寸圖 

 0,7-1000赫茲

 0-300公斤

 0-120公斤

 600

 x 800 x 120毫米

TS-300結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性和優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

TS-300的隔離始于0.7 Hz，超過(guò)10Hz時(shí)迅速增加至40dB

缺少低頻諧振意味著比大多數(shù)常見(jiàn)的被動(dòng)空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計(jì)六個(gè)方向的震動(dòng)隔離模式

精確的自動(dòng)高度調(diào)節(jié)機(jī)制即使在負(fù)載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開(kāi)關(guān)“打開(kāi)”和“關(guān)閉” AVI系列產(chǎn)品在振動(dòng)加速度上的隔振效果。光刻機(jī)隔振臺(tái)其他高精密儀器

TS-150安全守則

?只能將系統(tǒng)插入具有單獨(dú)接地的插座。 不要斷開(kāi)此連接通過(guò)插座或使用不接地的延長(zhǎng)線接地。

?在打開(kāi)本設(shè)備之前，請(qǐng)確保已將其連接到正確的電源電壓。

?請(qǐng)勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入設(shè)備的任何開(kāi)口。

?請(qǐng)勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。 這可能會(huì)導(dǎo)致電擊或損壞到系統(tǒng)。

?卸下任何主機(jī)蓋之前，請(qǐng)先斷開(kāi)電源。 請(qǐng)把維修交給合格的人員。

?請(qǐng)勿在有危險(xiǎn)的環(huán)境中使用。

?請(qǐng)勿在頂板上鉆任何孔。 這會(huì)損壞系統(tǒng)。

?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處，請(qǐng)拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事 故用法。 請(qǐng)與您**近的服務(wù)中心聯(lián)系。

HERZAN隔振臺(tái)有哪些品牌TS-140的高度*為84毫米。

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器

LFS-3性能

LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個(gè)正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。

LFS-3性能使用測(cè)振儀的H-1檔并有50公斤的重量下測(cè)試的。

AVI主動(dòng)隔振系統(tǒng)幫助精密儀器在基礎(chǔ)研究、應(yīng)用研究、生產(chǎn)等方面創(chuàng)造穩(wěn)定的測(cè)量和生產(chǎn)環(huán)境。AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀、激光干涉計(jì)、微檢測(cè)設(shè)備等提供極好的隔振效果。

傳感器位置

傳感器可以移動(dòng)到任何期望的位置。 它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元素的同一表面上。 制作后連接時(shí)，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。

支撐面的剛性

支撐表面的剛性很重要。 水平傳感器無(wú)法區(qū)分在水平加速度和傾斜之間。 LFS和因此，AVI元素所在的位置必須盡可能堅(jiān)硬，以使其不會(huì)明顯傾斜當(dāng)人們?cè)诟浇苿?dòng)時(shí)。 傾斜會(huì)導(dǎo)致傳感器輸出飽和并失去隔離。

運(yùn)作方式

設(shè)置好并將電源連接到傳感器后，就可以使用系統(tǒng)了。按下電源上的電源旋鈕打開(kāi)電源。 綠色LED將點(diǎn)亮。 紅色LED開(kāi)始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在，您可以通過(guò)按啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。 紅色LED不應(yīng)點(diǎn)亮了。 如果它們點(diǎn)亮，則表示系統(tǒng)過(guò)載且振動(dòng)建筑物中存在的物體太嚴(yán)重。

請(qǐng)注意，如果未啟用LFS，則它將無(wú)效。

敏感的傳感器單元，請(qǐng)勿撞擊，敲打或跌落！

AVI 200-XL

AVI 200-XL的基本配置包括兩個(gè)單獨(dú)的承載模塊和一個(gè)控制單元，比較大可承載400公斤重量。通過(guò)增加隔振模塊的數(shù)量，可以輕松承受更大的負(fù)載。為了使AVI200-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以按特殊順序提供不同長(zhǎng)度的單個(gè)元件。

AVI 200-XL的隔離始于1,2 Hz，然后迅速增加至超過(guò)10Hz的35dB

減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式

AVI 200-XL隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復(fù)雜的過(guò)程。 勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。AVI-200XLP隔振臺(tái)學(xué)校會(huì)用嗎

Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有**的防振單元和控制器。光刻機(jī)隔振臺(tái)其他高精密儀器

AVI-產(chǎn)品參數(shù)：AVI-200系列（負(fù)載：**多800kg）

型號(hào)：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP

系統(tǒng)形狀：控制器與防振單元分離型

主動(dòng)控制范圍：被動(dòng)隔振范圍200Hz以上

確認(rèn)防振狀態(tài)：使用控制器背面的BNC連接器，外部連接前面的8個(gè)LED指示防振狀態(tài)

尺寸：120×396×130×636×130×856×

控制器尺寸：241×287×142毫米

承重：400kg

單位重量：約9kg

聯(lián)絡(luò)我們

電源電壓：95-240VAC50-60赫茲

耗電量：普通9W

工作溫度范圍：5℃?40℃

工作濕度范圍：10?90％（5?30℃）?10?60％（30?40℃）

可選零件（1）裝載板，石板，鑄鐵板*另行咨詢選裝（2）高剛性支架或高阻尼高剛性支架*單獨(dú)咨詢。 光刻機(jī)隔振臺(tái)其他高精密儀器

岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主要經(jīng)營(yíng)范圍是儀器儀表，擁有一支專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和良好的市場(chǎng)口碑。岱美儀器技術(shù)服務(wù)致力于為客戶提供良好的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)，一切以用戶需求為中心，深受廣大客戶的歡迎。公司秉持誠(chéng)信為本的經(jīng)營(yíng)理念，在儀器儀表深耕多年，以技術(shù)為先導(dǎo)，以自主產(chǎn)品為重點(diǎn)，發(fā)揮人才優(yōu)勢(shì)，打造儀器儀表良好品牌。岱美儀器技術(shù)服務(wù)立足于全國(guó)市場(chǎng)，依托強(qiáng)大的研發(fā)實(shí)力，融合前沿的技術(shù)理念，飛快響應(yīng)客戶的變化需求。