晶圓隔振臺(tái)出廠價(jià)

AVI-600 / LP的每個(gè)單元均可調(diào)節(jié)，以適應(yīng)0至600kg的負(fù)載。 對(duì)于任何設(shè)置由兩個(gè)單元組成的系統(tǒng)上的負(fù)載，可在+/- 90kg之間變化，而不必重設(shè)調(diào)整。

***操作系統(tǒng)時(shí)，請(qǐng)將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為OFF（黑色旋出）。 接通電源。 電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮，并且24個(gè)顯示LED將短暫閃爍。 黃色的使能LED將以大約2 Hz的頻率閃爍。 如果劇烈震動(dòng)存在或如果您將手放在桌面上，則某些或所有LED將閃爍。接通電源約30秒后，您可以將隔離開(kāi)關(guān)推到ON位置（紅色旋鈕進(jìn)入）。黃色LED現(xiàn)在將長(zhǎng)久保持亮起，表明系統(tǒng)處于隔離。

LFS-3傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，頻率約為0.2Hz。晶圓隔振臺(tái)出廠價(jià)

TS-140+40技術(shù)指標(biāo)：

頻率                   負(fù)載范圍            尺寸

0,7-1000 Hz           50-180公斤    500 x

600 x 84毫米

隔離：

動(dòng)態(tài)0.7Hz至1kHz無(wú)源（超過(guò)1kHz）

傳遞率：

參見(jiàn)附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）

矯正力：垂直+/- 8 N     水平+/- 4 N

靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12 μm

/ N 水平30-40 μm / N

比較大負(fù)載：50-180公斤

尺寸：500 x 600 x

84毫米

重量：28.5公斤

TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)

這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。

在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。

輪廓測(cè)量隔振臺(tái)供應(yīng)商家AVI 400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，比較大負(fù)載為800公斤。

AVI單元和傳感器的方向

隔離單元和LFS傳感器必須正確安裝，這一點(diǎn)很重要取向！LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI的開(kāi)關(guān)輸出以任意4個(gè)矩形方向（即平行或成直角）放置的元素。不允許其他方向。

為確保連接正確，請(qǐng)按照下列步驟操作：

面向LFS傳感器的藍(lán)色LED站立。 將***個(gè)AVI元素連接到以下任意一個(gè)后面板上的12個(gè)D-Sub15插座。用筆滑動(dòng)開(kāi)關(guān)在位置A和D之間。

所有AVI元素必須連接到LFS單元上的插槽。正確的開(kāi)關(guān)位置對(duì)于獲得良好的性能至關(guān)重要隔離。

傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。用D-Sub25電纜將電源連接到傳感器。每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub 15插座（診斷插座）連接到傳感器

設(shè)置并將電源連接到傳感器后，系統(tǒng)即可使用。

按下電源上的電源旋鈕，打開(kāi)電源。綠色的LED將亮起。紅色的發(fā)光二極管開(kāi)始閃爍，這意味著存在一些振動(dòng)?，F(xiàn)在您可以通過(guò)按下啟用按鈕來(lái)啟用系統(tǒng)。紅色的發(fā)光二極管不應(yīng)該再亮了。如果它們亮了，那意味著系統(tǒng)超載，建筑物內(nèi)的振動(dòng)太嚴(yán)重。 ***使用AVI系統(tǒng)時(shí)，將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為關(guān)閉（黑色旋鈕熄滅）。

***使用AVI系統(tǒng)時(shí)，將前面板隔離開(kāi)關(guān)設(shè)置為關(guān)閉（黑色旋鈕熄滅）。打開(kāi)電源。電源指示燈現(xiàn)在將點(diǎn)亮，16個(gè)顯示LED將短暫閃爍。黃色啟用LED將在約2Hz時(shí)閃爍。如果出現(xiàn)劇烈振動(dòng)或把手放在桌面上，部分或全部LED將閃爍。打開(kāi)電源約30秒后，您可以將隔離開(kāi)關(guān)推到打開(kāi)位置（黑色旋鈕進(jìn)入）。黃色LED現(xiàn)在將一直亮起，表示系統(tǒng)正在隔離。

把手輕輕地放在桌面上。可能會(huì)有一個(gè)或多個(gè)LED亮起，表示過(guò)載。了解在不造成過(guò)載的情況下可以施加多少力。 必須改善測(cè)量環(huán)境，以發(fā)揮儀器的極大效能，達(dá)到比較好成果。防震臺(tái)隔振臺(tái)大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)應(yīng)用

安裝好后參數(shù)不需要調(diào)整。晶圓隔振臺(tái)出廠價(jià)

地板上沒(méi)有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）

加上AVI產(chǎn)品開(kāi)啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）

Herz

Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器

LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個(gè)正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。

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