低溫納米壓印中芯在用嗎

來源: 發(fā)布時間:2020-12-06

    EV集團和肖特攜手合作,證明300-MM光刻/納米壓印技術在大體積增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實玻璃制造中已就緒聯(lián)合工作將在EVG的NILPhotonics?能力中心開展,這是一個開放式的光刻/納米壓?。∟IL)技術創(chuàng)新孵化器,同時也是全球***可及的300-mm光刻/納米壓印技術線2019年8月28日,奧地利,圣弗洛里安――微機電系統(tǒng)(MEMS)、納米技術和半導體市場晶圓鍵合與光刻設備**供應商EV集團(EVG)***宣布,與特種玻璃和微晶玻璃領域的**技術集團肖特攜手合作,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓?。∟IL)技術在下一代增強現(xiàn)實/混合現(xiàn)實(AR/MR)頭戴顯示設備的波導/光導制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒。此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTTRealView?高折射率玻璃晶圓,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVGSmartNIL技術進行圖案成形的300-mmSCHOTTRealView?玻璃晶圓。300-mm和200-mmSCHOTTRealView?玻璃基板,裝配在應用SmartNIL?UV-NIL技術的EVG?HERCULES?。EVG ? 6200 NT是SmartNIL UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。低溫納米壓印中芯在用嗎

EVGROUP®|產(chǎn)品/納米壓印光刻解決方案

納米壓印光刻的介紹:

EV Group是納米壓印光刻(NIL)的市場**設備供應商。EVG開拓了這種非常規(guī)光刻技術多年,掌握了NIL并已在不斷增長的基板尺寸上實現(xiàn)了批量生產(chǎn)。EVG的專有SmartNIL技術通過多年的研究,開發(fā)和現(xiàn)場經(jīng)驗進行了優(yōu)化,以解決常規(guī)光刻無法滿足的納米圖案要求。SmartNIL可提供低至40 nm的出色保形壓印結果。岱美作為EVG在中國區(qū)的代理商,歡迎各位聯(lián)系我們,探討納米壓印光刻的相關知識。我們愿意與您共同進步。


海南納米壓印三維芯片應用 NIL已被證明是能夠在大面積上制造納米圖案的**經(jīng)濟、高 效的方法。

IQ Aligner UV-NIL 自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

應用:用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印系統(tǒng)

IQ Aligner UV-NIL系統(tǒng)允許使用直徑從150 mm至300 mm的壓模和晶片進行微成型和納米壓印工藝,非常適合高度平行地制造聚合物微透鏡。該系統(tǒng)從從晶圓尺寸的主圖章復制的軟性圖章開始,提供了混合和整體式微透鏡成型工藝,可以輕松地將其與工作圖章和微透鏡材料的各種材料組合相適應。此外,EV Group提供合格的微透鏡成型工藝,包括所有相關的材料專業(yè)知識。EV Group專有的卡盤設計可為高產(chǎn)量大面積印刷提供均勻的接觸力。配置包括從壓印基材上釋放印章的釋放機制。


EVG ® 510 HE是EVG500系列的熱壓印系統(tǒng)


EV Group的一系列高精度熱壓印系統(tǒng)基于該公司市場**的晶圓鍵合技術。出色的壓力和溫度控制以及大面積的均勻性可實現(xiàn)高精度的壓印。熱壓印是一種經(jīng)濟高

效且靈活的制造技術,對于尺寸低至50 nm的特征,其復制精度非常高。該系統(tǒng)非常適合將復雜的微結構和納米結構以及高縱橫比的特征壓印到各種聚合物基材或旋涂聚合物中。壓模與基板對準的組合可將熱壓紋與預處理的基板結構對準。這個系列包含的型號有:EVG®510HE,EVG®520HE。 EVG提供不同的***積壓印系統(tǒng),大面積壓印機,微透鏡成型設備以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。

EVG ® 610 紫外線納米壓印光刻系統(tǒng)

具有紫外線納米壓印功能的通用研發(fā)掩膜對準系統(tǒng),從碎片到比較大150毫米。

該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻(NIL)。EVG610提供快速的處理和重新安裝工具,以改變用戶需求,光刻和NIL之間的轉(zhuǎn)換時間*為幾分鐘。其先進的多用戶概念可以適應從初學者到**級別的所有需求,因此使其成為大學和研發(fā)應用程序的理想選擇。


EVG的納米壓印設備括不同的單步壓印系統(tǒng),大面積壓印機以及用于高 效母版制作的分步重復系統(tǒng)。山西納米壓印供應商家

EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因為它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術。低溫納米壓印中芯在用嗎

由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證、基礎科研中,儀器儀表都是必不可少的基礎技術和裝備重點,除傳統(tǒng)領域的需求外,新興的智能制造、離散自動化、生命科學、新能源、海洋工程、軌道交通等領域也會產(chǎn)生巨大需求。中國的新型工業(yè)化進程,信息化和工業(yè)化融合的進一步加深,帶動各個工業(yè)領域?qū)τ诖庞涗?,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的需求。在國民經(jīng)濟運行中,磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關部門批準后方可開展經(jīng)營活動】等設備是提高勞動生產(chǎn)率的倍增器,對國民經(jīng)濟有著巨大的作用和影響力。美國商業(yè)部地區(qū)技術和標準研究院(NIST)提出的報告稱:美國90年代儀器儀表工業(yè)產(chǎn)值只占工業(yè)總產(chǎn)值的4%,但它對國民經(jīng)濟(GNP)的影響面卻達到66%。從銷售廣義角度來說,儀器儀表也可具有自動操控、報警、信號傳遞和數(shù)據(jù)處理等功能,例如用于工業(yè)生產(chǎn)過程自動操控中的氣動調(diào)節(jié)儀表,和電動調(diào)節(jié)儀表,以及集散型儀表操控系統(tǒng)也皆屬于儀器儀表。低溫納米壓印中芯在用嗎

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