技術(shù)指標(biāo)：頻率負(fù)載范圍尺寸0,7-1000Hz0-140公斤500x600x84毫米
隔離：動(dòng)態(tài)（超過(guò)1kHz）
透射率：參見(jiàn)附件曲線10Hz以上的透射率<（-40dB）
矯正力：垂直+/-8N水平+/-4N
靜態(tài)合規(guī)性：大約垂直約12μm/N水平30-40μm/N
比較大負(fù)載：140公斤尺寸：500x600x84毫米
重量：28.5kg
電的安全等級(jí)：1個(gè)能量消耗：比較大10W負(fù)載調(diào)整時(shí)20W輸入電壓：115-230VAC+/-10％50-60Hz
超載：顯示屏指示負(fù)載過(guò)重或嚴(yán)重失衡
監(jiān)控信號(hào)：示波器上顯示的多路復(fù)用信號(hào)顯示有無(wú)隔離的振動(dòng)水平-*用于診斷目的
前面板顯示菜單：顯示儀器狀態(tài)，包括：-高度調(diào)節(jié)-隔離開(kāi)/關(guān)-過(guò)載-運(yùn)輸鎖定-技術(shù)熱線
桌上尺寸：500x600毫米。 Table Stable生產(chǎn)的主動(dòng)式微振動(dòng)控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動(dòng)式防振系統(tǒng)，具有**的防振單元和控制器。光刻機(jī)隔振臺(tái)有哪些品牌
水平X軸方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，比較大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
水平Y(jié)軸方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，比較大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。
AVI系列產(chǎn)品在振動(dòng)加速度上的隔振效果。
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高校隔振臺(tái)研發(fā)可以用嗎勵(lì)磁箱允許將激勵(lì)信號(hào)施加到TS隔離系統(tǒng)，以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動(dòng)器。
TS特點(diǎn)：
◎在全部的6個(gè)自由度范圍內(nèi)，從0.7Hz到100Hz，TS系列產(chǎn)品提供優(yōu)良的主動(dòng)隔振性能。
◎當(dāng)儀器裝載時(shí)，高度調(diào)整會(huì)自動(dòng)進(jìn)行。
◎即使當(dāng)負(fù)載偏離中心時(shí)，自動(dòng)調(diào)平功能也能保持水準(zhǔn)。當(dāng)高重心的儀器被加載時(shí)，給予穩(wěn)定性。
◎通過(guò)按下前方的按鈕，系統(tǒng)可以鎖定或者解鎖。鎖定功能可以防止在系統(tǒng)重新加載或傳輸中發(fā)生損壞。
◎前方的顯示屏展示了在X,Y和Z方向的實(shí)際振動(dòng)水平。
◎主動(dòng)隔振也可以通過(guò)使用可選的遠(yuǎn)程控制箱來(lái)從外部啟用或禁用
地板上沒(méi)有AVI產(chǎn)品加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）
加上AVI產(chǎn)品開(kāi)啟隔振功能后，加速度的數(shù)據(jù)。（圖中橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為加速度）
Herz
Low Frequency Sensor (LFS-3)低頻感應(yīng)器
LFS-3性能LFS-3感應(yīng)器測(cè)試水平和垂直方向加速度3軸的頻率低到0.2Hz. 感應(yīng)器直接放到地板上和AVI系列產(chǎn)品連在組成一個(gè)正向循環(huán)可以提高低頻的隔振性能。LFS-3也可以配合已有的AVI系列產(chǎn)品。
如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器。謝謝！ AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內(nèi)為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。TS-140+40技術(shù)指標(biāo)：
頻率 負(fù)載范圍 尺寸
0,7-1000 Hz 50-180公斤 500 x
600 x 84毫米
隔離：
動(dòng)態(tài)0.7Hz至1kHz無(wú)源（超過(guò)1kHz）
傳遞率：
參見(jiàn)附件曲線10 Hz以上的透射率<0.01（-40dB）
矯正力：垂直+/- 8 N 水平+/- 4 N
靜態(tài)合規(guī)性：垂直約12 μm
/ N 水平30-40 μm / N
比較大負(fù)載：50-180公斤
尺寸：500 x 600 x
84毫米
重量：28.5公斤
TS-140 +40結(jié)合了久經(jīng)考驗(yàn)的技術(shù)***性與優(yōu)雅且用戶友好的設(shè)計(jì)
這種中型動(dòng)態(tài)隔振系統(tǒng)非常適合所有需要頂板上空間比TS-150更大的應(yīng)用。
在公制（M6 x 25mm）或非公制網(wǎng)格上鉆孔的頂板可將各種設(shè)備安裝在隔離的桌面上。
在納米技術(shù)的時(shí)代，極之微細(xì)的振動(dòng)已對(duì)搜索結(jié)果造成極大的影響，必須改善測(cè)量環(huán)境。光刻機(jī)隔振臺(tái)有哪些品牌
AVI 的隔振性能在負(fù)載低于 30Hz 以下時(shí)是一個(gè)重要的參照。光刻機(jī)隔振臺(tái)有哪些品牌
使用說(shuō)明書(shū)
解鎖系統(tǒng)后，將設(shè)備放置在平坦且堅(jiān)固的桌子上或地下。
調(diào)整負(fù)載補(bǔ)償:
將負(fù)載放在**上面，并使用以下三個(gè)調(diào)整負(fù)載補(bǔ)償側(cè)面的車(chē)輪到外殼和頂板之間的距離為2mm。
沿+方向旋轉(zhuǎn)輪子以增加負(fù)載補(bǔ)償方向旋轉(zhuǎn)車(chē)輪以減少負(fù)載補(bǔ)償
按下并檢查每個(gè)角是否有約0.5mm的自由移動(dòng)。輕輕地上下拉頂板！
更改負(fù)載后，檢查每個(gè)角是否自由移動(dòng)！
將電源插頭連接到背面的輸入電源插座。
按下背面的電源按鈕打開(kāi)設(shè)備“ POWER” LED將點(diǎn)亮，而“ ACTIVE” LED開(kāi)始閃爍。
大約30秒鐘后，“活動(dòng)” LED將保持點(diǎn)亮狀態(tài)，并且系統(tǒng)現(xiàn)在可以使用了。
您可以通過(guò)按“啟用”按鈕來(lái)打開(kāi)和關(guān)閉活動(dòng)隔離。
光刻機(jī)隔振臺(tái)有哪些品牌
岱美儀器技術(shù)服務(wù)（上海）有限公司主營(yíng)品牌有岱美儀器技術(shù)服務(wù)，發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大，該公司其他型的公司。公司是一家有限責(zé)任公司企業(yè)，以誠(chéng)信務(wù)實(shí)的創(chuàng)業(yè)精神、專(zhuān)業(yè)的管理團(tuán)隊(duì)、踏實(shí)的職工隊(duì)伍，努力為廣大用戶提供***的產(chǎn)品。以滿足顧客要求為己任；以顧客永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn)；以保持行業(yè)優(yōu)先為目標(biāo)，提供***的磁記錄，半導(dǎo)體，光通訊生產(chǎn)，測(cè)試儀器的批發(fā)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠(chéng)的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品，為彼此贏得全新的未來(lái)！