輪廓儀的主要客戶群體
300mm集成電路技術(shù)封裝生產(chǎn)線檢測
集成電路工藝技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
國家重點實驗室
高 效太陽能電池技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
MEMS技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化
新型顯示技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化
超高精密表面工程技術(shù)
輪廓儀是一種兩坐標測量儀器,儀器傳感器相對被測工件表而作勻速滑行,傳感器的觸針感受到被測表而的幾何變化,在X和Z方向分別采樣,并轉(zhuǎn)換成電信號,該電信號經(jīng)放大和處理,再轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號儲存在計算機系統(tǒng)的存儲器中,計算機對原始表而輪廓進行數(shù)字濾波,分離掉表而粗糙度成分后再進行計算,測量結(jié)果為計算出的符介某種曲線的實際值及其離基準點的坐標,或放大的實際輪廓曲線,測量結(jié)果通過顯示器輸出,也可由打印機輸出。(來自網(wǎng)絡(luò)) 晶圓的IC制造過程可簡單看作是將光罩上的電路圖通過UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過程。PSI輪廓儀推薦廠家
輪廓儀對精密加工的意義
現(xiàn)代化高新技術(shù)的飛速發(fā)展離不開硬件設(shè)施和軟件系統(tǒng)的配套支持,在精密加工領(lǐng)域同樣如此,雖然我們在生活中不曾注意到超精密加工產(chǎn)品的“身影”,但是它卻與我們的生活息息相關(guān)。例如在光學玻璃、集成電路、汽車零部件、機器人**器件、航空航天材料、****設(shè)備等領(lǐng)域,都需要對加工的成品進行檢測,從物體表面光滑到粗糙的參數(shù),其中包含了從納米到微米級別的輪廓、線粗糙度、面粗糙度等二維、三維參數(shù),作為評定該物件是否合格的標準。因此光學輪廓儀應(yīng)運而生,以下是表面三維輪廓儀對精密加工的作用: 3D形貌輪廓儀可以試用嗎粗糙度儀的功能是測量零件表面的磨加工/精車加工工序的表面加工質(zhì)量。
超納輪廓儀的主設(shè)計簡介:
中組部第十一批“****”****,美國KLA-Tencor(集成電路行業(yè)檢測設(shè)備市場的**企業(yè))***研發(fā)總監(jiān),干涉測量技術(shù)**美國上市公司ADE-Phaseift的總研發(fā)工程師,創(chuàng)造多項干涉測量數(shù)字化所需的關(guān)鍵算法,在光測領(lǐng)域發(fā)表23個美國專利和35篇學術(shù)論文3個研發(fā)的產(chǎn)品獲得大獎,國家教育部***批公派研究生,83年留學美國。光學輪廓儀可廣泛應(yīng)用于各類精密工件表面質(zhì)量要求極高的如:半導(dǎo)體、微機電、納米材料、生物醫(yī)療、精密涂層、科研院所、航空航天等領(lǐng)域??梢哉f只要是微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量,除了三維光學輪廓儀,沒有其它的儀器設(shè)備可以達到其精度要求。(網(wǎng)絡(luò))。
我們的輪廓儀有什么優(yōu)勢呢
世界先進水平的產(chǎn)品技術(shù)
合理的產(chǎn)品價格
24小時到現(xiàn)場的本地化售后服務(wù)
無償產(chǎn)品技術(shù)培訓和應(yīng)用技術(shù)支持
個性化的應(yīng)用軟件服務(wù)支持
合理的保質(zhì)期后產(chǎn)品服務(wù)
更佳的產(chǎn)品性價比和更優(yōu)解決方案
非接觸式輪廓儀(光學輪廓儀)是以白光干涉為原理制成的一款高精度微觀形貌測量儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。(本段來自網(wǎng)絡(luò)) 自動聚焦范圍 : ± 0.3mm。
輪廓儀的性能
測量模式 :
移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)
樣 品 臺 :
150mm/200mm/300mm 樣品臺(可選配)
XY 平移:±25mm/150mm/200mm/300mm,傾斜:±5°
可選手動/電動樣品臺
CCD 相機像素:
標配:1280×960
視場范圍:
560×750um(10×物鏡)
具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機
光學系統(tǒng):
同軸照明無限遠干涉成像系統(tǒng)
光 源:
高 效 LED
Z 方向聚焦 80mm 手動聚焦(可選電動聚焦)
Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描,拓展達 10mm )
縱向分辨率 <0.1nm
RMS 重復(fù)性* 0.005nm,1σ
臺階測量** 準確度 ≤0.75%;重復(fù)性 ≤0.1%,1σ
橫向分辨率 ≥0.35um(100 倍物鏡)
檢測速度 ≤ 35um/sec , 與所選的 CCD 測量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。輪廓儀有哪些應(yīng)用
輪廓儀反映的是零件的宏觀輪廓。PSI輪廓儀推薦廠家
滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測量和觀察需求
保護性: 非接觸式光學輪廓儀
耐用性更強, 使用無損
可操作性:一鍵式操作,操作更簡單,更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計算特征參數(shù)
個性化: 定制化客戶報告模式
更好用戶體驗: 迅捷的售后服務(wù),個性化應(yīng)用軟件支持
1.精度高,壽命長---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測量基準,具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點,達到國內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò)) PSI輪廓儀推薦廠家
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司位于中國(上海)自由貿(mào)易試驗區(qū)加太路39號第五層六十五部位,交通便利,環(huán)境優(yōu)美,是一家其他型企業(yè)。是一家有限責任公司企業(yè),隨著市場的發(fā)展和生產(chǎn)的需求,與多家企業(yè)合作研究,在原有產(chǎn)品的基礎(chǔ)上經(jīng)過不斷改進,追求新型,在強化內(nèi)部管理,完善結(jié)構(gòu)調(diào)整的同時,良好的質(zhì)量、合理的價格、完善的服務(wù),在業(yè)界受到寬泛好評。公司擁有專業(yè)的技術(shù)團隊,具有磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā)等多項業(yè)務(wù)。岱美儀器技術(shù)服務(wù)將以真誠的服務(wù)、創(chuàng)新的理念、***的產(chǎn)品,為彼此贏得全新的未來!