強(qiáng)大的輪廓儀光電一體軟件
美國(guó)硅谷研發(fā)、中英文自由切換
光機(jī)電一體化軟硬件集成
三維分析處理迅速,結(jié)果實(shí)時(shí)更新
縮放、定位、平移、旋轉(zhuǎn)等三維圖像處理
自主設(shè)定測(cè)量閾值,三維處理自動(dòng)標(biāo)注
測(cè)量模式可根據(jù)需求自由切換
三維圖像支持高清打印
菜單式參數(shù)設(shè)置,一鍵式操作,人機(jī)界面?zhèn)€性直觀
個(gè)性化軟件應(yīng)用支持
可進(jìn)行軟件在線升級(jí)和遠(yuǎn)程支持服務(wù)
10 年硅谷世界500強(qiáng)研發(fā)經(jīng)驗(yàn)(BD Medical
Instrument)
光學(xué)測(cè)量、軟件系統(tǒng)
岱美儀器將為您提供全程的服務(wù)。
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)。晶片輪廓儀售后服務(wù)輪廓儀對(duì)所測(cè)樣品的尺寸有何要求?
答:輪廓儀對(duì)載物臺(tái)xy行程為140*110mm(可擴(kuò)展),Z向測(cè)量范圍比較大可達(dá)10mm,但由于白光干涉儀單次測(cè)量區(qū)域比較?。ㄒ?0X鏡頭為例,在1mm左右),因而在測(cè)量大尺寸的樣品時(shí),全檢的方式需要進(jìn)行拼接測(cè)量,檢測(cè)效率會(huì)比較低,建議尋找樣品表 面的特征位置或抽取若干區(qū)域進(jìn)行抽點(diǎn)檢測(cè),以單點(diǎn)或多點(diǎn)反映整個(gè)面的粗糙度參數(shù);
4.測(cè)量的**小尺寸是否可以達(dá)到12mm,或者能夠測(cè)到更小的尺寸?
如果需要了解更多,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官網(wǎng)。 晶片輪廓儀售后服務(wù)在結(jié)構(gòu)上,輪廓儀基本上都是臺(tái)式的,而粗糙度儀以手持式的居多,當(dāng)然也有臺(tái)式的。
滿足您需求的輪廓儀
使用范圍廣: 兼容多種測(cè)量和觀察需求
保護(hù)性: 非接觸式光學(xué)輪廓儀
耐用性更強(qiáng), 使用無(wú)損
可操作性:一鍵式操作,操作更簡(jiǎn)單,更方便
智能性:特殊形狀能夠只能計(jì)算特征參數(shù)
個(gè)性化: 定制化客戶報(bào)告模式
更好用戶體驗(yàn): 迅捷的售后服務(wù),個(gè)性化應(yīng)用軟件支持
1.精度高,壽命長(zhǎng)---采用超高精度氣浮導(dǎo)軌作為直線測(cè)量基準(zhǔn),具有穩(wěn)定性好、承載大、**磨損等優(yōu)點(diǎn),達(dá)到國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品較高精度。 2.高精度光柵尺及進(jìn)口采集卡---保證數(shù)據(jù)采樣分辨率,準(zhǔn)確度高,穩(wěn)定性好。(網(wǎng)絡(luò))
輪廓儀產(chǎn)品應(yīng)用
藍(lán)寶石拋光工藝表面粗糙度分析(粗拋與精拋比較)
高精密材料表面缺 陷超精密表面缺 陷分析,核探測(cè)
Oled 特征結(jié)構(gòu)測(cè)量,表面粗糙度
外延片表面缺 陷檢測(cè)
硅片外延表面缺 陷檢測(cè)
散熱材料表面粗糙度分析(粗糙度控制)
生物、醫(yī)藥新技術(shù),微流控器件
微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度
移相算法的優(yōu)化和軟件系統(tǒng)的開(kāi)發(fā) 本作品采用重疊平均移相干涉算法,保證了亞納米量級(jí)的測(cè)量精度;優(yōu)化軟件控制系統(tǒng),使每次檢測(cè)時(shí)間壓縮到10秒鐘以內(nèi),同時(shí)完善的數(shù)據(jù)評(píng)價(jià)系統(tǒng)為用戶評(píng)價(jià)產(chǎn)品面形質(zhì)量提供了方便。 測(cè)量模式:移相干涉(PSI),白光垂直掃描干涉(VSI),單色光垂直掃描干涉(CSI)。
輪廓儀的物鏡知多少?
白光干涉輪廓儀是基于白光干涉原理,以三維非接觸時(shí)方法測(cè)量分析樣片表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,典型結(jié)果包括:
表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,臺(tái)階高度,錐角等)
幾何特征(關(guān)鍵孔徑尺寸,曲率半徑,特征區(qū)域的面積和集體,特征圖形的位置和數(shù)量等)
白光干涉系統(tǒng)基于無(wú)限遠(yuǎn)顯微鏡系統(tǒng),通過(guò)干涉物鏡產(chǎn)生干涉條紋,使基本的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)變?yōu)榘坠飧缮鎯x。
因此物鏡是輪廓儀****的部件,
物鏡的選擇根據(jù)功能和檢測(cè)的精度提出需求,為了滿足各種精度的需求,需要提供各種物鏡,例如標(biāo)配的10×, 還有2.5×,5×,20×,50×,100×,可選。
不同的鏡頭價(jià)格有很大的差別,因此需要量力根據(jù)需求選配對(duì)應(yīng)的鏡頭哦。
輪廓儀在晶圓的IC封裝中的應(yīng)用:
晶圓的IC制造過(guò)程可簡(jiǎn)單看作是將光罩上的電路圖通過(guò)UV刻蝕到鍍膜和感光層后的硅晶圓上這一過(guò)程,其中由于光罩中電路結(jié)構(gòu)尺寸極小,任何微小的黏附異物和下次均會(huì)導(dǎo)致制造的晶圓IC表面存在缺 陷,因此必須對(duì)光罩和晶圓的表面輪廓進(jìn)行檢測(cè),檢測(cè)相應(yīng)的輪廓尺寸。 NanoX-8000的VSI/CSI:垂直分辨率 < 0.5nm ;準(zhǔn)確度<1% ;重復(fù)性<0.1% (1σ,10um臺(tái)階高)。晶片輪廓儀售后服務(wù)
輪廓儀可用于:微結(jié)構(gòu)均勻性 缺 陷,表面粗糙度。晶片輪廓儀售后服務(wù)
由于在重大工程、工業(yè)裝備和質(zhì)量保證、基礎(chǔ)科研中,儀器儀表都是必不可少的基礎(chǔ)技術(shù)和裝備重點(diǎn),除傳統(tǒng)領(lǐng)域的需求外,新興的智能制造、離散自動(dòng)化、生命科學(xué)、新能源、海洋工程、軌道交通等領(lǐng)域也會(huì)產(chǎn)生巨大需求。目前,磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)等產(chǎn)品的產(chǎn)量居世界前列,實(shí)驗(yàn)分析儀器等中產(chǎn)品的市場(chǎng)占比不斷上升,行業(yè)技術(shù)上總體已達(dá)到的中等國(guó)際水平,少數(shù)產(chǎn)品接近或達(dá)到當(dāng)前較高國(guó)際水平。中國(guó)儀器儀表行業(yè)目前正處于高速發(fā)展階段,需要與之相適應(yīng)的磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】產(chǎn)品營(yíng)銷模式相互配合。盡管在我國(guó)相關(guān)政策的引導(dǎo)和支持下,我國(guó)儀器儀表行業(yè)得到了飛速發(fā)展。但是從銷售整體上看,我國(guó)的儀器儀表行業(yè)還是落后于國(guó)際水平的。重點(diǎn)技術(shù)缺乏、高精尖產(chǎn)品嚴(yán)重依賴進(jìn)口、儀器儀表產(chǎn)品同質(zhì)化嚴(yán)重、生產(chǎn)工藝落后、研發(fā)能力弱、精度不高等問(wèn)題的凸顯,為儀器儀表行業(yè)的發(fā)展帶來(lái)了嚴(yán)峻的挑戰(zhàn)。晶片輪廓儀售后服務(wù)
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司專注技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品研發(fā),發(fā)展規(guī)模團(tuán)隊(duì)不斷壯大。一批專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì),是實(shí)現(xiàn)企業(yè)戰(zhàn)略目標(biāo)的基礎(chǔ),是企業(yè)持續(xù)發(fā)展的動(dòng)力。岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司主營(yíng)業(yè)務(wù)涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā),堅(jiān)持“質(zhì)量保證、良好服務(wù)、顧客滿意”的質(zhì)量方針,贏得廣大客戶的支持和信賴。一直以來(lái)公司堅(jiān)持以客戶為中心、磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)市場(chǎng)為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶之所想,急用戶之所急,全力以赴滿足客戶的一切需要。