它為晶圓級(jí)光學(xué)元件開(kāi)發(fā)、原型設(shè)計(jì)和制造提供了一種獨(dú)特的方法,可以方便地接觸***研發(fā)技術(shù)與材料。晶圓級(jí)納米壓印光刻和透鏡注塑成型技術(shù)確保在如3D感應(yīng)的應(yīng)用中使用小尺寸的高 分辨率光學(xué)傳感器供應(yīng)鏈合作推動(dòng)晶圓級(jí)光學(xué)元件應(yīng)用要在下一代光學(xué)傳感器的大眾化市場(chǎng)中推廣晶圓級(jí)生產(chǎn),先進(jìn)的粘合劑與抗蝕材料發(fā)揮著不可取代的作用。開(kāi)發(fā)先進(jìn)的光學(xué)材料,需要充分地研究化學(xué)、機(jī)械與光學(xué)特性,以及已被證實(shí)的大規(guī)模生產(chǎn)(HVM)的可擴(kuò)展性。擁有在NIL圖形壓印和抗蝕工藝方面的材料兼容性,以及自動(dòng)化模制和脫模的專(zhuān)業(yè)知識(shí),才能在已驗(yàn)證的大規(guī)模生產(chǎn)中,以**小的形狀因子達(dá)到晶圓級(jí)光學(xué)元件的比較好性能。材料供應(yīng)商與加工設(shè)備制造商之間的密切合作,促成了工藝流程的研發(fā)與改善,確保晶圓級(jí)光學(xué)元件的高質(zhì)量和制造的可靠性。EVG和DELO的合作將支持雙方改善工藝流程與產(chǎn)品,并增強(qiáng)雙方的專(zhuān)業(yè)技能,從而適應(yīng)當(dāng)前與未來(lái)市場(chǎng)的要求。雙方的合作提供了成熟的材料與專(zhuān)業(yè)的工藝技術(shù),并將加快新產(chǎn)品設(shè)計(jì)與原型制造的速度,為雙方的客戶(hù)保駕護(hù)航?!癗ILPhotonics解決方案支援中心的獨(dú)特之處是:它解決了行業(yè)內(nèi)部需要用更短時(shí)間研發(fā)產(chǎn)品的需求,同時(shí)保障比較高的保密性。EVG ? 720是自動(dòng)SmartNIL ? UV紫外光納米壓印光刻系統(tǒng)。內(nèi)蒙古納米壓印用于生物芯片
納米壓印光刻設(shè)備-處理結(jié)果:
新應(yīng)用程序的開(kāi)發(fā)通常與設(shè)備功能的提高緊密相關(guān)。 EVG的NIL解決方案能夠產(chǎn)生具有納米分辨率的多種不同尺寸和形狀的圖案,并在顯示器,生物技術(shù)和光子應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)了許多新的創(chuàng)新。HRI SmartNIL®壓印上的單個(gè)像素的1.AFM圖像壓印全息結(jié)構(gòu)的AFM圖像
資料來(lái)源:EVG與SwissLitho
AG合作(歐盟項(xiàng)目SNM)
2.通過(guò)熱壓花在PMMA中復(fù)制微流控芯片
資料來(lái)源:EVG
3.高縱橫比(7:1)的10 μm柱陣列
由加拿大國(guó)家研究委 員會(huì)提供
4.L / S光柵具有優(yōu)化的殘留層,厚度約為10 nm
資料來(lái)源:EVG
5.紫外線成型鏡片300 μm
資料來(lái)源:EVG
6.光子晶體用于LED的光提取
多晶硅的蜂窩織構(gòu)化(mc-Si)
由Fraunhofer ISE提供
7.金字塔形結(jié)構(gòu)50 μm
資料來(lái)源:EVG
8.**小尺寸的光模塊晶圓級(jí)封裝
資料來(lái)源:EVG
9.光子帶隙傳感器光柵
資料來(lái)源:EVG(歐盟Saphely項(xiàng)目)
10.在強(qiáng)光照射下對(duì)HRISmartNIL®烙印進(jìn)行完整的晶圓照相
資料來(lái)源:EVG 內(nèi)蒙古納米壓印用于生物芯片 EVG620 NT是以其靈活性和可靠性而聞名的,因?yàn)樗?*小的占位面積提供了***的掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。
**的衍射波導(dǎo)設(shè)計(jì)商和制造商WaveOptics***宣布與EV Group(EVG)進(jìn)行合作,EV Group是晶圓鍵合和納米壓印光刻設(shè)備的**供應(yīng)商,以帶來(lái)高性能增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)( AR)波導(dǎo)以當(dāng)今業(yè)界*低的成本進(jìn)入大眾市場(chǎng)。波導(dǎo)是可穿戴AR的關(guān)鍵光學(xué)組件。
WaveOptics首席執(zhí)行官David Hayes評(píng)論:“這一合作伙伴關(guān)系標(biāo)志著增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)行業(yè)的轉(zhuǎn)折點(diǎn),是大規(guī)模生產(chǎn)高質(zhì)量增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)解決方案的關(guān)鍵步驟,這是迄今為止尚無(wú)法實(shí)現(xiàn)的能力?!?EVG的專(zhuān)業(yè)知識(shí)與我們可擴(kuò)展的通用技術(shù)的結(jié)合將使到明年年底,AR終端用戶(hù)產(chǎn)品的市場(chǎng)價(jià)格將低于600美元。“這項(xiàng)合作是釋放AR可穿戴設(shè)備發(fā)展的關(guān)鍵;我們共同處于有利位置,可以在AR中引入大眾市場(chǎng)創(chuàng)新,以比以往更低的成本開(kāi)辟了可擴(kuò)展性的新途徑?!?
EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
用UV納米壓印能力為特色的EVG's專(zhuān)有SmartNIL通用掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)®技術(shù),在100毫米范圍內(nèi)。
EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名,它以**小的占位面積提供了***的掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)。操作員友好型軟件,**短的掩模和模具更換時(shí)間以及有效的全球服務(wù)支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動(dòng)批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對(duì)準(zhǔn)選項(xiàng)。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對(duì)準(zhǔn)和納米壓印光刻。此外,半自動(dòng)和全自動(dòng)系統(tǒng)配置均支持EVG專(zhuān)有的SmartNIL技術(shù)。
EVG的EVG ? 620 NT是智能NIL ? UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
HERCULES ® NIL完全模塊化和集成SmartNIL ® UV-NIL系統(tǒng)達(dá)300毫米
結(jié)合EVG的SmartNIL一個(gè)完全模塊化平臺(tái)®技術(shù)支持AR / VR,3D傳感器,光子和生物技術(shù)生產(chǎn)應(yīng)用
EVG的HERCULES NIL 300 mm是一個(gè)完全集成的跟 蹤系統(tǒng),將清潔,抗蝕劑涂層和烘烤預(yù)處理步驟與EVG專(zhuān)有的SmartNIL大面積納米壓印光刻(NIL)工藝結(jié)合在一個(gè)平臺(tái)上,用于直徑比較大為300 mm的晶圓。它是***個(gè)基于EVG的全模塊化設(shè)備平臺(tái)和可交換模塊的NIL系統(tǒng),可為客戶(hù)提供比較大的自由度來(lái)配置他們的系統(tǒng),以比較好地滿(mǎn)足其生產(chǎn)需求,包括200 mm和300 mm晶圓的橋接功能。
HERCULES ? NIL是完全集成SmartNIL ?的 UV-NIL紫外光納米壓印系統(tǒng)。原裝進(jìn)口納米壓印可以免稅嗎
NIL已被證明是在大面積上實(shí)現(xiàn)納米級(jí)圖案的相當(dāng)有成本效益的方法。內(nèi)蒙古納米壓印用于生物芯片
SmartNIL是一項(xiàng)關(guān)鍵的啟用技術(shù),可用于顯示器,生物技術(shù)和光子應(yīng)用中的許多新創(chuàng)新。例如,SmartNIL提供了****的全區(qū)域共形壓印,以便滿(mǎn)足面板基板上線柵偏振器的**重要標(biāo)準(zhǔn)。SmartNIL還非常適合對(duì)具有復(fù)雜納米結(jié)構(gòu)的微流控芯片進(jìn)行高精度圖案化,以支持下一代藥 物研究和醫(yī)學(xué)診斷設(shè)備的生產(chǎn)。此外,SmartNIL的***發(fā)展為制造具有比較高功能,**小外形尺寸和大體積創(chuàng)新型光子結(jié)構(gòu)提供了更多的自由度,這對(duì)于實(shí)現(xiàn)衍射光學(xué)元件(DOE)至關(guān)重要。
特征:
體積驗(yàn)證的壓印技術(shù),具有出色的復(fù)制保真度
專(zhuān)有SmartNIL ®技術(shù),多使用聚合物印模技術(shù)
經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證的分辨率低至40 nm或更小
大面積全場(chǎng)壓印
總擁有成本比較低
在地形上留下印記
對(duì)準(zhǔn)能力
室溫過(guò)程
開(kāi)放式材料平臺(tái) 內(nèi)蒙古納米壓印用于生物芯片
岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司一直專(zhuān)注于磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣(mài)除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】磁記錄、半導(dǎo)體、光通訊生產(chǎn)及測(cè)試儀器的批發(fā)、進(jìn)出口、傭金代理(拍賣(mài)除外)及其相關(guān)配套服務(wù),國(guó)際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務(wù)信息咨詢(xún)服務(wù)。 【依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目,經(jīng)相關(guān)部門(mén)批準(zhǔn)后方可開(kāi)展經(jīng)營(yíng)活動(dòng)】,是一家儀器儀表的企業(yè),擁有自己**的技術(shù)體系。目前我公司在職員工以90后為主,是一個(gè)有活力有能力有創(chuàng)新精神的團(tuán)隊(duì)。公司以誠(chéng)信為本,業(yè)務(wù)領(lǐng)域涵蓋磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā),我們本著對(duì)客戶(hù)負(fù)責(zé),對(duì)員工負(fù)責(zé),更是對(duì)公司發(fā)展負(fù)責(zé)的態(tài)度,爭(zhēng)取做到讓每位客戶(hù)滿(mǎn)意。一直以來(lái)公司堅(jiān)持以客戶(hù)為中心、磁記錄,半導(dǎo)體,光通訊生產(chǎn),測(cè)試儀器的批發(fā)市場(chǎng)為導(dǎo)向,重信譽(yù),保質(zhì)量,想客戶(hù)之所想,急用戶(hù)之所急,全力以赴滿(mǎn)足客戶(hù)的一切需要。