光刻機隔振臺出廠價

來源: 發(fā)布時間:2020-09-22

AVI200-S

AVI 200-S的基本配置包括兩個單個承載模塊和一個控制單元,比較大可以負載400公斤。通過增加隔離模塊的數量,可以輕松承受更高的負載。為了使AVI200-M適應用戶特定的應用,可以按特殊順序提供不同長度的單個模塊。


AVI 200-M的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 200-M系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 200-M的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 200-M隔振模塊不需要任何大型工具即可安裝。我們努力提供一種簡單,友好的概念-避免在安裝出現(xiàn)中比較復雜的過程


技術指標:

頻率: 1.2-200 Hz

負載范圍: 0-400千克(0-200千克單個元件) AVI系列可以在非常寬的頻率范圍內為原子力顯微鏡、非接觸式表面輪廓儀等提供極好的隔振效果。光刻機隔振臺出廠價

AVI600-S

AVI 600-S的基本配置包括兩個緊湊型單元和一個控制單元,比較大負載為800公斤。通過增加緊湊型單元的數量,可以輕松實現(xiàn)對更高負載的支持。為了使AVI

600-S適應用戶特定的應用,可以使用不同長度的緊湊型裝置。


AVI 600-S的隔離始于1,2 Hz,超過10HZ以上迅速增加至35 db

減少低頻諧振可得到比普通的被動空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能

AVI 600-S系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性

AVI 600-S的出色性能包括所有六個方向水平和垂直振動模式

AVI 600-S緊湊型設備不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡單,友好的處理概念-從而避免在設備上放置沉重的設備(例如SEM)時進行任何復雜的操作。


技術指標:

頻率:  1.2-200 Hz

負載范圍:  0-1200公斤

(單個): 600公斤 電子顯微鏡隔振臺電子顯微鏡STM控制中心有超載指示燈。

Table Stable生產的主動式微振動控制系統(tǒng)AVI是一款多功能的主動式防振系統(tǒng),具有**的防振單元和控制器。

可能有多種變化,例如將其用作電子顯微鏡(SEM)的隔振臺,或與光學平臺結合使用的高性能光學實驗臺。


特點:

?通過主動控制沒有共振點,可以防止低頻范圍的振動。

?安裝時不需要參數調整,安裝后可以立即使用。-由于不使用空氣彈簧,因此不需要空氣彈簧。

?振動狀態(tài)一目了然。

(可以目視觀察控制器的每個LED閃爍單元的振動狀態(tài)。)

-加速度信號可以從外部輸出。

(通過將BNC連接器連接到示波器,可以看到活動對象正在正常工作。

LFS-2傳感器測量兩個軸的水平加速度,直至頻率為約0.2Hz 傳感器直接放置在地板上,并用于前饋回路中與標準AVI / LP系統(tǒng)結合使用,可在非常低的情況下提高隔振效果頻率。 LFS-2可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。下表顯示了在AVI / LP上測得的水平隔離度(透射率)有和沒有LFS的系統(tǒng)。


將傳感器連接到AVI /系統(tǒng)?

傳感器LFS-2具有單獨的電源,該電源通過D-Sub25插座連接到LFS-2控制單元。 用D-Sub 25將電源連接到傳感器電纜。

每個AVI元素必須連接到背面的D-Sub15插座之一傳感器的 LFS的實際位置并不重要,但必須放置它在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上部D-Sub 15插座連接到傳感器。


從低頻率起提高一個隔振環(huán)境。

TS-300結合了久經考驗的技術特點和優(yōu)雅且用戶友好的設計

TS-300的隔離始于0.7 Hz,超過10Hz時迅速增加至40dB

缺少低頻諧振意味著比大多數常見的被動空氣阻尼方法要好得多

TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性

TS-300的出色性能包括所有水平和垂直共計六個方向的震動隔離模式

精確的自動高度調節(jié)機制即使在負載發(fā)生重大變化后也能將頂板穩(wěn)定在比較好工作水平

遙控器允許在外部將隔離開關“打開”和“關閉”


如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。 勵磁箱允許將激勵信號施加到TS隔離系統(tǒng),以便該系統(tǒng)可以在任何方向上用作振動器。AVI-600MLP隔振臺大型半導體設備防震臺應用

***使用AVI系統(tǒng)時,將前面板隔離開關設置為關閉(黑色旋鈕熄滅)。光刻機隔振臺出廠價

AVI主動隔震臺

AVI應用于掃描電鏡

1、如有可能,拆下掃描電鏡柱的側板。

2、使用掃描電鏡找平腳將立柱抬離地面至少6“。如有必要,在水平尺下放置木塊以增加高度。

3、拆下主銷后傾角和主銷后傾角螺栓(如有必要)。

4、將***個鋁制安裝板放在掃描電鏡下的地面上。前后各27.5英寸,左右各27英寸。用水平儀確保盤子坐平。按下所有角落,確保其與地面齊平。如果不水平或不齊平,則使用墊片確保水平,并在各側均勻地放置在地面上。

如果想要了解更多信息請聯(lián)系我們岱美儀器。 光刻機隔振臺出廠價

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