在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心,雙方合作研發(fā)用于制造光學傳感器的新材料,以及適用于大眾化市場的晶圓級光學元件。(奧地利)與WINDACH(德國),2019年11月27日――EV集團(EVG)這一全球**的為微機電系統(tǒng)、納米技術(shù)與半導體市場提供晶圓鍵合與光刻設備的供應商,***宣布與高科技工業(yè)粘合劑制造商DELO在晶圓級光學元件(WLO)領(lǐng)域開展合作。這兩家公司均在光學傳感器制造領(lǐng)域處于**地位。它們的合作將充分利用EVG的透鏡注塑成型與納米壓印光刻(NIL)加工設備與DELO先進的粘合劑與抗蝕材料,在工業(yè),汽車,消費類電子產(chǎn)品市場開發(fā)與應用新型光學設備,例如生物特征身份認證,面部識別。目前雙方正在EVG的NILPhotonics?解決方案支援中心(位于EVG總部,奧地利Florian)以及DELO在德國Windach的總部展開合作。雙方致力于改善與加快材料研發(fā)周期。EVG的NILPhotonics解決方案支援中心為NIL供應鏈的客戶與合作伙伴提供了開放的創(chuàng)新孵化器,旨在通過合作來縮短創(chuàng)新設備與應用的研發(fā)與推廣周期。該中心的基礎設施包括**技術(shù)的潔凈室與支持NIL制造的主要步驟的設備,例如分步重復母版,透鏡模制,以及EVG的SmartNIL?技術(shù),晶圓鍵合與必要的測量設備。納米壓印設備可用來進行熱壓花、加壓加熱、印章、聚合物、基板、附加沖壓成型脫模。上海納米壓印輪廓測量應用
HERCULES NIL 300 mm提供了市場上**的納米壓印功能,具有較低的力和保形壓印,快速的高功率曝光和平滑的壓模分離。該系統(tǒng)支持各種設備和應用程序的生產(chǎn),包括用于增強/虛擬現(xiàn)實(AR / VR)頭戴式耳機的光學設備,3D傳感器,生物醫(yī)學設備,納米光子學和等離激元學。
HERCULES ® NIL特征:
全自動UV-NIL壓印和低力剝離
**多300毫米的基材
完全模塊化的平臺,具有多達八個可交換過程模塊(壓印和預處理)
200毫米/ 300毫米橋接工具能力
全區(qū)域烙印覆蓋
批量生產(chǎn)**小40 nm或更小的結(jié)構(gòu)
支持各種結(jié)構(gòu)尺寸和形狀,包括3D
適用于高地形(粗糙)表面
*分辨率取決于過程和模板
吉林納米壓印價格怎么樣IQ Aligner UV-NIL是自動化紫外線納米壓印光刻系統(tǒng),是用于晶圓級透鏡成型和堆疊的高精度UV壓印的系統(tǒng)。
關(guān)于WaveOptics
WaveOptics是衍射波導的全球**設計商和制造商,衍射波導是可穿戴AR設備中的關(guān)鍵光學組件。
諸如智能眼鏡之類的AR可穿戴設備使用戶能夠觀看覆蓋在現(xiàn)實世界之上的數(shù)字圖像。有兩個關(guān)鍵元素可讓您看到這些圖像-微型投影儀之類的光源,以及將圖像從投影儀傳遞到用戶眼睛中的一種方式。
WaveOptics的波導技術(shù)可傳輸來自光源的光波并將其投射到用戶的眼睛中。該技術(shù)可產(chǎn)生大的眼框,雙目觀察和高視野。眼圖框(查看窗口)是從中可以看到完整圖像的AR顯示器的尺寸-請參見下圖。WaveOptics的波導提供清晰,無失真的文本以及穩(wěn)定的圖像。
WaveOptics技術(shù)旨在用于工業(yè),企業(yè)和消費者市場的沉浸式AR體驗。該公司的目標是,憑借其獨特的技術(shù)和專業(yè)知識,其波導將成為所有AR可穿戴設備中使用的he心光學組件,以實現(xiàn)****的制造可擴展性和視覺性能,并為眾多應用提供多功能性。
EVG ® 620 NT是智能NIL ® UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
用UV納米壓印能力為特色的EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù),在100毫米范圍內(nèi)。
EVG620 NT以其靈活性和可靠性而聞名,它以**小的占位面積提供了***的掩模對準技術(shù)。操作員友好型軟件,**短的掩模和模具更換時間以及有效的全球服務支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,以及背面對準選項。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。
SmartNIL是基于紫外線曝光的全域型壓印技術(shù)。
EVG ® 620 NT特征:
頂部和底部對準能力
高精度對準臺
自動楔形補償序列
電動和程序控制的曝光間隙
支持***的UV-LED技術(shù)
**小化系統(tǒng)占地面積和設施要求
分步流程指導
遠程技術(shù)支持
多用戶概念(無限數(shù)量的用戶帳戶和程序,可分配的訪問權(quán)限,不同的用戶界面語言)
敏捷處理和轉(zhuǎn)換工具
臺式或帶防震花崗巖臺的單機版
EVG ® 620 NT附加功能:
鍵對準
紅外對準
SmartNIL
μ接觸印刷技術(shù)數(shù)據(jù)
晶圓直徑(基板尺寸)
標準光刻:比較大150毫米的碎片
柔軟的UV-NIL:比較大150毫米的碎片
SmartNIL ®:在100毫米范圍
解析度:≤40 nm(分辨率取決于模板和工藝)
支持流程:軟UV-NIL&SmartNIL
®
曝光源:汞光源或紫外線LED光源
對準:
軟NIL:≤±0.5 μm
SmartNIL ®:≤±3微米
自動分離:柔紫外線NIL:不支持;SmartNIL
®:支持
工作印章制作:柔軟的UV-NIL:外部:SmartNIL ®:支持
EVG?610/EVG?620NT /EVG?6200NT是具有紫外線納米壓印功能的通用掩模對準系統(tǒng)。廣西納米壓印推薦廠家
SmartNIL集成了多次使用的軟標記處理功能,因此還可以實現(xiàn)****的吞吐量。上海納米壓印輪廓測量應用
EVG ® 6200 NT是SmartNIL
UV納米壓印光刻系統(tǒng)。
用UV納米壓印能力設有EVG's專有SmartNIL通用掩模對準系統(tǒng)®技術(shù)范圍達150m。這些系統(tǒng)以其自動化的靈活性和可靠性而著稱,以**小的占地面積提供了**
新的掩模對準技術(shù)。操作員友好型軟件,**短的掩模和工具更換時間以及高 效的全球服務和支持使它們成為任何研發(fā)環(huán)境(半自動批量生產(chǎn))的理想解決方案。該工具支持多種標準光刻工藝,例如真空,軟,硬和接近曝光模式,并且可以選擇背面對準。此外,該系統(tǒng)還為多功能配置提供了附加功能,包括鍵對準和納米壓印光刻。此外,半自動和全自動系統(tǒng)配置均支持EVG專有的SmartNIL技術(shù)。
上海納米壓印輪廓測量應用
岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司是一家磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】磁記錄、半導體、光通訊生產(chǎn)及測試儀器的批發(fā)、進出口、傭金代理(拍賣除外)及其相關(guān)配套服務,國際貿(mào)易、轉(zhuǎn)口貿(mào)易,商務信息咨詢服務。 【依法須經(jīng)批準的項目,經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動】的公司,致力于發(fā)展為創(chuàng)新務實、誠實可信的企業(yè)。公司自創(chuàng)立以來,投身于磁記錄,半導體,光通訊生產(chǎn),測試儀器的批發(fā),是儀器儀表的主力軍。岱美儀器技術(shù)服務不斷開拓創(chuàng)新,追求出色,以技術(shù)為先導,以產(chǎn)品為平臺,以應用為重點,以服務為保證,不斷為客戶創(chuàng)造更高價值,提供更優(yōu)服務。岱美儀器技術(shù)服務始終關(guān)注儀器儀表行業(yè)。滿足市場需求,提高產(chǎn)品價值,是我們前行的力量。